收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

Ti/TiN、TiN/CrN和TiN(NbN)/SiNx纳米多层膜界面第一原理研究

付延争  
【摘要】: 纳米多层膜由于其独特的物理、化学特性引起了人们越来越广泛的关注。纳米多层膜的设计和制备一般要考虑许多因素,如界面体积比、晶粒尺度、单层和周期厚度、表面和界面能、织构、应力和应变等,而这些因素又与沉积方法、材料种类、沉积过程参数等密切相关。探讨这些因素之间的内在联系,分析这些崭新结构涂层的优异性能的物理机制,进而提出新型薄膜的设计方法是当前人们关注的热点和努力的方向。但是纳米多层膜种类繁多,结构各异,形成的界面极其复杂,人们对由此产生的多层膜界面的原子结合特别是异性界面结合的微观机理知之甚少,由此对生产制备过程中镀膜材料的选取和制备工艺的优化造成不少困难。因此,把计算材料学引入纳米多层膜的研究,通过基于第一原理的计算方法对多层膜材料界面结合微观机理及其规律的认识,发展多层膜的优化设计方法,是有一定的科学意义。本文采用基于密度泛函理论的第一原理计算方法,依据Ti/TiN、TiN/CrN和TiN(NbN)/SiNx纳米多层膜的研究进展,建立一系列计算模型,通过计算获得Ti/TiN、TiN/CrN和TiN(NbN)/SiNx所形成的金属/陶瓷和陶瓷/陶瓷界面的最佳原子结构、界面结合功和界面电子结构方面的信息,详细分析研究界面结合的微观机理。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 岳建岭;董云杉;刘艳;李戈扬;;反应溅射ZrN/AlON纳米多层膜的晶体生长[J];电子显微学报;2006年S1期
2 王铁,王志宏,魏春启;复杂地质界面模型的建立方法[J];辽宁工程技术大学学报(自然科学版);1994年02期
3 孟醒,徐晓光,刘伟,孙源,陈岗;钙钛矿型HoNiO_3中电荷歧化的第一原理研究[J];物理学报;2004年11期
4 魏仑,梅芳华,邵楠,李戈扬,李建国;TiN/SiO_2纳米多层膜的晶体生长与超硬效应[J];物理学报;2005年04期
5 杜会静;田永君;;超硬纳米多层膜致硬机理研究[J];无机材料学报;2006年04期
6 ;FeS/MoS2固体润滑纳米多层膜的成膜机理与摩擦学性能[J];机械工程学报;2010年22期
7 ;FeS/MoS_2固体润滑纳米多层膜的成膜机理与摩擦学性能[J];机械工程学报;2011年02期
8 由臣,赵燕平,孙永昌,王玉红,刘技文;用于制备纳米多层膜的金属掩膜法的研究[J];兵器材料科学与工程;2004年03期
9 许小红,杨治广,武海顺;[CoPt/Ag]_n纳米多层膜的结构和磁性能[J];中国科学E辑;2005年03期
10 谭俊;于甜甜;杨红军;徐滨士;郭文才;;电刷镀Cu/Ni多层膜的摩擦学性能研究[J];装甲兵工程学院学报;2006年03期
11 徐俊波;池成忠;陈良贤;纪殿友;李成明;吕反修;;非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/ZrN多层膜[J];金属热处理;2008年08期
12 谢继阳;黄平;王飞;徐可为;;Al/Ta纳米多层膜中的结构形貌稳定性演化(英文)[J];纳米科技;2010年05期
13 谭俊,杨红军,郭文才;电刷镀Cu/Ni纳米多层膜镀液的研究[J];中国表面工程;2005年04期
14 李秀艳,张建,戎利建,李依依;氢在沉淀强化合金γ/γ′间占位的第一原理计算[J];材料科学与工程学报;2005年05期
15 周惦武;庄厚龙;胡艳军;彭平;刘金水;;Mg合金系中形成的中间相-金属间化合物的作用机理[J];材料导报;2005年01期
16 杨会静;孙立萍;刘长虹;;纳米多层膜的制备方法及比较[J];唐山师范学院学报;2006年05期
17 任毅;周家斌;付志强;王成彪;吕建国;于翔;彭志坚;;纳米多层超硬膜力学性能研究进展[J];金属热处理;2007年05期
18 宋海峰;刘海风;;金属铍热力学性质的理论研究[J];物理学报;2007年05期
19 肖晓玲;;纳米多层膜的研究进展[J];材料研究与应用;2007年01期
20 刘学杰;张亮;;过渡金属氮化物的结合能第一原理计算[J];金属世界;2009年S1期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 胡滢;曹为民;印仁和;曾绍海;王慧娟;;铜钴纳米多层膜的制备,结构及巨磁阻性能的研究[A];2004年全国电子电镀学术研讨会论文集[C];2004年
2 万建成;于清国;;基于界面模型和界面设计模式的界面模板[A];第六届全国计算机应用联合学术会议论文集[C];2002年
3 姚素薇;赵瑾;张卫国;;电沉积Cu/Co纳米多层膜及其巨磁电阻效应[A];2002年全国电子电镀年会论文集[C];2002年
4 张金钰;张欣;刘刚;孙军;;Cu/Cr纳米多层膜疲劳行为的尺寸依赖性[A];第十五届全国疲劳与断裂学术会议摘要及论文集[C];2010年
5 王永利;刘实;戎利建;;TiH_2中合金元素对力学性能的影响:第一原理计算[A];第十届中国核靶技术学术交流会摘要集[C];2009年
6 李晓锋;王琳琳;孙淮;;基于第一原理计算的非键参数的研究[A];第九届全国计算(机)化学学术会议论文摘要集[C];2007年
7 孙光爱;陈波;樊志剑;;Y(Fe,Si)_(12)化合物结构与磁性的第一原理计算[A];中国工程物理研究院科技年报(2005)[C];2005年
8 危晓;;人机界面模型在物流系统中应用的研究[A];中国的经济建设与21世纪的物料搬运技术——中国机械工程学会物料搬运分会第五届学术年会论文集[C];1996年
9 吴仲成;彭述明;孙铁英;杨茂年;刘琼;;第一原理计算氦钛两体作用势[A];第八届全国核靶技术学术交流会论文摘要集[C];2004年
10 孟醒;黄祖飞;徐晓光;孙源;陈岗;;钙钛矿型LuNiO_3电子结构的第一原理研究[A];第十二届中国固态离子学学术会议论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 朱晓莹;若干金属纳米多层膜界面结构及力学性能研究[D];清华大学;2010年
2 洪春福;含钛非晶碳薄膜的制备、组织结构与性能[D];浙江大学;2010年
3 李冠群;VC基纳米多层膜的微结构与超硬效应[D];上海交通大学;2011年
4 汪炯;铝合金中关键二元、三元体系热力学和弹性性质的实验和计算研究[D];中南大学;2012年
5 孔明;两相纳米结构薄膜中的模板效应与超硬效应[D];上海交通大学;2009年
6 王爱军;Ti-Al-(Zr,Hf)-N耐磨涂层的热力学及力学性质的第一原理计算[D];中南大学;2012年
7 唐涛;锂基陶瓷基态与缺陷性质的第一原理计算及硅酸锂中氘行为的实验研究[D];中国工程物理研究院;2010年
8 耿华运;替位合金物态方程的有序—无序效应[D];清华大学;2005年
9 李灿;计算机模拟金属化合物电子结构,晶体结构及其性能[D];吉林大学;2011年
10 岳建岭;硬质纳米多层膜的微结构与超硬效应[D];上海交通大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 付延争;Ti/TiN、TiN/CrN和TiN(NbN)/SiNx纳米多层膜界面第一原理研究[D];吉林大学;2008年
2 介星迪;电沉积制备镍铜纳米多层膜的工艺及组织与性能研究[D];昆明理工大学;2010年
3 刘广庆;磁控溅射技术设计合成ReB_2/TaN纳米多层膜的研究[D];天津师范大学;2011年
4 刘国涛;溅射沉积Cu/Mo纳米多层膜结构与性能研究[D];昆明理工大学;2012年
5 李广泽;TiN/zrN纳米多层膜的微结构与力学性能[D];上海交通大学;2010年
6 王倩;Mg-Al合金碳质细化机理的第一原理计算和实验研究[D];南昌大学;2012年
7 刘娜;基于密度泛函理论的镧镍团簇结构和性质研究[D];河北师范大学;2006年
8 张金林;磁控溅射金属增韧的TiN/AIN纳米多层膜制备与性能研究[D];沈阳大学;2012年
9 司文平;第三组元掺杂下Ti_5Si_3弹性性质和电子结构的第一原理计算[D];吉林大学;2010年
10 王金三;部分含Pt和Ag的贵金属体系相图热力学计算[D];中南大学;2010年
中国重要报纸全文数据库 前2条
1 ;“纳米”浅识[N];山西日报;2000年
2 王著宇;纳米药学——二十一世纪崭新的前沿科学[N];中国医药报;2001年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978