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差压传感器智能化技术研究

吴紫峰  
【摘要】: 本论文主要研究了差压传感器的设计方法、制作工艺、非线性自校正及温度漂移自补偿等技术。 论文首先讨论了差压传感器的设计原理,并对差压传感器中复合敏感芯片(差压、静压、温度)和整体结构进行了设计,还解决了差压传感器制作中的平面工艺、微机械加工、静电封接及真空充油等关键技术。 论文在智能化研究中采用查表法和曲线拟合法实现了对差压传感器的非线性自校正;采用多段折线逼近方法和曲线拟合法完成了对差压传感器温度漂移误差的自补偿。为传感器系统向智能化方向的发展提供了具有参考价值的方法和方向。


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