收藏本站
收藏 | 论文排版

Pb(Zr_(0.95)Ti_(0.05))O_3薄膜的PLD制备及热释电性能的研究

董大兴  
【摘要】: 近年来,铁电薄膜材料由于具有良好的压电、热释电、铁电特性,因此得到了广泛的关注。其中,PZT薄膜由于具有较高的自发极化,相对低的介电损耗和介电常数,而且95/5附近的PZT薄膜又具有丰富的相变,因此使其成为制备非制冷红外探测器首选材料之一。本论文对Pb(Zr0.95Ti0.05)O3薄膜的制备工艺、微结构以及电性能进行了研究。 实验采用激光脉冲溅射法(PLD),在Si片上制备Si/YBCO/PZT薄膜,并对薄膜进行快速退火,通过AFM,XRD分析及对其电特性的测试分析,结果表明所制备薄膜具有良好的铁电和热电性,并且通过参数比较,得出了制备具有良好电特性薄膜的一些工艺条件和不同工艺条件对薄膜电特性的影响规律。在优化的条件下制备的PZT薄膜,在30℃~60℃内可获得平均热释电系数2.5×10~(-8)C/cm~2·K,矫顽场20.1kV/cm、自发极化强度115.569μC/cm~2和剩余极化强度43.835μC/cm2,具备良好的热释电特性。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 崔敏;张波萍;李海涛;;烧结温度对0.9PbZr_(0.52)Ti_(0.48)O_3-0.1NaNbO_3压电陶瓷结构及电学性能的影响[J];稀有金属材料与工程;2011年S1期
2 闻心怡;王耘波;周文利;高俊雄;于军;;张应力对准同形相界Pb(Zr,Ti)O_3薄膜相变和铁电性能影响[J];物理学报;2011年09期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
11 ;[J];;年期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 刘高旻;谢庆海;刘艺;王海晏;贺红亮;;PZT 95/5陶瓷FE→AFE相变区冲击放电规律研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第3分册)[C];2010年
2 孟庆华;朱孔军;裘进浩;董娜娜;季宏丽;;Pb过量及退火工艺对溶胶凝胶法制备PZT粉体的影响[A];中国颗粒学会超微颗粒专委会2011年年会暨第七届海峡两岸超微颗粒学术研讨会论文集[C];2011年
3 张移山;杨晋辉;华庆祥;潘冬冬;;基于PZT压电陶瓷传感器的铝板损伤监控定位技术研究[A];2011年全国机械行业可靠性技术学术交流会暨第四届可靠性工程分会第三次全体委员大会论文集[C];2011年
4 刘倩;周剑平;王攀;;镍锌铁氧体Ni0.4Zn0.6Fe2O4和铁电体PZT多铁复合陶瓷的介电性能和磁性能[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
5 高晓云;刘庆锁;陆翠敏;;PZT基体上局部沉积NiTiSMA薄膜材料的组织结构研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第4分册)[C];2010年
6 王灿;石云;方前锋;朱震刚;;PZT铁电陶瓷的低频内耗研究[A];全国第六届固体内耗与超声衰减学术会议论文集[C];2001年
7 方华军;刘理天;任天令;;硅基压电悬臂梁式微麦克风的设计与优化[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年
8 孟龙;姜春香;郑海荣;;用于纳米药物定点输送的超声驱动器件的声场设计仿真研究[A];第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会论文集[C];2008年
9 宋世庚;符小荣;张锦文;龚健;陶明德;;Sol-Gel法制备PZT铁电薄膜的研究[A];材料科学与工程技术——中国科协第三届青年学术年会论文集[C];1998年
10 俞本立;吴许强;;基于光纤激光器的微振动信号保真拾取干涉仪[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李建华;前驱体法制备PZT/ZrO_2纳米复相陶瓷性能研究[D];天津大学;2009年
2 冯铁程;B位先驱体法制备PZT/ZrO_2复合压电陶瓷及其性能研究[D];天津大学;2010年
3 朱晓莉;充满型钨青铜铌酸盐陶瓷的结构、介电性能与铁电相变[D];浙江大学;2010年
4 邓启煌;多场耦合条件下MSP测试系统的建立及在PZT陶瓷中的应用[D];东华大学;2012年
5 晁小练;低温烧结PZT基压电陶瓷材料的研究及器件开发[D];陕西师范大学;2010年
6 刘毅;多铁性氧化物RFe_2O_4的磁电效应及相关物性研究[D];中国科学技术大学;2011年
7 李向阳;层状压电/弹光复合材料电光效应研究[D];南京师范大学;2011年
8 周国香;铁电相变自由能的系列研究与反铁电相变序参量选取[D];河北工业大学;2004年
9 胡鹏;高频微型声驱动热声制冷机的理论探索与实验研究[D];中国科学院研究生院(理化技术研究所);2007年
10 张晨;BST基温度稳定型高压电容器介质陶瓷的制备与研究[D];天津大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 董大兴;Pb(Zr_(0.95)Ti_(0.05))O_3薄膜的PLD制备及热释电性能的研究[D];南京航空航天大学;2010年
2 未治奎;PZT95/05薄膜的制备及介电特性研究[D];天津师范大学;2011年
3 郑慈航;PZT薄膜的溶胶凝胶法制备及在MEMS中的应用研究[D];上海交通大学;2011年
4 张雪珍;溶胶—凝胶法制备PZT薄膜的研究[D];长春理工大学;2011年
5 孙炜竟;含铁电间界耦合的铁电双层膜的极化和介电性质的理论研究[D];吉林大学;2010年
6 黄玲;PZT薄膜热退火工艺的研究及微传感器的制备[D];武汉理工大学;2011年
7 曾辉;PZT薄膜的制备和电性质研究[D];南京航空航天大学;2010年
8 赵奉阔;锑锂复合取代的PZT二元体系的研究[D];天津大学;2012年
9 李瑛娟;稀土掺杂PZT压电陶瓷与薄膜材料的制备研究[D];昆明理工大学;2012年
10 杨晓鸾;PZT/Ag_2O-NPs/PZT复合薄膜的光电特性[D];苏州大学;2012年
中国重要报纸全文数据库 前5条
1 许祖华 冯国;我国首次研制出无铅压电材料[N];中国技术市场报;2009年
2 记者 鸣琦;西安交大无铅压电材料研究取得重大突破[N];陕西日报;2009年
3 本报记者 刘霞;纳米发电机,小材有大用[N];科技日报;2010年
4 记者 李军;无铅压电材料锆钛酸钡钙诞生[N];中国化工报;2009年
5 骆珈 那月东;铁电随机存储器专利申请现状分析[N];中国知识产权报;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978