精细洗净技术在TFT-LCD制造中的应用研究

【摘要】： 2000年以后国内的TFT-LCD产业进入了高速发展的阶段,竟争也越来越激烈,提高产品合格率越来越成为TFT-LCD制造企业生存的关键。在TFT-LCD制造工程中各种污染物一直是造成产品不良的最重要原因,所以在生产过程中如何最大限度的降低各类污染物的数量便成为众多TFT-LCD制造厂商所面临的一个难题。本文以工程生产实际为背景,通过参考大量中外资料,介绍和分析了TFT-LCD制造过程中各种精细洗净技术工艺及其应用,并从中研究出了几种常用的精细洗净技术的最优工艺条件,以及如何应用各种精细洗净技术以实现最佳洗净效果的课题成果。 本文首先对TFT-LCD的制造工艺流程、精细洗净技术在制造过程中的重要性、TFT-LCD制造中的主要污染源及其引起的不良进行了介绍。其次对常用的精细洗净技术的洗净原理、洗净对象以及使用时的注意事项进行了详细的分析和介绍,同时也对干燥冷却技术和洗净效果的评价方法也进行了简单介绍。最后,为了得到最佳的洗净效果,通过大量采集试验数据,然后进行分析,然后再试验、再分析……经过几个阶段的大量数据采集和分析研究,取得了以下成果: ①得出了UV洗净、Brush洗净、高压喷射洗净(含CJ洗净)和超声波洗净的最优工艺条件,以及取得最优工艺条件的方法和途径; ②得出了大中小各种尺寸附着粒子的最佳洗净手段:brush洗净+高压喷射洗净+超声波洗净; ③得出了有机物的最佳洗净手段:brush洗净+化学药液+高压喷射洗净+UV洗净; ④得出了无机污染物(主要是金属离子)的最佳洗净手段:高压纯水喷射洗净。 采用试验成果,公司的洗净合格率在生产线运行初期的4个月内由初期的92.7%达到了并稳定在98.4%左右的水平。本文的结论对高世代TFT-LCD生产线的洗净效果最优化的工艺改善活动能够起到很好的借鉴作用。