单频激光干涉测长系统抗干扰性及细分技术的研究

【摘要】：本文对单频激光等倾干涉测长系统进行了较为系统地研究；针对条纹计数的局限性，提出了对干涉面上等倾条纹能量的接收处理来实现对位移测量的新方法；对较小入射角时透镜焦平面上一组等倾干涉条纹的能量进行了分析，建立了相应的数学模型，分析得出该能量是随测量镜位移变化而呈周期为λ／2的正弦规律变化的结论；通过对能量信号直流分量的跟踪来解决系统光强的“零漂”问题，以有效提高系统的抗干扰性能；并提出了一种基于对条纹相位进行自适应检测的细分新方法。 试验结果表明分析结果和试验结果基本吻合，证明了文中对焦平面上等倾干涉条纹能量的理论分析及数学模型的正确性。仿真结果表明，文中提出的采用跟踪直流分量解决光强“零漂”问题及通过对条纹相位进行自适应检测来细分的方法是可行的。