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电弧离子镀过程中脉冲偏压对TiCN薄膜的影响

张凇铭  
【摘要】: 在本文中,我们利用真空阴极弧沉积技术对TiCN薄膜进行了制备与研究。 利用高纯的钛靶放电制备了TiCN薄膜,重点分析了偏压对薄膜的组织结构、机械性能及电化学性能的影响。研究基体负偏压在沉积多层薄膜中所起的作用。 研究结果表明,随着偏压的增大表面形貌中的大颗粒数量减少,薄膜质量得到改善,通过观察薄膜的断面形貌发现随着偏压增大,薄膜中的柱状晶逐步得到细化、致密度提高。随着偏压的增加,镀层中的氮化物增加,镀层硬度的增加提高了其耐磨性能,而偏压继续增加,镀层的耐磨损性能又在下降。薄膜的耐腐蚀性能并不随着偏压的增加而升高,反而降低。


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