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数字散斑干涉技术及在多功能光电测试仪中的应用

彭德艳  
【摘要】: 本论文主要研究了数字散斑干涉技术(DIGITAL SPECKLE PATTERN INTERFEROMETER,后文简称DSPI),数字散斑干涉技术的应用在国内尚属空白, 该技术在理论和实用领域均有新颖和独到之处。 基于DSPI原理,论文吸收统计分析思想,相对完善了该技术的实用技术 体系,设计了一种DSPI应用光路,该光路可用于粗糙表面离面位移和形变检 测,并依托此光路设计了一套多功能激光光电实验系统。 该多功能激光光电实验系统以泰曼-格林干涉(Twyman-Green)光路作核 心,包括先进的数字波面干涉技术和一种基于空间干涉原理的、纳米分辨率 零差干涉仪位移测量方法,同时将多种新颖、工程实用价值高的测量技术和 光路如衍射测量、共焦显微技术、光纤传感技术以及反映傅立叶光学基本光 学原理的4f空间滤波系统也组合进去。 在信息技术、仪器科学、计量测试以及自动化专业技术教学中,该系统 能提供丰富的现代光学测试实验。 论文最后总结了该测试系统的不足,提出了一些改进方法,对该仪器的 升级和应用作了展望。


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