收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

纳米热压印设备与试验研究

胡晓峰  
【摘要】:目前制备纳米光电子器件的核心技术——光刻技术,由于光波波长和数值孔径的限制以及衍射、散射与干涉等影响难于制作线宽小于100nm 的图案。纳米压印是一种突破传统光学光刻分辨率极限的新的纳米级结构的制作技术。它不是通过改变阻蚀剂的化学特性实现其图形化,而是通过阻蚀剂的物理变形实现图形化。因此,其分辨率不受光波波长、物镜数值孔径等因素的限制,可突破传统光刻工艺的分辨率极限。此外,它可以大批量重复地在大面积上制备纳米图形结构,并且所制作的图案具有很好的均匀性和重复性。因此,该技术还具有低制作成本和高生产效率的优点。本文的主要研究内容和创新如下: 首先,进行纳米压印工艺及其机理的研究。从模板、胶和压印过程几个方面详细介绍了纳米热压印工艺,并在研究聚合物流体行为的基础上建立了热压印的时间和速度计算模型。 其次,基于纳米压印工艺的研究,设计并制作了高分辨率定位对准的纳米压印设备。该设备采用模块化的设计方法,通过更换不同模块,能够实现冷热两种压印模式。通过自动找平装置和X-Y-θ粗精两级驱动工作台实现高分辨率的定位对准,在150×150mm 的范围内对准分辨率可达20nm,能够满足分步压印和多层压印的要求。 最后,利用研制的设备,进行了微透镜,纳米光栅,纳米凸点阵列等微结构的制作实验,制作出了直径为50μm、节距为60μm 微透镜,直径200nm、周期为300nm的凸点阵列,线宽为80nm、周期为500nm 的光栅等微光学结构。通过实验研究了纳米热压印工艺参数对图形转移保真度的影响,进而对纳米热压印工艺进行了优化。 本研究旨在为纳米技术研究提供一种制造手段,推动纳米光电子、纳米磁存储、生物微流器件等微纳米器件的研究和产业化的进一步发展。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 李心平;薄膜式电阻应变计[J];传感器技术;1992年03期
2 贺超,陈伟明,刘业异;CPLD在精密激光定位系统中的应用[J];光电工程;1998年S1期
3 郭宝增,田华;角度限制散射投影电子束光刻[J];半导体技术;2001年10期
4 郑学仁;21世纪深亚微米芯片技术的新进展[J];华南理工大学学报(自然科学版);2002年11期
5 唐晓颖,叶婵,宫艳娟;功率半导体器件芯片双面多层金属化技术及应用[J];森林工程;2003年04期
6 刘建海,陈开盛,曹庄琪;光刻技术在微细加工中的应用[J];半导体技术;2001年08期
7 王邦江,李德杰;FED的光刻技术[J];微细加工技术;1998年03期
8 陈旭南,罗先刚,李展,余国彬;温度气压对高分辨力光刻物镜像质影响研究[J];微细加工技术;2000年01期
9 谢杰林,朱海峰;脉冲选择电镀金加厚工艺技术研究[J];微电子学与计算机;1999年05期
10 路敦武,黄惠杰;激光全息用于微电子领域发展潜力的简析[J];激光与光电子学进展;1999年S1期
11 唐喆,尹华,冉建桥;一种通过光刻工艺实现细线宽的厚膜布线技术[J];微电子学;2002年06期
12 陈东石,王冬梅,路海林;微细线条加工中光刻精度的保证[J];微处理机;2002年02期
13 张锦,冯伯儒,郭永康;四激光束干涉光刻制造纳米级孔阵的理论分析[J];光子学报;2003年04期
14 任泰安,王国保;微细立体光刻技术[J];河南机电高等专科学校学报;1998年01期
15 马瑞芬,张宝才,郭晓丽;高输入阻抗MOSFET工艺探讨[J];山东电子;1998年04期
16 梁静秋,姚劲松;LIGA技术基础研究[J];光学精密工程;2000年01期
17 张盛东,韩汝琦,刘晓彦,关旭东,李婷,张大成;新型亚50纳米硅栅制作技术(英文)[J];半导体学报;2001年05期
18 粟敬钦,姚军,杜惊雷,张怡霄,高福华,郭永康,崔铮;灰阶编码掩模制作微光学元件[J];光学学报;2001年01期
19 姜军,李建林;芯片级的封装技术——参加“先进的封装技术研讨会”评述[J];红外技术;2001年04期
20 崔崧,高应俊,阮驰,郝爱花;一种新型微透镜阵列成象式投影光刻系统的研究[J];光子学报;2002年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 唐世洪;;双E型硅压力传感器的研制[A];2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集[C];2000年
2 董晓文;司卫华;顾文琪;;纳米压印光刻技术及其设备研制[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
3 方慧;吕志成;余林颇;周明;;光刻微电极用于电化学发光检测[A];中国化学会第27届学术年会第09分会场摘要集[C];2010年
4 沈萍;刘卫国;;热压印工艺的仿真和成型能力评价方法[A];2010年西部光子学学术会议摘要集[C];2010年
5 韩鑫;张德远;;生物体表形貌直接复制制备仿生功能表面研究[A];走中国特色农业机械化道路——中国农业机械学会2008年学术年会论文集(上册)[C];2008年
6 王俊;郭育华;朱学林;刘刚;田扬超;;陶瓷微加工工艺及陶瓷微反应器的制作研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
7 张飞;李艳秋;;四极照明光刻成像质量仿真研究[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
8 明平美;朱荻;胡洋洋;赵波;曾永彬;;基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针[A];2006年中国机械工程学会年会暨中国工程院机械与运载工程学部首届年会论文集[C];2006年
9 张晟;;细间距SMT模板的制作研究[A];全国第六届SMT/SMD学术研讨会论文集[C];2001年
10 杨中华;;BeO基板微带电路制造工艺研究[A];全国第六届SMT/SMD学术研讨会论文集[C];2001年
中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 韦群燕;高导电率精密印刷银浆制备技术研究[D];昆明理工大学;2007年
2 高育龙;基于热压印的连续浮雕结构石英微光学元件加工技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 高育龙;基于热压印的连续浮雕结构石英微光学元件加工技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 彭荣;高分子表面微图案技术研究干细胞形状、尺寸和密度对其分化的影响[D];复旦大学;2012年
5 陆冰睿;纳米光刻技术在纳米光子晶体、超材料和生物学中的应用[D];复旦大学;2010年
6 李小丽;纳米压印技术制作光子晶体结构及其应用研究[D];上海交通大学;2009年
7 孟凡涛;纳米光刻技术及其在三端结器件和纳米光栅偏振器中的应用[D];大连理工大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 胡晓峰;纳米热压印设备与试验研究[D];华中科技大学;2005年
2 邵壮;离子交换条形介质光波导的制备[D];吉林大学;2006年
3 聂雅茹;无机、有机图案化表面的两种构筑方法[D];吉林大学;2006年
4 梁勇;聚合物微纳结构热压印及操作机械手改进研究[D];大连理工大学;2009年
5 郭庆;金属光栅偏振器设计及其工艺仿真[D];大连理工大学;2009年
6 史文静;热压印纳米结构在化学纤维结构显色上的应用和研究[D];东华大学;2008年
7 池永江;WDM网络中偏振无关声光可调谐滤波器的研究[D];浙江工业大学;2006年
8 王迎春;非接触式热压印微透镜阵列的研究[D];华中科技大学;2011年
9 余杰;GeO_2、β-Ga_2O_3纳米结构的可控合成及其发光性能[D];陕西师范大学;2009年
10 郑夏;Zr基非晶合金微热压印实验与有限元模拟[D];华中科技大学;2012年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 张敬一;四十五所:进军IC设备主流市场[N];中国电子报;2002年
2 ;我国集成电路产业回顾和展望[N];中国高新技术产业导报;2002年
3 李海泉;21世纪电子工艺装备发展方向[N];中国电子报;2001年
4 闻芹堂;新型电子化学品进入快速发展期[N];中国化工报;2000年
5 北京赛迪新型材料工程咨询中心 韦东滨 李国强 霍振武 刘磊;欧洲半导体:成功源于合作[N];中国电子报;2002年
6 ;华晶股份2001年原材料使用报告 [N];中国电子报;2002年
7 本报记者 赵艳秋;光刻胶行业:“刻”不容缓[N];中国电子报;2002年
8 米镇涛;绿色化工:可持续发展必由之路[N];中国化工报;2002年
9 北京 老虎;刻录机市场风云乍起[N];中国电脑教育报;2001年
10 王;Intel RP1 实验室落成[N];中国计算机报;2001年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978