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MC850三坐标测量机动态误差修正方法的研究

冯忠  
【摘要】: 三坐标测量机越来越广泛的应用于实际测量,因此受到很多学者专家的关注和研究。随着生产的发展,对这种大型的精密仪器的测量效率和测量精度都提出了更高的要求,但是测量机自身结构和动态特性又制约着测量速度和精度的提高,本文以MC850三坐标测量机为研究对象,分析了移动桥式坐标测量机在高速运动时各部件特性及坐标测量机的动态误差源,给出测量机主要动态误差源及其相互关系,确定了本论文研究的重点。 对测量机的关键部位测头进行了较为全面的研究,讨论了其瞄准误差产生的原因及构成,给出测头作用直径的定义,通过实验讨论了DCC参数对作用直径的影响。对测量机的机体结构,研究其变形产生的机理,并据此建立了机体结构形变和位移误差的转换模型。介绍了机体各部分的偏转角,讨论了气浮导轨处产生动态误差的原因。 参与设计误差提取实验方案,并利用高精度的双频激光干涉仪搭建了实验装置,对测量机动态误差进行测量。考查在不同DCC参数及空间位置条件下测量机的动态误差,找出各DCC参数和动态误差之间的关系,选择BP神经网络和双三样条建模方法对测量结果进行误差建模,讨论了两种建模结果的精度。


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