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多重牵引分子泵的的性能测试及其应用

王雅婷  
【摘要】: 多重牵引分子泵(简称牵引泵)是由我国首创、最近刚实现产业化的一种新颖分子泵,它具有结构简单,抽速高,能耗低,工作压强和排气流量大,能获得清洁真空等一系列优点,具有广阔的应用前景。 本文在深入分析牵引泵工作原理的基础上,对该泵的主要技术指标进行了测试,并对该泵在各种真空领域中的应用前景进行了分析。其中,着重分析了牵引泵在稀土永磁材料真空熔炼炉中的应用,并成功进行了工业试验,取得了抽气时间缩短50%,能耗降低97%,熔炼合金质量显著提高等优异成绩。 本课题的研究表明牵引泵不仅具有优良的高真空性能,而且,还具有十分诱人的中真空性能:最高入口压强达300Pa,20Pa时抽速已与罗茨泵相当,低于1Pa时,抽速比罗茨泵高出5倍以上,能耗仅为罗茨泵的5%。此外,牵引泵还能获得清洁的真空,在100Pa—0.1Pa返油最大的压强范围,能将前级泵与真空室完全隔开,从而,为获得清洁真空开创了一条新路。因此,牵引泵的问世为当代真空技术提供了一种崭新的中、高真空获得设备,有望为真空获得技术带来一场新的变革。


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