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GaAs光电阴极自动激活技术研究

姚雪燕  
【摘要】: GaAs光电阴极具有量子效率高,暗发射小,发射电子的能量分布及角分布集中,长波阈可调,长波响应扩展潜力大等优点,在高性能微光像增强器、自旋电子学等众多领域获得了广泛的应用。 国内GaAs负电子亲和势光电阴极的激活制备过程尚处于人工操作阶段,人为因素造成的误差在一定程度上限制了GaAs光电阴极的成品率。若由计算机精确控制GaAs阴极的激活过程,则可避免人为因素带来的不确定性和对经验的依赖,显著提高阴极的成品率和生产效率。本文在此背景下研究了GaAs光电阴极自动激活技术,主要内容如下: 首先,介绍了NEAGaAs光电阴极国内外的发展现状及应用,分析了GaAs光电阴极的性能参量。 其次,介绍了GaAs光电阴极激活原理及光谱响应测试原理。重点介绍了GaAs光电阴极Cs、O激活过程的整个工艺流程以及光谱响应的有关计算及测试方法。 最后,介绍GaAs光电阴极自动激活系统的研制,包括硬件设计,软件编写。利用该系统进行了GaAs光电阴极自动激活实验,实验激活过程中Cs、O交替9次,激活后GaAs光电阴极的积分灵敏度达到了1100μA/lm。


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