收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

F-400/3500分子真空泵性能参数计算及结构设计

李杰  
【摘要】:分子泵可以提供极限真空度为10-6~10-8Pa的清洁高真空,广泛应用于粒子加速器、空间技术、可控核聚变、表面科学、半导体和集成电路、平板显示技术、光伏能源等新兴科技领域。 本文以涡轮分子泵工作原理为基础,根据F-400/3500型涡轮分子泵技术标准给定的口径、抽气速率、压缩比等基本参数进行设计计算,利用气体分子通过涡轮分子泵叶片的传输几率计算出分子泵所需叶片几何参数、叶片级数及其组合,并使用MicrosoftVisualC++6.0开发分子泵设计计算软件,实现分子泵设计计算程序化。同时确定了F-400/3500型涡轮分子泵的总体结构设计,并给出了全套设计工程图。用有限元软件对涡轮叶片进行离心力分析和热分析,通过模拟分析评估分子泵的总体设计方案的可行性;针对复合式分子泵,本文以Navier-Stokes方程为基础,推导计算了螺旋槽牵引泵的抽气性能。为了进一步验证设计方案的可行性,根据相关标准本文给出了分子泵测试装置与性能试验方法。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 荆晶;万伟;;水环泵失常对凝汽器传热系数影响的数学模型[J];中国工程咨询;2011年06期
2 ;[J];;年期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
11 ;[J];;年期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 杨乃恒;于鲁光;庞世瑾;朱岳;;新型分子泵的结构与性能研究[A];中国真空学会科技进步奖(1994-2000)得奖人员论文集[C];2000年
2 陈素君;杨静;;真空镀膜设备真空系统主泵的配置[A];真空工程学术交流会论文集[C];2009年
3 刘伟;阮献春;;双工位自动蒸铝台的研制[A];中国电子学会真空电子学分会第十一届学术年会论文集[C];1997年
4 董涌法;刘爱民;曹宏利;赵海标;王泓海;何清;曾秋林;;高压强分子泵在节能灯制作工艺中的应用[A];第六届华东三省一市真空学术交流会论文集[C];2009年
5 常学森;靳毅;罗宁;;双筒牵引复合型分子泵的研制[A];真空工程学术交流会论文集[C];2009年
6 刘波;岳向吉;巴德纯;;分子泵负载特性研究与驱动电源设计分析[A];2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2005年
7 朱克勤;Dambricourt Pierre;郝鹏飞;Zahid Wasif Ali;尹游兵;;MEMS中气体运动的若干微尺度效应[A];非定常空气动力学研讨会论文选集[C];2007年
8 陈素君;;真空镀膜设备抽气系统的性能要求及主泵的选择[A];中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集[C];2004年
9 许涛;罗根松;王再恩;郑慧萍;;防污染真空抽气系统[A];2007年真空技术学术交流会论文集[C];2007年
10 钱永生;;关于分子泵在荧光灯园排车上应用问题的讨论[A];第六届华东三省一市真空学术交流会论文集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 丁永华;J-TEXT托卡马克主机安装及磁测量系统的建立[D];华中科技大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李杰;F-400/3500分子真空泵性能参数计算及结构设计[D];合肥工业大学;2012年
2 汪明明;液氦温区低温吸附抽气性能研究[D];合肥工业大学;2010年
3 王雅婷;多重牵引分子泵的的性能测试及其应用[D];合肥工业大学;2003年
4 周红海;分子泵磁悬浮轴承结构及功率放大器设计[D];哈尔滨工业大学;2006年
5 徐祖华;三靶磁溅式真空镀膜机电气控制系统的研究[D];湖南大学;2005年
6 唐冲;分子泵高速永磁电机及其控制器的研究[D];沈阳工业大学;2009年
7 刘金波;飞轮储能系统的自抽真空装置研究[D];中南大学;2012年
8 董帝渤;无油真空机组的设计[D];哈尔滨工业大学;2011年
9 韩仁智;基于HT-7诊断中性束束成分的光谱法分析研究[D];合肥工业大学;2007年
10 周萍;氦质谱检漏仪的研制[D];电子科技大学;2007年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 文芳;我国自主研发磁轴承在杭州问世[N];中国知识产权报;2008年
2 通讯员 朱志国 祁振生;大厂县项目建设入佳境[N];廊坊日报;2006年
3 泵协;真空泵制造业市场发展空间大[N];中国电力报;2004年
4 记者 宦建新;磁悬浮轴承 无机械磨损[N];科技日报;2008年
5 中国通用机械真空设备行业协会;入世将给真空设备业带来哪些影响[N];中国化工报;2002年
6 姜燮昌;真空泵市场量大面广[N];中国机电日报;2001年
7 通讯员 朱志国 杨启诚 祁振生;大厂县实行“带一联十、抓千争百”和“三包三联”制度[N];廊坊日报;2006年
8 通讯员 朱志国 祁振生;大厂县项目建设势正扬[N];廊坊日报;2006年
9 本报记者 朱芙蓉彭宏;中小高科企业如何“华山论剑”[N];科技日报;2008年
10 ;炉外精炼知识讲座(05)[N];中国冶金报;2004年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978