收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

小角度XRD的实现及应用

刘永强  
【摘要】:随着大规模集成电路集成度的提高、太阳能电池板的产业化发展以及纳米级别薄膜制备技术的飞速发展,半导体电子器件正逐步向小型化、薄膜化方向发展,高精度无损薄膜测试技术的发展已经迫在眉睫。一方面,由于常规的无损测量技术如光学干涉法测量厚度,这种方法只能测试透明的,厚度均匀的固态薄膜,因此无法满足目前器件工艺的测试要求。而另一方面,由于小角X射线衍射所获得的样品表面的的信息主要来自薄膜1-10nm内的信息,可以精确测定纳米数量级薄膜样品的膜厚和结构信息。 小角X射线衍射技术因为其制样方便,实验后样品不被破坏并且测得的样品的信息具有精度高,以及测量速度快等特点,被认为是目前测量薄膜结构信息的主要手段。但是由于国外具有小角X射线衍射功能的仪器价格昂贵,而国内的X射线衍射仪绝大部分不具有小角X射线衍射的功能。因此有必要开发一种低成本的小角X射线衍射技术。 论文分析了小角X射线衍射的原理、X射线衍射仪的组成和工作原理,在此理论基础上逐步实现了低成本小角X射线衍射技术。首先,通过对现有普通国产X射线衍射仪硬件的改装和控制软件的编写,实现了小角X射线衍射功能。其次,在实现小角X射线衍射的基础上,结合了X射线荧光探测头,实现了全反射X射线荧光光谱功能。最后,通过对实际样品的分析测试,凸显了小角X射线衍射在nm数量级薄膜厚度的测试和全反射X射线荧光光谱仪在nm数量级薄膜成分分析中的优势。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 任凤章;曹轲;郑茂盛;马战红;苏娟华;田保红;;基于电子理论Ni基体上电沉积Cu膜内应力研究[J];稀有金属材料与工程;2011年01期
2 李刚;姚梁格;朱蕊花;;利用“摆动曲线”测定薄膜厚度及消光距离[J];物理测试;1989年04期
3 李塘华;朱正吼;马广斌;夏小鸽;;一种新型压磁薄膜[J];功能材料;2007年11期
4 崔占奎;邹正光;龙飞;;ZnS薄膜的水浴法制备及其光学性能[J];材料导报;2008年02期
5 赵彦钊;李志贤;马新耀;杨胜徐;贾效之;;Nb_2O_5薄膜的制备及性能研究[J];中国陶瓷;2008年08期
6 苗建旺;王超;周春根;;化学气相沉积TiN薄膜及其耐磨性能[J];航空学报;2008年06期
7 郑立新;刘华新;;聚全氟乙丙烯宽幅薄膜成型工艺的研究[J];上海化工;2009年10期
8 张彩珍;刘肃;王永顺;刘春娟;;(Li,Mg)∶ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备及特性表征[J];半导体技术;2010年07期
9 张俊双;叶勤;曾富强;王权康;;薄膜厚度和工作压强对室温制备AZO薄膜性能的影响[J];材料导报;2011年12期
10 丁星兆,董远达;溶胶-凝胶薄膜工艺及其应用[J];材料导报;1993年03期
11 阎明朗,耿胜利,杨正;CoCr合金薄膜厚度对其结构及磁性的影响[J];信息记录材料;1994年01期
12 吴国友,沈毅,张青龙,朱华;纳米WO_3薄膜材料的制备及掺杂改性研究[J];中国钨业;2005年05期
13 黄佳木;赵国栋;蔡小平;董晓霞;;非晶态TiO_2-W薄膜的光催化性能研究[J];环境科学学报;2006年04期
14 王鸿博;赵晓燕;洪剑寒;杜矗;金昭;;PET基纳米结构Ag薄膜结构及导电性能[J];纺织学报;2007年02期
15 宋锐;杨德彬;谢巧丽;何领好;刘宝菲;;热处理对聚偏氟乙烯-酰胺类溶剂所制薄膜结晶行为的影响[J];高分子学报;2007年02期
16 杜玉军;杨陈;惠迎雪;;过渡层ZrO_2对不同沉积厚度TiO_2薄膜结构的影响[J];材料导报;2007年08期
17 魏琦;王新;慕晶霞;范海军;吴其晔;;原位分散聚合制备纳米PANI-SiO_2薄膜的性能[J];现代塑料加工应用;2007年05期
18 孙治国;杨莉;;Cu薄膜应力的计算机模拟与表征[J];甘肃科技;2008年01期
19 于子龙;陈福义;介万奇;闫晓红;;沉积电位对CdSe纳米晶薄膜的结构、形貌和光学性质的影响[J];功能材料;2008年05期
20 曾其勇;郑晓峰;;SiO_2薄膜制备的现行方法综述[J];真空;2009年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张兴旺;严辉;王波;路永刚;陈光华;;偏压对c-BN薄膜生长特性的影响[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
2 程晓农;刘红飞;张志萍;屈展;;射频磁控溅射法制备Al_2(WO_4)_3薄膜[A];TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2007年
3 刘结平;乔晓平;曹启坤;;薄膜厚度与结晶温度对聚合物薄膜球晶结构的影响[A];2009年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(上册)[C];2009年
4 刘华敏;刘赵淼;;不计表面张力的倾斜基底上的DIP COATING[A];北京力学学会第12届学术年会论文摘要集[C];2006年
5 金浩;王德苗;董树荣;;薄膜材料的微波复介电常数测量[A];中国真空学会第六届全国会员大会暨学术会议论文集[C];2004年
6 蔡琪;孟凡明;宋学萍;孙兆奇;;基于透射光谱确定薄膜厚度的一种新方法[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
7 黎永志;黄光周;帅福利;于继荣;;光学薄膜厚度的实时监控算法研究[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
8 孟长功;王德和;崔立山;陶德宏;杨大智;;压电陶瓷薄膜的原位水热化学制备[A];第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1995年
9 杜军;杜丕一;韩高荣;翁文剑;汪建勋;;常压化学气相沉积法在玻璃上制备TiSi_2薄膜的研究[A];中国真空学会第六届全国会员大会暨学术会议论文集[C];2004年
10 黄光周;于继荣;刘雄英;杨英杰;;基于ARM实时光学薄膜厚度监控的研究[A];TFC'05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 田雪松;用于抗激光致盲的氧化钒薄膜制备及光学相变特性研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
2 黄正兴;薄膜热导率的测试与分子动力学模拟研究[D];大连理工大学;2007年
3 贾莉;低成本制备氧化锆薄膜燃料电池的研究[D];大连理工大学;2006年
4 杨长红;钛酸盐类铁电薄膜的制备及其性能研究[D];山东大学;2006年
5 黄硕;微型热式气体流量传感器的稳态传热研究[D];浙江大学;2009年
6 黄殿武;表面应力对微结构元件力学行为的影响[D];中国科学技术大学;2006年
7 凌云;用于相变存储器的硫系化合物及器件研究[D];复旦大学;2006年
8 晏建武;纳米Ni-Cr薄膜的制备、表征及其性能研究[D];中南大学;2006年
9 郭玉献;XMCD实验技术及其在铁磁薄膜中的应用[D];中国科学技术大学;2007年
10 王鸿博;非织造基纳米银薄膜的制备及性能研究[D];江南大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张兴;基于红外法的薄膜厚度测量仪的研制[D];哈尔滨工业大学;2011年
2 张慧萍;光学薄膜厚度及性能的测试[D];南京理工大学;2013年
3 罗婷;白光干涉测量光学薄膜厚度[D];南京理工大学;2011年
4 李浩然;条纹法则测量薄膜厚度技术研究[D];西安工业大学;2012年
5 辛金栋;纳米级金属薄膜厚度的SPR检测方法研究[D];天津大学;2012年
6 刘永强;小角度XRD的实现及应用[D];杭州电子科技大学;2014年
7 孙慧琪;基于红外技术的薄膜厚度在线测量系统研究[D];哈尔滨工业大学;2012年
8 葛锦蔓;干涉法测量膜厚方法及干涉图处理技术研究[D];西安工业大学;2010年
9 万文博;空间载频干涉法测量薄膜厚度技术研究[D];西安工业大学;2011年
10 郑建万;等离子化学气相沉积装置的研制及有机磁性薄膜的制备[D];华中科技大学;2006年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 赵江;薄膜厚度的常用测量方法[N];中国包装报;2004年
2 刘国信;透明标签将成标签主流[N];中国食品质量报;2005年
3 符朝贵 王德成;原料的输送和干燥对薄膜生产的影响[N];中国包装报;2005年
4 ;软包材厚度均匀性与包装成本[N];中国包装报;2006年
5 陈强;新型SiOx高阻隔薄膜的制备技术[N];中国包装报;2007年
6 王立群;吹塑法工艺及设备[N];中国包装报;2006年
7 严晶;新型母料有效提高制成品质量[N];中国包装报;2006年
8 姚耀富;用身边故事诠释和谐企业[N];中国化工报;2006年
9 冯树铭;聚酯薄膜质量控制及其性能检测[N];中国包装报;2009年
10 于丽萍;能吃的包装[N];中国包装报;2000年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978