面向自组装技术的声表面波气体检测平台

【摘要】： 声表面波气体传感器由于具有灵敏度高;输出信号为频率信号,易于与计算机接口;分辨率高;抗干扰能力强等优点,成为气体传感器的研究热点之一。自组装膜由于其具有良好的稳定性和有序性,将其用于气体传感器敏感膜,能提高传感器的响应速度。将两者相结合,利用声表面波振动的敏感性,同时结合了自组装膜的特殊选择性,作为气体检测的手段,可以对被测气体进行快速的定量测定,具有高灵敏度、响应快、小型简便等特点。 本论文提出了一种面向自组装膜的声表面波气体检测平台,在声表面波双端谐振器上固定自组装膜进行检测,并且能够针对不同的气体在其上固定不同的自组装膜。由于自组装膜需要在一定的基底上固定,并考虑到金表面稳定、耐腐蚀,并且含硫化合物与之有强的相互作用,因此将金作为自组装膜的基底材料,但是作为自组装膜基底的金膜对声表面波器件的频率响应会产生一定的影响。 本文主要对沉积金膜前后声表面波器件的性能变化进行分析。金膜的不同位置会产生不同的影响,利用耦合模理论对沉积金膜前后声表面波器件进行分析和仿真,从而得到声表面波器件结构参数所发生的变化以及器件性能的变化。其次,根据上述理论分析,设计声表面波器件的