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三光合一吊舱光学分系统镀膜工艺的研究

李奕威  
【摘要】: 光学薄膜技术作为现在光学技术的一个重要分支,在光电领域有着不可替代的作用,而随着现代军用光电系统精确制导、目标跟踪和光电对抗的发展,对光学薄膜的要求也越来越高,除了应具备良好的耐用性等机械牢固度特性外,还应具有良好的多波段光学特性。 膜层的镀制是一个涉及许多学科的复杂过程。本论文根据三光合一(可见光、红外、激光)系统的要求,主要研究在CaF_2基底上减反射膜的设计和优化,并对其制备工艺进行了大量的研究。通过对镀膜过程中影响膜层性能的工艺因素进行分析,结合所使用的镀膜机状况,以及在膜系设计、材料的选择、材料的稳定蒸发、膜层厚度的实时监控等技术方面采取措施来保证膜层制作的稳定性、经济性,从而获得了在0.7μm~0.9μm、1.06μm、3.7μm~4.8μm三个波段具有高透过率的多层减反射薄膜样品。最终结果虽与理论值稍有偏差,但仍基本符合使用要求。


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