基于光栅微位移检测电路系统的研究

【摘要】： 光栅尺是现代精密测量领域中广泛应用的一种位移传感器,尤其是在直线位移和角位移的测量中发挥着重要作用。光栅尺是基于莫尔条纹原理,其测量精度正比于栅格密度,受光栅刻划工艺与光电转换器件体积等影响,光栅尺的分辨率很难有大幅度的提升,所以采用细分技术是提高光栅尺测量精度的最佳途径。本文在收集和分析近年来国内外光栅位移检测设备和FPGA发展现状的研究报告、学术论文等专业资料的基础上,对基于FPGA光栅位移检测细分系统进行深入探讨和研究。设计实现基于FPGA的新型辨向,细分检测电路,在此基础上实现光栅信号的八倍频检测细分；设计实现光栅信号检测的专用集成芯片。

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