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基于MEMS的微驱动器研制及其特性研究

孟丽娜  
【摘要】:本课题根据被动阀微泵的工作原理,提出了一种基于MEMS技术具 有V型微阀的新型微驱动器,对微驱动器结构中的PZT复合薄板、微阀 的制作、特性进行了工艺模拟,设计了相关制作工艺及版图尺寸,并实现 了微驱动器。通过理论分析给出方形PZT复合薄板的驱动电压与挠度、 复合薄板的厚度与挠度,复合薄板厚度与固有频率的关系,为方形硅杯结 构微系统器件的理论与实验的进一步比较分析提供了参考依据。在研制过 程中发现V型微阀设计制作的关键因素是硅各向异性腐蚀技术与设计尺 寸的关系,并给出了新型V阀微驱动器的流量、背压等测试方法。结果证 明采用MEMS技术研制的新型V阀微驱动器的工艺方案可行,工艺简单、 成本低、体积小,尤其适用于生物医学领域。


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