收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

小闪耀角凸面闪耀光栅的研究与制备

程渔  
【摘要】:本文围绕小闪耀角凸面闪耀光栅的制作方法,对离子束束散角和涂层修整槽形展开了理论和实验研究,主要包含以下几方面的内容: 首先介绍了凸面闪耀光栅的意义和国内外凸面光栅的研究进展,综合叙述了离子束刻蚀技术和Kaufman离子源系统的工作原理。深入研究了光刻胶、K9玻璃和石英三种光学材料的刻蚀特性,以氩气为工作气体,得到了三种材料刻蚀速率与入射角度的拟合方程,为离子束束散角的研究提供了基础。 详细介绍了离子束束散角的计算以及束散角对刻蚀闪耀角的影响。提出了闪耀光栅闪耀角达到4°以后很难进一步减小可能是受离子束束散角影响的设想,并进行了理论分析和实验验证。通过遮挡刻蚀改良离子源准直性,在平面基底和凸面基底上制得了闪耀角2.8°和3.4°的闪耀光栅,在原有工艺的基础上,将闪耀角降低。 通过对已有闪耀角4°左右的闪耀光栅进行旋转涂布和提拉涂布光刻胶,进一步降低闪耀角。验证了不同旋涂、提拉速度和光刻胶溶剂浓度对最终实验结果的影响。得到了闪耀角减小量与涂层胶厚的拟合方程。分别通过旋转和提拉涂布制得闪耀角1.85°,反闪耀角11.1°和闪耀角1.81°,反闪耀角12.7°的凸面闪耀光栅。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 张路端;吕九如;;光栅单色器教学中“闪耀波长”与“闪耀角”关系的讨论[J];陕西师范大学学报(自然科学版);1990年04期
2 虞益挺;苑伟政;王兰兰;乔大勇;梁庆;;微型可编程光栅最大闪耀角的理论分析与实验[J];光学学报;2008年11期
3 曹冬梅;薛琳娜;朱晓敏;;闪耀光栅衍射图样分析[J];延安大学学报(自然科学版);2010年02期
4 赵博,晏磊,李颜青,齐向东,高键翔;闪耀光栅的傅里叶分析[J];光学技术;2001年02期
5 张新荣,李建忠;关于仪器分析教材中闪耀波长的讨论[J];大学化学;1989年05期
6 张庆英;张秀兰;;600线/mm大闪耀角激光光栅研制[J];光学精密工程;1985年06期
7 李淑萍;朱京平;李斌;唐天同;;线偏光闪耀反射光栅衍射特性研究[J];光子学报;2010年02期
8 庄夔 ,梁浩明 ,张庆英 ,赵明辰 ,张治国;衍射光栅 集光效率的研究[J];光学技术;1980年05期
9 曾泳淮;关于平面反射式闪耀光栅的问题讨论[J];大学化学;1997年05期
10 虞益挺;苑伟政;燕斌;李太平;姜澄宇;;一种新型的微型可编程闪耀光栅及其多光谱成像应用[J];科学通报;2009年19期
11 谭鑫;李文昊;巴音贺希格;齐向东;;紫外全息闪耀光栅的制作[J];光学精密工程;2010年07期
12 汪海宾;刘全;吴建宏;;Ar~+离子束刻蚀制作凸面闪耀光栅[J];光学学报;2011年04期
13 吴光节;李久康;施文敏;李玉兰;;哈雷彗星1986年3月21—25日光谱[J];天文学报;1986年03期
14 张善文;巴音贺希格;;非异常区TM偏振波宽波段特性在激光器调谐光栅设计中的应用[J];光学精密工程;2010年04期
15 方成;黄佑然;;南京大学太阳塔及多波段太阳光谱仪[J];天文学报;1983年03期
16 傅新定,郑延芳,陈莉芝,任琮欣,蔡雪强,曲志敏,徐英明,李美月;反应离子束微细加工全息闪耀光栅研究[J];光学学报;1985年01期
17 张善文;巴音贺希格;;宽波段金属光栅设计中闪耀波长对光栅异常的补偿效应[J];光学精密工程;2009年05期
18 赵复垣;刻划阶梯光栅的原理和应用特性[J];光谱学与光谱分析;1993年03期
19 巴音贺希格;朱洪春;;基于槽形函数拟合的刻划光栅衍射特性分析方法[J];物理学报;2007年07期
20 虞益挺;苑伟政;;MEMS微型可编程光栅的研究现状(下)[J];仪器仪表学报;2008年06期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 刘春泽;周斌;徐翔;杜艾;叶君建;张志华;吴广明;沈军;;溶胶凝胶法制备闪耀光栅及特性研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(1)[C];2007年
2 黄子强;张翠玉;陈晓西;杨文君;;液晶二元光栅用于激光方位探测与跟瞄[A];2008年激光探测、制导与对抗技术研讨会论文集[C];2008年
3 苏嘉;张寅超;赵曰峰;赵培涛;;Raman测温激光雷达的光路设计[A];光子科技创新与产业化——长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 吴娜;全息光栅掩模图形转移理论模型及新工艺研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2013年
2 魏石铭;衍射度量术在光栅形貌测量与小阶梯光栅制作中的应用[D];清华大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前9条
1 程渔;小闪耀角凸面闪耀光栅的研究与制备[D];苏州大学;2014年
2 刘萌;延伸角锥刀刻划衍射光栅槽形控制研究[D];长春理工大学;2011年
3 陈明辉;同质掩模法制作闪耀光栅研究[D];苏州大学;2012年
4 汪海宾;凸面闪耀光栅的设计及其制作[D];苏州大学;2010年
5 倪坤;双圆锥形圆弧刀刻划衍射光栅的槽形控制研究[D];长春理工大学;2011年
6 张垒垒;中阶梯光栅机械刻划工艺参数优化研究[D];长春理工大学;2012年
7 刘坤;可实现激光扫描的液晶闪耀光栅的设计与研究[D];电子科技大学;2010年
8 葛建平;成像光谱仪用光栅的研究[D];苏州大学;2012年
9 赵文彬;基于Opto-VLSI可调谐滤波器的研究[D];北京交通大学;2012年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978