收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

环式径向剪切干涉测量系统研究

何贵明  
【摘要】:波面剪切干涉技术是利用待测波面自身的干涉,它是利用一定的装置将具有空间相干性的待测波面分割成两个相同或相似的波面,并在这两个波面之间产生一定的空间错位,在其重叠区域产生干涉条纹。与传统的干涉仪如Twyman-Green干涉仪相比较,剪切干涉仪不但具有灵敏度高、精度高、测量非接触性等共同优点,而且还具有其独特的优势。剪切干涉仪属于等程干涉,对光源无特殊要求,即便是白光光源也比较容易得到对比度较高的剪切干涉图。因其参考光和物光共光路,无需设置专门的参考光路,对温度升降、空气扰动、机械振动都不敏感。大多数剪切干涉仪不受口径限制,从理论上讲,添加一定的辅助元件可以检测任何口径的元件。径向剪切干涉仪可以从单幅干涉图得到原始波前的相关信息。因此,对径向剪切干涉仪进行研究具有重要现实意义。本文的主要研究工作有: (1)论述了径向剪切干涉相比传统干涉仪的优点,国内外关于径向剪切干涉技术的发展现状,在此基础上给出环式径向剪切干涉测量系统的基本结构。 (2)列出了波面剪切干涉技术的基本方式,分析了径向剪切干涉基本原理及径向剪切干涉基本类型。 (3)通过分析灵敏度与剪切比的关系,分析望远系统放大倍率与剪切比的关系,设计了一个变焦望远系统,并利用此变焦望远系统对径向剪切干涉仪的剪切比进行了选择。 (4)分别对环式径向剪切干涉测量系统的各部件进行设计,包括分光镜、激光扩束系统、望远系统、压束系统。并给出了环式径向剪切干涉系统的系统装配图。 (5)利用ZEMAX非序列空间对环式径向剪切干涉系统进行了仿真模拟,分析了望远系统的影响。给出了三种剪切光路调节方法,在此基础上完成了对环式径向剪切干涉系统的调校,拍到了径向剪切干涉图。


知网文化
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978