聚焦离子束在集成电路失效分析中的应用和实例分析

【摘要】： 集成电路在研制,生产,和使用中都会发生失效,通过失效分析工作可以帮助集成电路设计人员找到设计上的缺陷,工艺参数的不匹配;同时也帮助集成电路制造过程中找到生产线上的缺陷,帮助生产线上快速提升制程量率;随着集成电路复杂度的不断增加,用于硅片调试和失效分析的方法将扮演越来越关键的角色。一项失效分析工作能否完成,最终要看能否找出器件结构上的缺陷。面对高集成度和亚微米线宽,聚焦离子束(FIB)已经成为一种越来越重要的设备。本文介绍了失效分析工作的主要内容和聚焦离子束系统,并且主要讨论了聚焦离子束在失效分析工作中的各种应用,比如缺陷点的定位、缺陷剖面的制备、透射式电子显微镜(TEM)样品的制备等等。并且引用实际的失效分析案例来详细说明了这些应用是如何实现的。在讨论这些FIB在失效分析中的常规应用的同时,本文还讨论了以下两个新的应用。第一个问题是对于金属线/通孔梳状结构这种新的可靠性测试结构,常规的使用“光致阻值改变显微镜”(OBIRCH)的方法无法进行准确定位。因此灵活的运用FIB,将离子束刻蚀和被动电位对比度(PVC)方法相结合成为了解决这个难题的唯一途径。第二个问题是对于表面缺陷的分析,在使用FIB制备TEM样品过程中,传统的离子束辅助化学气相沉积(IACVD)铂保护层的方法不能对样品提供足够的保护,而使用电子束辅助化学气相沉积(EACVD)铂保护层的方法却能确保样品的表面不被FIB制备TEM试样时的离子束扫描所破坏。

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前20条

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3	施勇峰;陈光磊;;促进杭州集成电路产业高质量发展的对策建议[J];杭州科技;2020年06期
4	;软件和集成电路[J];软件和集成电路;2021年01期
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12	;软件和集成电路[J];软件和集成电路;2021年05期
13	本刊编辑部;;集成电路进入“后摩尔时代”[J];信息技术与标准化;2021年07期
14	潘慧;;大湾区集成电路研究院：打造粤港澳大湾区集成电路领域创新创业高地[J];广东科技;2021年07期
15	陆晓燕;;产教融合视域下“四能四岗模块化”课程体系的构建与实践——以集成电路专业为例[J];职业;2021年13期
16	李金城;;集成电路设计专业本科人才培养方案探索[J];电气电子教学学报;2021年04期
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18	李大为;刘聪;陈锟;朱翠涛;;集成电路设计本科专业建设探索[J];教育教学论坛;2021年31期
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20	本刊记者;包咏菲;朱瑾;;集成电路:领唱产业强市“新锡剧”[J];群众;2020年02期

中国重要会议论文全文数据库

前20条

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中国博士学位论文全文数据库

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11	周萌;集成电路IP质量管理与度量：软件工程角度的研究[D];合肥工业大学;2010年
12	闵球;三维封装集成电路中的电热特性分析研究[D];浙江大学;2021年
13	刘顺鸿;中美高技术争端分析[D];西南财经大学;2007年
14	陆瀛海;纳米工艺集成电路的统计可靠性分析以及并行优化算法[D];复旦大学;2010年
15	陈志强;超深亚微米CMOS集成电路功耗估计方法及相关算法研究[D];浙江大学;2006年
16	宋文强;集成电路ESD静电防护设计及闩锁免疫研究[D];电子科技大学;2020年
17	常宝方;集成电路规划布局设计方法研究[D];兰州大学;2011年
18	钟晓征;高速集成电路片内互连的电磁建模和参数提取研究[D];电子科技大学;2002年
19	李丽;集成电路设计方法及IP设计技术的研究[D];合肥工业大学;2002年
20	闫爱斌;纳米集成电路软错误评估方法研究[D];合肥工业大学;2015年

中国硕士学位论文全文数据库

前20条

1	陈强;聚焦离子束在集成电路失效分析中的应用和实例分析[D];上海交通大学;2007年
2	鲍秀峰;军用集成电路典型失效模式分析与改进措施研究[D];南京理工大学;2006年
3	吴宜骏;集成电路上市公司财务可持续增长问题研究[D];浙江工商大学;2020年
4	虞路;南昌小蓝集成电路产业发展研究[D];南昌大学;2017年
5	孟庆锋;基于钻石模型的我国集成电路产业国际比较研究[D];华中科技大学;2016年
6	雒凛;集成电路设计行业项目管理研究[D];北京邮电大学;2014年
7	赵明东;我国集成电路分销商新市场开发策略研究[D];电子科技大学;2012年
8	张贺胜;我国集成电路产业技术创新能力评价研究[D];江苏大学;2009年
9	贾卫华;集成电路设计的项目管理应用研究[D];厦门大学;2008年
10	燕斌;我国集成电路产业发展的现状分析与对策研究[D];天津大学;2004年
11	秦遥;促进我国集成电路产业发展的财税优惠政策研究[D];山东财经大学;2021年
12	陈玉娇;贸易摩擦对我国集成电路产业出口竞争力的影响分析[D];首都经济贸易大学;2019年
13	翟芳;基于性能与可靠性仿真技术的集成电路替代验证技术研究[D];华南理工大学;2020年
14	荀华凤;无锡集成电路产业公共服务体系建设研究[D];东南大学;2016年
15	张国瑞;军用集成电路的可靠性与检测筛选[D];南京理工大学;2014年
16	韩炜;区域集成电路产业竞争力评价研究[D];西安电子科技大学;2008年
17	崔昆峰;完善我国集成电路产业税收优惠政策研究[D];上海海关学院;2016年
18	李忠;创芯公司集成电路厂房项目的质量管理研究[D];兰州大学;2015年
19	邵礼斌;瑞芯诚公司集成电路定制设计服务营销策略研究[D];中南大学;2012年
20	饶朝鹏;新时期集成电路产业政策创新研究[D];东南大学;2019年

中国重要报纸全文数据库

前20条

1	记者殷聪鄞州区委报道组杨磊徐庭娴;“链式”突破筑起集成电路产业高地[N];宁波日报;2020年
2	本报记者张帅;莞集成电路产业迎“芯”机遇[N];东莞日报;2020年
3	合肥报业全媒体记者方佳伟;链长制助力集成电路“芯”光灿烂[N];合肥晚报;2021年
4	本报记者杨成万;机构组团探营振芯科技 “窥视”集成电路业务[N];金融投资报;2021年
5	本报记者吴丽琳;上海：到2025年集成电路产业实现规模倍增[N];中国电子报;2021年
6	本报记者莫海晖;优化珠海集成电路产业发展生态[N];珠海特区报;2021年
7	本报记者刘叶琳;珠海打造集成电路特色产业集聚区[N];国际商报;2021年
8	青岛日报、观海新闻首席记者孙欣;集成电路：青岛制造“芯”动力[N];青岛日报;2021年
9	记者吴哲李凤祥通讯员符信;群策群力共同推动广东集成电路产业发展[N];南方日报;2021年
10	本报记者李睿;太原集成电路进口同比增长128.6%[N];山西青年报;2021年
11	记者金叶子;集成电路人才缺口仍超20万这些岗位最紧缺[N];第一财经日报;2021年
12	南方日报记者昌道励;推动建设国家级集成电路产业园[N];南方日报;2021年
13	驻穗记者张莹;粤前三季集成电路增长44.8%[N];深圳商报;2021年
14	每经记者朱成祥;进博会首设集成电路专区[N];每日经济新闻;2021年
15	大连新闻传媒集团记者郑鸿刘福国;国家高层次集成电路专家工作站落地金普[N];大连日报;2021年
16	本报记者程怡欣;前三季度成都集成电路产量增长39.2%的背后[N];成都日报;2021年
17	融媒体记者余梦娇;为集成电路产业高质量发展提供金融助力[N];南京日报;2020年
18	记者张荣鹏赵晓慧;河北：五大工程促集成电路软件产业高质量发展[N];河北经济日报;2020年
19	本报记者陈炳欣;集成电路：市场需求增长强劲[N];中国电子报;2020年
20	中航证券薄晓旭;集成电路写进“十四五”规划行业迎来发展良机[N];中国航空报;2020年

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