收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

MgZnO薄膜的PLD制备及其特性研究Si基微盘光学谐振腔的制备与研究

李景  
【摘要】:本论文主要包括两部分:一、利用激光脉冲沉积(PLD)法制备MgZnO薄膜并分析其结晶、光学特性等,并利用微纳加工法实现了紫外探测器原型器件的制备。二、利用微纳加工技术完成了Si基微盘谐振腔的制备与研究工作。 ZnO是具有纤锌矿晶体结构的直接宽禁带半导体材料,室温下禁带宽度为3.37eV,激子束缚能为60meV。因此,ZnO与ZnO合金材料成为人们研究的热点,其中MgZnO合金薄膜,作为一种新型的光电合金材料,与AlGaN合金薄膜相比,它具有制备简单、无毒、原材料丰富、禁带可调范围宽(3.37-7.8eV)、能够覆盖整个紫外区域等优点,成为各种光电器件的首选材料,尤其是紫外探测器。本论文通过激光脉冲沉积(PLD)法,不断调整工艺条件,在石英玻璃上,制备出高质量、高Mg掺杂含量、禁带宽度高达5.46eV、吸收边位于日盲区(220-280nm)的(220)取向的MgZnO薄膜。并首次观察到依赖于退火温度变化的(220)晶化取向的特性。利用微纳加工技术在MgZnO薄膜上,制备出叉指状紫外探测器的原型器件,并进行测试,实验结果表明器件的暗电流较小。 随着微纳加工技术的发展,使得各种天然以及合成材料制造的新型光学微谐振腔的精确控制成为可能。具有高Q值的光学微谐振腔在诸多方面有其广泛的应用前景,诸如低成本高密度集成光路、高灵敏度的生物传感器等等。本论文利用微纳加工技术制备的微盘谐振腔是目前最有前途的研究腔电动力学、量子信息的手段之一。我们利用微纳加工技术成功制备了回音壁(WG)模式的Si基微盘谐振腔。“蘑菇”状Si基微盘谐振腔主要是通过光刻、干法刻蚀与湿法腐蚀相结合的方法实现的。它们具有制作过程相对简单,成本较低、微盘的厚度较小、边缘无缺陷、品质因子较高等优点。在此过程中实现了微盘谐振腔制作的可控性与重复性,为研究腔电动力学、量子信息等领域奠定了一定的基础。 总而言之,首先,我们不但成功制备了高质量、高Mg含量掺杂的MgZnO薄膜,并首次观察到依赖于退火温度变化的(220)晶化取向的特性,也实现了紫外探测器原型器件的制备。其次,我们利用微纳加工技术完成了高性能的、边缘无缺陷的“蘑菇”状Si基微盘谐振腔的制备与研究工作。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 邱复生;包含选模光阑的稳定光学谐振腔[J];量子电子学报;1987年03期
2 孔繁龙,吕百达,代明,林菊平;光学谐振腔的分数傅里叶变换表示[J];激光技术;1998年01期
3 田来科,田东涛,杨志勇,王冰,姚合宝,董庆彦,柴昕锋;光学谐振腔的CAD[J];光子学报;2002年08期
4 ;放电混合的HF连续波激光器[J];激光与红外;1971年04期
5 黄英,叶嘉雄;自适应光学谐振腔动态象差的分析[J];量子电子学报;1991年01期
6 周风晴,陈清明,卢宏,冯功和;输出千瓦级基模CO_2激光的七折光学谐振腔[J];中国激光;1995年06期
7 刘杰,李健,于全训;谐振腔光学参数的测量[J];中国激光;1997年07期
8 胡宝坚;光学谐振腔的损耗和阈值条件[J];肇庆学院学报;1997年02期
9 许芹祖;李刚;沈洪斌;刘秉琦;;谐振腔的限模理论与实验[J];四川兵工学报;2010年06期
10 张光寅;变换圆和它在光学谐振腔设计中的应用[J];中国激光;1978年Z1期
11 树人;;激光目标指示器[J];激光与红外;1979年S1期
12 毕志毅;丁良恩;马龙生;郑一善;;光学谐振腔反射特性的光外差探测[J];华东师范大学学报(自然科学版);1989年03期
13 冯升同;张奕林;郭立群;;半内腔He-Ne激光器的调整技巧[J];物理实验;2009年03期
14 ;利用快速流动系统的CO化学激光器[J];激光与红外;1971年03期
15 李正佳;;两级串接式Nd~(3+):YAG连续激光器的实验研究[J];激光与红外;1980年08期
16 方洪烈;光学谐振腔本征模的正交性[J];光学学报;1984年06期
17 吕百达;光学谐振腔中的程函和有效光程[J];激光杂志;1985年03期
18 吕百达;光学谐振腔的失调特性[J];量子电子学报;1986年01期
19 高致慧;安毓英;;光学谐振腔中光束的完备态与自再现波型[J];西安电子科技大学学报;1991年03期
20 魏高尧;陈钢;张泽楠;;开腔He-Ne激光器谐振腔四步目测调节法[J];大学物理实验;2010年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 毕志毅;蒋燕义;方苏;徐信业;马龙生;;1Hz线宽稳频激光[A];2009全国时间频率学术会议论文集[C];2009年
2 赵国利;王健;吴家婷;朱爱民;徐勇;;OH自由基的腔增强吸收光谱的研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
3 陈天江;王亚丽;普小云;;微米量级石英圆对称光学谐振腔[A];第十七届全国激光学术会议论文集[C];2005年
4 贺新奎;杨国健;;单模腔内双原子的共振荧光[A];第八届全国量子光学学术报告会论文摘要选[C];1998年
5 甘孔银;单李军;胡和平;郜瑞贤;黎明;金晓;;20MW速调管调制器研制[A];中国工程物理研究院科技年报(2005)[C];2005年
6 陈萍;桂良启;谭萍;田加胜;郭伟;董天临;漆兰芬;樊明武;;遥感THz源技术研究[A];第二届微波遥感技术研讨会摘要全集[C];2006年
7 刘学胜;鄢歆;邱运淘;武强;王智勇;左铁钏;;大功率脉冲Nd:YAG激光器[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
8 姜校顺;童利民;;微光纤环形结激光器[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
9 唐孝容;高宁;汪斌;谭多望;李剑峰;;基于F-P腔选频特性的测量方法研究[A];中国仪器仪表学会第十一届青年学术会议论文集[C];2009年
10 熊永前;秦斌;冯光耀;谭萍;田家胜;陈萍;杨军;余调琴;裴元吉;樊明武;;基于自由电子激光的小型太赫兹源初步设计[A];第三届全国粒子加速器技术学术交流会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李春萍;含非线性介质的光学谐振腔系统斑图动力学的研究[D];长春理工大学;2003年
2 陈曜;微纳光学环腔生物传感芯片的制备研究[D];华中科技大学;2009年
3 杨剑;窄带极化纠缠光源的实验制备及其应用[D];中国科学技术大学;2009年
4 姚旻;随机电磁光束时空域传输特性的一些研究[D];浙江大学;2013年
5 陈浩伟;高功率LD侧泵准连续腔内倍频全固体绿光激光器研究[D];西北大学;2008年
6 凌东雄;高功率CO_2激光器光学谐振腔的改进及数值分析[D];昆明理工大学;2005年
7 陈悦;孔材料的形貌控制合成及光学功能材料的组装研究[D];吉林大学;2005年
8 李宏棋;角隅和直角内圆锥面全反镜激光谐振腔[D];华中科技大学;2007年
9 蒋燕义;超窄线宽激光及其在光钟中的应用[D];华东师范大学;2012年
10 殷勇;三反射镜准光腔电磁辐射源的研究[D];电子科技大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 胡亚红;全自动光学谐振腔稳定调节系统的可行性研究[D];中国科学院西安光学精密机械研究所;2001年
2 陈振;高偏振消光比光学谐振腔研究[D];浙江大学;2013年
3 陈艳萍;高灵敏光谱技术及其在精密光频控制中的应用[D];华东师范大学;2004年
4 鲁红刚;激光相位调制F-P腔精细度法测定反射率[D];华东师范大学;2006年
5 缪瑾;窄线宽稳频激光系统中的光学谐振腔振动敏感度问题研究[D];华东师范大学;2008年
6 张少先;新型集成光波导陀螺的分析与设计[D];电子科技大学;2002年
7 杨涛;超稳定Fabry-Perot腔的稳定性研究[D];北京交通大学;2007年
8 李景;MgZnO薄膜的PLD制备及其特性研究Si基微盘光学谐振腔的制备与研究[D];苏州大学;2011年
9 朱美光;基于高Q谐振腔方法的便携式甲烷气体传感器的研究[D];华东师范大学;2008年
10 李晓慧;光学微环谐振腔的研究与应用[D];上海交通大学;2010年
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 刘霞;美首次在室温下演示电磁激子发出激光现象[N];科技日报;2010年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978