收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

薄膜热物性实验研究

胡明雨  
【摘要】: 微、纳米薄膜材料是大规模集成电路、激光器件、微机电系统的重要组件。薄膜导热特性影响着器件和系统运行的性能和可靠性,因此研究薄膜的热传导性能对于器件的设计和稳定运行具有重要意义。本文用实验手段探讨了体态材料及微尺度结构材料热传导中的几个问题。其目的是为了找到合适的热电材料,进行合理结构设计来提高热电制冷效率,从而制备一种微型嵌入式制冷器件,为计算机芯片、MEMS器件等提供帮助。 本文介绍了MEMS的发展情况,结合具体实例介绍了热电制冷器件及其基本原理,对微尺度传热的研究现状进行了分类和概括。在此基础上,采用3ω方法基本原理搭建了导热系数测试系统,测试了体态硅材料的导热系数,以及120纳米厚二氧化硅薄膜的导热系数。对体态硅进行测试的结果表明,在40K到80K的温度范围内,体态硅的导热系数随着温度的升高而增大;而在80K到170K的温度范围内,体态硅的导热系数随着温度的升高而减小;证实杂质对体态硅材料导热系数存在很大的影响,讨论了杂质浓度与体态硅导热系数的关系,即随着杂质浓度的提高,体态硅的导热系数越来越小。对二氧化硅薄膜导热系数的测试结果表明,在40-170K之间的温度范围内,二氧化硅薄膜的导热系数与环境温度存在很密切的关系,即二氧化硅薄膜的导热系数随着温度的升高而增大。得到的测试结果与他人实验结果是一致的,表明建立的薄膜导热系数测试系统是合理的。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 周维军;袁永华;桂元珍;刘海淘;;脉冲激光辐照TiO_2/SiO_2薄膜热效应研究[J];强激光与粒子束;2007年01期
2 杨得全,范垂祯;扫描辐射计内光路反射镜中SiO_2/Ag薄膜系统的失效分析[J];中国空间科学技术;1992年03期
3 胡娟;吴爱民;岳红云;张学宇;秦福文;闻立时;;ECR-PECVD制备纳米硅颗粒薄膜[J];哈尔滨工程大学学报;2011年06期
4 罗开玉;鲁金忠;尹纯晶;钟俊伟;姚辉学;张永康;;激光冲击LY2铝合金的薄膜性能[J];吉林大学学报(工学版);2010年02期
5 姜纪冰;;高铅玻璃薄膜导电层的导电性能[J];真空科学与技术学报;1983年05期
6 杨振文;;高灵敏度砷化镓霍尔元件及其应用[J];仪表技术与传感器;1982年05期
7 宋长安,刘恩庆,孙志文;紫外光下观察有机发光膜[J];甘肃科技;2004年08期
8 邓乃绥;章兼源;徐景端;;薄膜卷绕理论分析[J];绝缘材料;1986年05期
9 ;吹塑薄膜联合挤压机发展迅猛[J];上海包装;1988年03期
10 ;国外机械简讯[J];机械制造;1963年05期
11 曾世诚;许淑琴;;光学介质薄膜断面的电子显微镜样品制备技术[J];电子工艺技术;1985年06期
12 张群芳;朱美芳;刘丰珍;;高效薄膜硅/晶体硅异质结电池的研究[J];太阳能;2006年04期
13 朱德庄;极群柄的自动焊接[J];蓄电池;1973年03期
14 范铭;;喷雾流化干燥试验研究分析[J];东南大学学报(自然科学版);1979年03期
15 曹祖植;;宽带光学介质反射膜的散射损失[J];光学仪器;1983年02期
16 张治明;;沥青—橡胶薄膜在减少反射裂缝方面的应用[J];中外公路;1986年03期
17 ;利用土工薄膜作为泄水建筑物护层[J];浙江水利科技;1986年04期
18 邝贤锋;;激光技术在塑料薄膜加工中的应用[J];包装工程;2006年02期
19 潘江陵;倪军;;面心立方(001)方向AB合金薄膜表面层的有序无序相变[J];物理学报;2006年01期
20 ;激光技术在消费品包装中的运用[J];中国包装工业;2008年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 赵云峰;高阳;;聚对苯二甲酸乙二醇酯/聚丙烯复合薄膜的超声波焊接[A];2010年全国高分子材料科学与工程研讨会学术论文集(下册)[C];2010年
2 邵净羽;王德苗;任高潮;徐电;;关于真空激光减薄技术的研究[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
3 邵净羽;王德苗;任高潮;;关于真空激光减薄薄膜技术的研究[A];TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2007年
4 裴嵩峰;赵金平;杜金红;任文才;成会明;;氢碘酸高效还原氧化石墨烯薄膜[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
5 王骥;柳建松;杜建科;黄德进;;薄膜体声波谐振器(TFBAR)厚度剪切振动频率的计算[A];第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会论文集[C];2008年
6 王立群;李德军;王明霞;宿杰;余大书;;ZrN/WN超硬多层薄膜缺陷性质的慢正电子湮没研究[A];2006年全国功能材料学术年会专辑[C];2006年
7 谢奉妤;高家诚;胡德;张敏;;纯Mg表面TiO_2薄膜的电化学腐蚀行为[A];2011(昆明)中西部第四届有色金属工业发展论坛论文集[C];2011年
8 董石麟;;正交正放类三层网架的结构形式及拟夹层板分析法[A];第五届空间结构学术交流会论文集[C];1990年
9 董石麟;;正交正放类三层网架的结构形式及拟夹层板分析法[A];空间结构论文选集(二)[C];1997年
10 关黎明;张茹;王廷云;;掺杂纳米材料光纤的探索性研究[A];2006年全国功能材料学术年会专辑[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 郭孝孝;LDHs薄膜的取向生长及性能研究[D];北京化工大学;2010年
2 王颖;中红外激光薄膜的研究与制备[D];浙江大学;2009年
3 白素媛;亚微米薄膜导热特性的研究[D];大连理工大学;2010年
4 李耀义;应变岛双稳态及拓扑绝缘体薄膜分子束外延生长研究[D];清华大学;2010年
5 王玲艳;化学溶液沉积工艺制备无铅铁电K_(0.5)Na_(0.5)NbO_3 薄膜的结构和性能研究[D];西安交通大学;2011年
6 赵越;化学方法制备硫族化合物纳米薄膜的研究[D];山东大学;2010年
7 马铭;超顺磁性氧化铁和LSMO/BCFO复合多铁薄膜的制备及其物性研究[D];华中科技大学;2011年
8 王卫东;纳米晶胶体墨水技术CuInSe_2黄铜矿薄膜的制备、表征与光伏应用[D];天津大学;2012年
9 钟财富;高居里点钙钛矿型压电薄膜材料的制备、结构与性能研究[D];清华大学;2012年
10 彭堂超;磁控溅射制备NiO、TiO_2和ZnO薄膜及其物性研究[D];武汉大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张磊;脉冲激光沉积制备Fe-N薄膜[D];浙江大学;2011年
2 陈谦;FTO薄膜热处理过程中的表面演化及性能的研究[D];燕山大学;2011年
3 王玉雷;太阳电池用SiN/a-Si/poly-Si/NiTi薄膜的制备与性能研究[D];南京航空航天大学;2010年
4 张凇铭;电弧离子镀过程中脉冲偏压对TiCN薄膜的影响[D];长春理工大学;2010年
5 管昌雨;反应磁控溅射制备组分可控的B-C-N薄膜[D];大连理工大学;2010年
6 李清峰;C轴取向BaFe_(12)O_(19)薄膜集成到Si单晶基片的磁控溅射工艺与性能研究[D];苏州大学;2010年
7 聂利飞;无扩散阻挡层Cu(C)和Cu(Ti)薄膜的制备及表征[D];大连理工大学;2010年
8 尹永波;ZnO:Al靶材与薄膜的制备初步研究[D];西华大学;2010年
9 潘笑风;高性能铁电薄膜制备、结构与性能研究[D];电子科技大学;2010年
10 姜巍;WS_2及C掺杂TiAlSiN复合膜制备工艺及性能研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 张奕波;激光技术在消费品包装中的运用[N];中国包装报;2008年
2 ;一种用于金属包装的增强型防水全塑复合膜[N];中国包装报;2005年
3 ;一种纸塑复合包装材料[N];中国包装报;2005年
4 ;电子部件壳用包装材料[N];中国包装报;2005年
5 河南农业大学教授 张绍文;搭建“棚中棚” 蔬菜可早定[N];河南科技报;2008年
6 ;液态食品包装片状材料[N];中国包装报;2005年
7 陈希荣;上光技术日趋完善 环保上光最具潜力[N];中国包装报;2007年
8 林其水;食品软包装中的激光划线技术[N];中国包装报;2008年
9 ;失效专利信息精选[N];天津工商报;2000年
10 ;解读高可靠性及小型化晶圆级CSP[N];中国电子报;2004年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978