收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

NbN薄膜和NbN/SiN_x纳米多层膜的制备及性能研究

马治军  
【摘要】: 氮化铌(NbN)薄膜优异的电学和力学性能使其在超导电子学和保护涂层等领域有着广阔的应用前景,目前NbN薄膜的研发和应用已经成为材料科学领域的研究热点。本论文利用磁控溅射方法,以N_2/Ar作为放电气体,在Si(100)衬底上制备了NbN薄膜和NbN/SiN_x纳米多层膜,系统地研究了沉积条件对NbN薄膜微观结构和力学性能的影响及其热稳定性,同时还研究了调制周期和调制比对NbN/SiN_x纳米多层膜物相、择优取向、界面结构及力学性能的影响及其热稳定性。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 侯东芳;周根树;郑茂盛;;贝壳中文石晶体择优取向的XRD分析[J];三峡大学学报(自然科学版);2006年05期
2 王平怀;何洪;张继;马岳;宫声凯;;工艺参数对铸造TiAl合金组织及性能的影响[J];车用发动机;2006年01期
3 程慷果,万菊林,梁开明;高强度高韧性云母微晶玻璃的热压制备和力学性能[J];机械工程学报;1998年03期
4 丁雨田;王晓莉;胡勇;李晓诚;李畅;;热处理对〈110〉取向TbDyFe合金磁致伸缩性能和力学性能的影响[J];兰州理工大学学报;2011年01期
5 赵阳培;葛世荣;张君伟;黄因慧;;硫脲对喷射电铸纳米晶铜组织与性能的影响[J];金属热处理;2009年02期
6 刘艳;董云杉;许辉;祝新发;李戈扬;;反应溅射(Al,Ti)(O,N)涂层的微结构与力学性能[J];功能材料;2006年08期
7 ;金属学报第44卷2008年分类索引[J];金属学报;2008年12期
8 董松涛;喻利花;董师润;许俊华;;磁控共溅射制备锆-硅-氮复合薄膜的显微组织与性能[J];机械工程材料;2008年09期
9 毛胜平;汪红;刘瑞;汤俊;李雪萍;丁桂甫;;UV-LIGA镍薄膜材料的力学性能测试与分析[J];功能材料;2010年02期
10 张永宏;蒋百灵;陈迪春;严少平;;使用梯度过渡层的掺Cr碳膜的显微组织特征[J];材料科学与工艺;2010年01期
11 杨世伟;朱晓光;陈海英;王艳华;;梯度(Ti,Al)N涂层的微观结构与机械性能研究[J];哈尔滨工程大学学报;2007年03期
12 侯岳翔;李树奎;孙红婵;鲁旭东;宋修纲;;化学气相沉积钨的组织与力学性能研究[J];兵器材料科学与工程;2008年05期
13 蔡志海;牛庆银;底月兰;张平;;调制周期对Cr/CrN纳米多层膜的结构与性能的影响[J];金属热处理;2011年01期
14 薛林兵;王浩静;李东风;;牵伸石墨化对石墨纤维结构和力学性能的影响[J];新型炭材料;2006年03期
15 徐俊波;池成忠;陈良贤;纪殿友;李成明;吕反修;;非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/ZrN多层膜[J];金属热处理;2008年08期
16 程谟杰,林励吾,杨亚书,杨维慎,徐奕德,李新生;玻璃表面上晶粒择优取向的分子筛膜的合成[J];科学通报;1996年10期
17 杨于兴;李东明;;择优取向钢中残余奥氏体的测定[J];上海金属;1986年01期
18 王悦辉,庄志强;择优取向铁电薄膜制备影响因素的分析[J];材料导报;2003年04期
19 吴南春;夏义本;谭寿洪;刘健敏;苏青峰;王林军;;正偏压对纳米金刚石薄膜结构和电阻率的影响[J];无机材料学报;2007年02期
20 伍萌佳;杨群保;李永祥;;织构化工艺在无铅压电陶瓷中的应用[J];无机材料学报;2007年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 王金龙;郑明毅;王晓军;邓坤坤;胡小石;吴昆;;ECAP变形对SiCp/AZ91镁基复合材料组织与性能的影响[A];第十五届全国复合材料学术会议论文集(下册)[C];2008年
2 王云祥;邓菡;陈曙光;周一林;;冷轧压下率对连续退火Ti-IF钢力学性能的影响[A];2009年全国冷轧板带生产技术交流会论文集[C];2009年
3 黎良青;蒋正武;;稻壳灰在混凝土中应用研究进展评述[A];中国混凝土进展2010[C];2010年
4 刘家满;赵敏;董尚利;杨德庄;吴昆;;热循环对挤压态SiC_w/AZ91镁基复合材料力学性能的影响[A];复合材料:生命、环境与高技术——第十二届全国复合材料学术会议论文集[C];2002年
5 郑锡涛;郭稳学;盛国柱;肖娟;李野;;三维编织复合材料力学性能试验研究[A];复合材料:生命、环境与高技术——第十二届全国复合材料学术会议论文集[C];2002年
6 李锡武;郑子樵;李海;李世晨;钟俐苹;蒋呐;;1420铝锂合金力学性能的各向异性[A];第九届材料科学与合金加工学术会议专刊论文集[C];2004年
7 承建军;李军军;庄启昕;吴平平;韩哲文;;PBO纤维热处理的研究[A];2005年全国高分子学术论文报告会论文摘要集[C];2005年
8 张坤玉;庄宇钢;韩立晶;冉祥海;董丽松;;氯醚橡胶增韧改性聚乳酸力学性能的研究[A];2007年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(下册)[C];2007年
9 宋红梅;胡锦程;季思凯;吴玮巍;江来珠;;宝钢双相不锈钢2205的研制[A];2007中国钢铁年会论文集[C];2007年
10 郑艳红;沈志刚;;废印刷电路板非金属材料粉填充聚丙烯的力学性能试验[A];第八届全国颗粒制备与处理学术和应用研讨会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 朱晓莹;若干金属纳米多层膜界面结构及力学性能研究[D];清华大学;2010年
2 李冠群;VC基纳米多层膜的微结构与超硬效应[D];上海交通大学;2011年
3 尹德强;超硬金属氮化物纳米多层膜界面微结构及力学性能研究[D];重庆大学;2012年
4 洪春福;含钛非晶碳薄膜的制备、组织结构与性能[D];浙江大学;2010年
5 卫爱丽;稀土元素对Zn-25 Al-5 Mg-2.5 Si合金组织和力学性能的影响[D];太原理工大学;2010年
6 孔明;两相纳米结构薄膜中的模板效应与超硬效应[D];上海交通大学;2009年
7 文懋;NbN、WN_x单层膜以及NbN基多层膜的微观结构和力学性能研究[D];吉林大学;2010年
8 岳建岭;硬质纳米多层膜的微结构与超硬效应[D];上海交通大学;2008年
9 陈嵩;EB-PVD制备Y_2O_3弥散增强Ni基合金薄板的组织及力学性能[D];哈尔滨工业大学;2010年
10 张双燕;化学成分对木材细胞壁力学性能影响的研究[D];中国林业科学研究院;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 马治军;NbN薄膜和NbN/SiN_x纳米多层膜的制备及性能研究[D];吉林大学;2008年
2 曹猛;离子束辅助沉积ZrN/TiAlN和CN_x/TiAlN纳米多层膜的研究[D];天津师范大学;2008年
3 刘思鹏;射频磁控溅射制备TiB_2/TiAlN纳米多层膜和BaTiO_3薄膜的研究[D];天津师范大学;2009年
4 李广泽;TiN/zrN纳米多层膜的微结构与力学性能[D];上海交通大学;2010年
5 祝莹莹;用正电子湮没技术研究TiAl合金中3p-3d电子的相互作用[D];广西大学;2005年
6 牛全峰;自保护药芯焊丝的研究[D];武汉理工大学;2005年
7 郝梦轩;CM的热稳定性、发泡,NR平衡硫化体系以及性能之间关系的研究[D];青岛科技大学;2005年
8 仇在宏;CuZrTi系块体非晶合金的制备及部分性能研究[D];广东工业大学;2005年
9 黄功学;聚丙烯纤维混凝土(砂浆)物理力学性能试验研究[D];郑州大学;2005年
10 冀国俊;纳米TiO_2涂膜玻璃的力学性能研究[D];内蒙古工业大学;2005年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 晨;具有均匀尺寸和力学性能的薄宽热轧带钢[N];世界金属导报;2004年
2 刘友存;热轧带钢力学性能在线预测系统简介[N];中国冶金报;2007年
3 记者 徐彦泓;国家建材五金水暖测试中心加强扣件检测[N];中国建材报;2006年
4 张跃进;热轧带钢力学性能预报模型在线应用[N];世界金属导报;2006年
5 田建强王建国;劣质窗一推就开[N];中国质量报;2007年
6 ;跟踪国际潮流 推广使用耐蚀性能更好、力学性能更高双相不锈钢[N];世界金属导报;2006年
7 郑彩云;新型医用钛合金发展前景广阔[N];中国有色金属报;2006年
8 ;热轧带钢力学性能在线监控系统(待续)[N];世界金属导报;2001年
9 唐诗全 郑之旺;攀钢冷轧1号热镀锌线连退机组顺利投产[N];世界金属导报;2007年
10 ;上海市场抽查39种儿童家具两成不合格[N];消费日报;2008年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978