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中阶梯光栅机械刻划工艺参数优化研究

张垒垒  
【摘要】:光栅机械刻划是用金刚石刻划刀对光栅基底上的金属膜进行挤压、抛光,使其发生形变而形成阶梯状刻槽的过程。针对79g/mm中阶梯衍射光栅高精度刻划的要求,本文以直线刃刻划刀为切入点,对光栅机械刻划过程进行深入研究。第一,分析了光栅机械刻划过程中镀膜材料的成形过程,并依据塑性成形理论建立了刻划深度与光栅槽深之间的数学关系模型;第二,借助有限元手段对79g/mm中阶梯衍射光栅刻划过程进行模拟仿真,分析刀具参数、安装参数等对光栅槽形形状的影响规律以及镀膜材料的流动规律;第三,基于正交试验法对刀具参数、安装参数进行优化,提出光栅槽形控制策略;第四,在分析优化的基础上进行刻划刀样刀试制,准备刻划试验。


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