收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

同步相移剪切干涉在线表面精密测量研究

王益民  
【摘要】: 随着微电子、微机电系统(MEMS)、光电子信息技术和航空航天技术等的快速发展,对表面质量,如光学元件表面、硅晶片表面、磁盘等高精密信息基体及其他精密装备零部件等表面质量要求正稳步提高,表面在线精密测量及质量控制问题变得更为突出。本文提出研究了一种同步相移剪切干涉表面形状在线精密测量系统,以解决高精密表面在线测量问题。具体工作如下: (1)研究同步相移剪切干涉测量系统的基本原理,完成其总体设计; (2)研究紧密、稳定、共光路、方便剪切量调整的剪切单元;研究同步相移原理,设计CCD摄像机的同步采集方案;在此基础上建立同步相移剪切干涉测量系统的实验装置; (3)研究剪切干涉图的相位恢复算法,包括相移算法、相位去包裹算法、剪切量的求取; (4)研究OpenGL三维表面显示技术,在VC++平台上建立包括图像采集、数据处理和结果显示的测量软件,并对整个测量系统进行实验测试; (5)对测量系统的抗振特性进行分析,重点对同步相移技术的抗振特性进行理论分析,并建立同步相移抗振特性验证实验,验证其抗振特性。 研究和实验结果证明,所设计的同步相移剪切干涉测量系统具有高精度,高的可靠稳定性,良好的抗振特性,适合精密表面加工在线测量需要。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 刘巧云;国际机械工程精密测量学术研讨会在合肥工业大学召开[J];合肥工业大学学报(自然科学版);2002年05期
2 于桂臻;精密测量不需先对准仪器零位[J];中国计量;2004年03期
3 彭东林,刘成康,谭为民;圆分度静态精密测量新方法[J];机械工程学报;2000年12期
4 许建国;超长工件的精密测量[J];机械工人.冷加工;2000年02期
5 刘兴富;;变速鼓的经济加工和精密测量[J];现代零部件;2006年02期
6 胡礼广;蒋洪奎;;超精密测量关键技术的研究动态[J];新技术新工艺;2006年05期
7 胡列科;崔凌英;;放宽长度量精密测量环境温度条件的探讨[J];光学仪器;2010年03期
8 杨帆;;对不规则切割体的精密测量的探讨[J];机械工程师;2011年07期
9 ;强强联合共建“精密测量联合实验室”[J];制造技术与机床;2011年11期
10 ;精密测量制造业亟待加速发展[J];工业设计;2012年05期
11 吴建龙;;V型锁紧板的精密测量[J];装备机械;1990年03期
12 吴建龙;;Ⅴ型锁紧板的精密测量[J];机械制造;1990年10期
13 侯连华;复杂形状非接触精密测量[J];机械工程师;2004年02期
14 云玲丽;熊健民;郑新建;谭保华;;三坐标精密测量在塑料零部件修模中的应用[J];湖北工业大学学报;2008年05期
15 刘开运;简易大尺寸精密测量工具[J];机床;1983年11期
16 杨润丰;;燕尾形零件的精密测量[J];武钢技术;1988年05期
17 ;关于《燕尾形零件的精密测量》读者来信简复[J];机械制造;1988年11期
18 齐自成;超长工件的精密测量[J];机械工人.冷加工;1998年09期
19 沈泽洪;内燃机气缸磨损的精密测量新探[J];计量与测试技术;2000年01期
20 张家耕;楔形镜精密测量装制的研制[J];天津工业大学学报;2002年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 袁新江;姜洋;汪磊磊;顾吉丰;费庆国;;大型精密测量设备的微振研究[A];中国电子学会电子机械工程分会2009年机械电子学学术会议论文集[C];2009年
2 叶君建;何钜华;傅思祖;黄秀光;谢志勇;;等熵稀疏靶的制备及靶参数精密测量[A];第五届北京核学会核技术应用学术交流会论文集[C];2008年
3 康岩辉;邾继贵;杨凌辉;罗志勇;叶声华;;标准硅球直径精密测量中光束对准误差分析[A];高精度几何量光电测量与校准技术研讨会论文集[C];2008年
4 邾继贵;叶声华;;工业现场近景数字摄影视觉精密测量[A];第五届海峡两岸计量与质量学术研讨会论文集[C];2004年
5 李敏;;精密测量与先进制造技术课程实施方案的研究[A];中国职协2013年度优秀科研成果获奖论文集(下册)[C];2013年
6 王为;王翔;陈宏;翁继东;;一套应用于二级轻气炮实验的紧凑型全光纤激光弹速精密测量系统的研制[A];第十三届全国光学测试学术讨论会论文(摘要集)[C];2010年
7 韩剑;冯雪;李长俊;;基于容栅技术的液位精密测量[A];2008中国仪器仪表与测控技术进展大会论文集(Ⅰ)[C];2008年
8 王晓东;张习文;罗怡;朱萃;王林;;微小型零件自动装配中的精密测量与控制[A];2010中国仪器仪表学术、产业大会(论文集1)[C];2010年
9 向阳;;精密测量大曲率半径和焦距的方法[A];第九届全国光学测试学术讨论会论文(摘要集)[C];2001年
10 王进;程存峰;谈艳;刘安雯;胡水明;;氢分子近红外振转光谱的精密测量[A];中国化学会第29届学术年会摘要集——第39分会:化学动力学[C];2014年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 范玲;调制偏振光在光学精密测量和方位信息传递中的应用研究[D];北京邮电大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前9条
1 王益民;同步相移剪切干涉在线表面精密测量研究[D];华中科技大学;2007年
2 徐峰;空间凸轮精密测量及数字化逆向工程关键技术的研究[D];陕西科技大学;2007年
3 吴纪国;数字图像处理技术在几何量精密测量中的应用研究[D];中国工程物理研究院;2005年
4 郝宏大;薄壁回转体几何参数精密测量的轨迹规划[D];大连理工大学;2008年
5 骆者斌;超大工件曲率的精密测量[D];南京理工大学;2012年
6 杨振宙;机动式空馈相控阵弹道精密测量雷达结构精度分析[D];南京理工大学;2007年
7 李金涛;专用精密测量与修磨装备控制系统研究[D];大连理工大学;2009年
8 占伟伟;形状误差精密测量中滤波和评价方法的研究[D];中国计量科学研究院;2011年
9 胡红亮;超声传感精密测量方法及应用研究[D];浙江大学;2013年
中国重要报纸全文数据库 前2条
1 卢敬叁;激光———高精密测量的“功臣”[N];中国国门时报;2005年
2 王琳琳;“深空之眼”射电望远镜“引路”嫦娥三号[N];新华每日电讯;2013年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978