收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

光学薄膜光学特性检测中若干关键问题的研究

薛晖  
【摘要】:要制备高性能的光学薄膜器件,其光学特性测试的重要性是毋庸置疑的。随着光学薄膜设计与制备技术的发展,各种复杂结构薄膜器件的制备成为可能。设计出来的各种复杂的光学薄膜必须经过一系列特性检测才能最终用于生产实践;对各种光学特性的了解反过来又能指导和修正现有的设计。本课题在传统光学薄膜光学特性检测技术的基础上,对其中的若干关键问题加以讨论,设计了一整套针对光学薄膜光度特性、光学常数以及位相特性检测和反演的方案。论文主要涉及以下几个方面: 1、光学薄膜光度特性检测系统的研究。在深入研究国内外各种光学薄膜光学特性检测技术的基础上,针对其局限性,设计了新型光谱透反射率测试系统,并从总体设计、元器件选择、硬件电路设计以及上位机软件编写四个方面对整个系统的设计方案加以阐述。重点介绍了几个关键功能的具体实现,包括倾斜光入射的处理、多角度反射率的测量、温度漂移特性的测量、偏振特性的测试及校准以及高精度数据采集系统的设计等等,且均给出了相应的实验结果,从而对其可行性与正确性加以验证。最后,将测试得到的数据与国外高档的商用分光光度计相比较,对该光谱测试系统进行了精度分析,详细分析了误差的主要来源,同时提出了相应的解决方法。 2、光学薄膜光学常数反演方法的研究。主要研究了反演光学薄膜光学常数的几种方法,包括极值法、包络线法和光谱拟合算法,重点分析了基于优化算法的光谱拟合法的实现原理,将现今流行的优化算法,如单纯形法、模拟退火法和遗传算法等应用于光学薄膜光学常数的反演中,通过模拟和实验两方面加以验证,并分析了各种优化算法的优缺点以及各自的适用场合。此外,考虑到实际透射率的测试必定存在误差,对如何降低其对光学常数反演结果的影响作了详细的讨论和分析,提出并从理论上证明了可以借助透射(或反射)光谱对光学常数的偏导数来筛选反演计算的波段,从而抑制光学常数反演结果的误差。 3、光学薄膜位相特性检测方法的研究。通过对国内外光学薄膜位相检测技术的研究,提出了包括傅立叶变换法、干涉强度拟合法、包络线法、节点拟合法以及小波变换法在内的多种位相提取算法。为了验证上述算法的正确性,搭建了用于位相测量的光谱型白光干涉系统,对制备的不同薄膜样品进行了位相信息(包括群延迟和群延迟色散)的测量,并将实验测得的位相值与理论值进行了对比,结果表明两者具有很好的一致性。考虑到位相测试(尤其是群延迟色散)中的噪声水平,采用窗口平滑的方法对其加以改善,并分析了窗口尺寸的选择对测试结果的影响。此外,进一步讨论了影响位相以及群延迟测试精度的几点因素,并提出了克服和解决的方法。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 仲永安;固体光学薄膜结构研究的一些进展[J];物理;1981年11期
2 吴周令,范正修,王之江;强激光对薄膜的损伤研究[J];物理;1991年03期
3 沈元华;软X射线波段的光学薄膜[J];激光与红外;1991年05期
4 ;其它[J];中国光学与应用光学文摘;2000年02期
5 占美琼;;提高光学薄膜激光损伤阈值的途径[J];上海第二工业大学学报;2010年04期
6 张福初;赵福庭;;美国第三届光学干涉薄膜讨论会论文简介[J];激光与红外;1984年12期
7 林开华;郑宣明;;反应性离化团束制备光学薄膜新技术[J];光学精密工程;1991年05期
8 饶觉陶,梁瑾青,李科;光学薄膜保护封闭漆[J];光学技术;1999年01期
9 ;光学薄膜参数测试[J];中国光学与应用光学文摘;2000年02期
10 谈恒英,刘鹏程,施柏煊;激光光热偏转成象法无损检测光学薄膜的激光损伤[J];光子学报;2005年01期
11 范正修;光学薄膜的损耗[J];中国激光;1981年08期
12 唐晋发;;光学薄膜进展[J];激光与红外;1985年06期
13 赵俊民;;全国光学薄膜技术学术交流会在西安召开[J];应用光学;1987年06期
14 张伟;沈红兵;赵恒谦;;光学薄膜的色散[J];应用光学;1988年04期
15 杨亚生;;光学薄膜膜厚监控中极值法的应用[J];半导体光电;1989年02期
16 韩季之;光学薄膜抗激光损伤的测量[J];激光与红外;1991年05期
17 张伟;赵恒谦;杨茂华;李庆波;;沿膜厚方向的簿膜非均匀折射率及其色散测量[J];应用光学;1991年06期
18 黄印权;;1.06μm激光对光学薄膜的损伤[J];红外与激光工程;1992年04期
19 朱震;激光与红外技术中应用的光学薄膜[J];激光与红外;1993年02期
20 王建成;王喜中;韩丽瑛;;光学薄膜的反应离子镀概述[J];河南师范大学学报(自然科学版);1993年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 洪冬梅;朱震;刘国喜;;激光器使用的光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
2 洪冬梅;陈生;曹海云;朱震;王春;;红外用光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
3 姚兰芳;沈军;汪国庆;吴广明;吴兆丰;王珏;;蒸发诱导自组装法制备多孔二氧化硅光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
4 王济洲;熊玉卿;刘宏开;陈焘;;一种双通道窄带滤光片的设计与制备(英文)[A];真空技术与表面工程——第九届真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2009年
5 王济洲;熊玉卿;刘宏开;王多书;;一种双通道窄带滤光片的设计与制备[A];第九届真空冶金与表面工程学术会议论文摘要集[C];2009年
6 闫宏;赵福庭;;光学薄膜领域反应磁控溅射技术的进展[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
7 林炳;刘定权;张凤山;;离子束刻蚀光学薄膜的速率定标技术[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
8 饶觉陶;梁瑾青;李科;;光学薄膜保护封闭漆[A];现代光学制造技术论文集[C];2002年
9 张殷华;黄伟;张云洞;;光学薄膜附着力测量方法[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年
10 沈正祥;王占山;马彬;徐敬;陈玲燕;;利用功率谱密度函数表征光学薄膜基底表面粗糙度[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 吴素勇;光学薄膜鲁棒设计、参数表征和反向工程等若干关键技术研究[D];国防科学技术大学;2011年
2 郭春;真空紫外光学薄膜制备及其性能检测技术研究[D];中国科学院研究生院(光电技术研究所);2014年
3 白胜元;光学薄膜设计及其在光波分复用系统中的应用[D];浙江大学;2001年
4 薛晖;光学薄膜光学特性检测中若干关键问题的研究[D];浙江大学;2009年
5 韩军;光学膜厚宽带监控关键技术研究[D];西安电子科技大学;2011年
6 李再金;半导体激光器腔面光学膜关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
7 沈伟东;基于MOEMS技术的光学调制器研究[D];浙江大学;2006年
8 史金辉;消偏振分光镜的设计与特性分析[D];哈尔滨工程大学;2007年
9 王成;介质薄膜膜基体系力学光学特性研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
10 李旸晖;深紫外低偏振光学薄膜的研究[D];浙江大学;2013年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘鹏程;光热偏转法评价光学薄膜的激光损伤[D];浙江大学;2003年
2 张淑娜;光学薄膜相位特性测试的研究[D];浙江大学;2011年
3 史金辉;消偏振分光棱镜膜系分析与设计[D];哈尔滨工程大学;2005年
4 宋玲玲;光学薄膜优化设计的实现[D];合肥工业大学;2006年
5 林宇翔;光学薄膜厚度实时监控系统及其反演的研究[D];浙江大学;2004年
6 鞠兵;高精度数字式光学膜厚监控系统的研制[D];四川大学;2005年
7 冯君刚;反可见、中红外透10.6μm高能激光分色镜的研制[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
8 林琦;高能激光与光学介质薄膜作用机理的研究[D];长春理工大学;2010年
9 黄昱勇;光学薄膜在投影显示和光开关中的应用[D];浙江大学;2002年
10 冯志荣;光学薄膜的数字滤波器设计方法[D];河南师范大学;2011年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 万军;光学薄膜与材料领域的领军人[N];中国企业报;2011年
2 常建龙 王婧 郝晓丽;徐耀:光学薄膜领域的探索者[N];科技日报;2011年
3 本报记者 马守贵;你还记得乐凯吗[N];中国化工报;2011年
4 证券时报记者 李小平;康得新有望替代三星供货京东方[N];证券时报;2011年
5 本报记者 赵芮 孙晓青 李湘虹;他从“千人计划”中脱颖而出[N];人民日报海外版;2009年
6 DisplayBank;光学薄膜核心专利日本企业的申请数位居前列 FUJI FILM偏光板用核心专利名列各企业之首[N];电子资讯时报;2007年
7 记者 郭瑞坤 张小明;ST天龙子公司光学薄膜项目开工[N];上海证券报;2011年
8 荣超;中光学欲“影”响世界[N];人民邮电;2010年
9 余卫华;富士胶片计划增产液晶用光学薄膜三成[N];电子资讯时报;2008年
10 本报记者 郑惠华;中国乐凯 “变身”光学薄膜制造商[N];河北经济日报;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978