收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

石英晶振器件的激光刻蚀频率微调研究

邵净羽  
【摘要】: 石英晶体谐振器,以其优良频率稳定度、高Q值、高振荡频率及体积小巧等特点,在军事、通讯、计算机、家用电器及各种工业电子设备中得到了广泛的应用。随着科学技术的不断发展,对石英晶体谐振器精确度的要求越来越高,精确调节石英晶体谐振器的频率,是国内外研究和生产中的热点问题。 本文探索性研究了一种新颖的频率微调技术——激光刻蚀微调。论文从激光刻蚀机制、刻蚀工艺等方面深入研究了激光刻蚀微调技术,并对如何应对和减少刻蚀损伤、实现产业化应用提出了方案。 论文工作取得的主要研究成果有: 1.提出并实现了激光减薄和激光刻蚀图形两种激光刻蚀方法对石英晶体谐振器件进行频率微调。研究结果表明,这两种激光刻蚀技术都可以用来精确微调石英晶振器的频率,其中激光刻蚀图形方法更有利于产业化应用。这一研究工作在国际上尚未见报道。 2.通过对激光刻蚀损伤的机理的研究,并结合实验研究,提出了四变量方法,即大气环境、真空环境、激光减薄和激光刻蚀图形,相当于是影响激光频率微调结果的四个相互独立的自变量,而最终的刻蚀量就是方程的因变量。研究表明,在每一种具体的工作环境下,运行每一种具体的刻蚀技术时,都找到了激光电流、激光频率和Q脉冲宽度三个参数与微调结果的关系;对于固定的石英晶片三个参数均存在一个损伤域值,当超过此域值时就会对晶片产生损伤,同时,对于大气环境和真空环境,域值也有所不同。通过实验研究找出了最大的无损伤刻蚀调节量为:激光减薄工艺真空中最大的无损伤调节量为500ppm左右,大气中为100ppm左右。激光刻蚀图形工艺则可达2000ppm以上。这为激光刻蚀调频技术的应用提供了有价值的工艺参数。 3.在上述研究的基础上,进一步探讨了激光刻蚀工艺的产业化问题以及在其他领域的应用,提出了多晶片同时微调、多图形微调等方案,提出了石英晶片频率微调系统整体方案,并对激光频率微调技术的发展趋势进行了预测性分析。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 张伟刚;刘卓琳;殷丽梅;;飞秒激光刻蚀Ⅴ型光纤微腔及其干涉谱特性[J];光学学报;2011年07期
2 ;[J];;年期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
11 ;[J];;年期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 赵旭东;肖荣诗;;激光刻蚀条纹对镀锌钢表面浸润性的影响[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
2 杨国山;张邦成;肖芬;;微波陶瓷介质谐振器激光微调系统[A];2008中国仪器仪表与测控技术进展大会论文集(Ⅱ)[C];2008年
3 冯波;梅林;程正学;张蓉;夏之宁;;激光刻蚀成模快速制作PDMS微流控芯片[A];第三届全国微全分析系统学术会议论文集[C];2005年
4 秦川丽;赵淑芳;白续铎;;脉冲激光刻蚀聚苯乙烯的蓝光发射[A];中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集(下册)[C];2006年
5 袁根福;姚燕生;马玉平;陈雪辉;梁华琪;;难加工材料激光和流体冲蚀复合加工试验研究[A];第13届全国特种加工学术会议论文集[C];2009年
6 陈记寿;徐爱忠;刘丹;;激光刻蚀ITO薄膜工艺研究[A];2010全国玻璃技术交流研讨会论文集[C];2010年
7 李晨明;牛海军;Muriel Rigout;张丽;白续铎;;纳米晶硅的制备与光致发光[A];中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集(上册)[C];2006年
8 黄成功;陈福深;;高速聚合物电光调制器的制备技术[A];2006中国西部青年通信学术会议论文集[C];2006年
9 李爱魁;汪爱英;孙丽丽;徐采云;;类金刚石(DLC)薄膜的激光表面毛化工艺研究[A];第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集(二)[C];2008年
10 郭卫;陈静;;薄膜太阳电池用TCO玻璃发展分析[A];电子玻璃技术(2009年第1、2期)——第九届电子玻璃分会换届年会及庆祝电子玻璃分会成立三十周年暨电子玻璃学术研讨会论文集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 张恒;纳秒激光诱导若干金属材料微结构及其应用研究[D];苏州大学;2008年
2 金美花;超疏水性纳米界面材料的制备及研究[D];吉林大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 邵净羽;石英晶振器件的激光刻蚀频率微调研究[D];浙江大学;2008年
2 杨国山;微波介质谐振器自动检测与激光微调[D];厦门大学;2009年
3 刘思远;ITO薄膜激光刻蚀控制系统的实现[D];苏州大学;2010年
4 李强;激光微细加工在电子行业中若干应用的研究[D];浙江大学;2010年
5 朱纪春;聚乙烯吡咯烷酮和聚乙烯咔唑的表面增强拉曼光谱研究及激光刻蚀金属胶体的制备[D];河南大学;2005年
6 王宏波;碳纳米管场发射性能研究[D];黑龙江大学;2006年
7 宋云夺;激光微调技术在激光调阻机中的应用研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
8 丁丽;激光刻蚀法制备金属纳米颗粒及其光谱特性研究[D];河南大学;2007年
9 刘院省;金属材料脉冲激光刻蚀微加工的基础研究[D];北京工业大学;2007年
10 钱良存;犁铧钢表面减粘自洁的研究[D];安徽农业大学;2009年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 伍航;习近平视察航天510所[N];中国航天报;2009年
2 周童;一块砖头引发的猜想[N];计算机世界;2008年
3 关欣;真假李逵难分辨[N];中国信息报;2003年
4 记者罗政;香港将签发智能身份证[N];人民日报海外版;2003年
5 ;3·15之键盘[N];中国电脑教育报;2001年
6 ;明基A800海贝键盘[N];中国电脑教育报;2004年
7 径山茶;如何辨别笔记本电脑内存[N];中国电脑教育报;2005年
8 邓诺;太阳能热水器泛滥假“清华”[N];中华工商时报;2003年
9 肖飞;卡通明星 藏界也明星[N];中国商报;2009年
10 赵阳;广东东莞新兴产业发展锁定“太阳能光伏”[N];消费日报;2010年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978