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纳米硅薄膜太阳电池本征层的制备及性能研究

唐鹏举  
【摘要】: 随着第三代新型纳米薄膜太阳电池的问世,具有优良光电特性的纳米硅薄膜成为当前光伏电池技术研究开发的热点。纳米硅薄膜材料不仅光敏性好,光暗电导比高,而且跟非晶硅相比,其光电导在长时间光照下的衰减要小得多。更为重要的是由于薄膜中纳米晶粒的量子尺寸效应,使得我们能够通过改变工艺参数调节晶粒大小和晶化度来控制其光学带隙,从而实现薄膜渐变带隙的能带工程设计。 本论文主要采用射频磁控溅射的方法研究了纳米硅薄膜的制备工艺,在玻璃和单晶硅衬底上分别制备出高质量的纳米硅薄膜,并且对纳米硅薄膜的量子特性,光电特性以及电导机制进行了一定的理论分析。同时,利用X射线衍射分析(XRD)、扫描电子显微技术(SEM)、傅立叶红外吸收光谱、紫外吸收光谱等现代微观分析手段测试分析了样品的微观结构形貌、纳米晶粒尺寸大小、硅氢键合情况以及薄膜的光学带隙,并从中总结出各种工艺参数(衬底温度,气体压强,H2比例等)对薄膜各项性能的影响,从而摸索出一套比较理想的射频磁控溅射制备纳米硅薄膜的工艺条件,为进一步纳米硅薄膜太阳电池的制备研究打下了坚实的基础。射频磁控溅射工艺同传统的PECVD纳米硅薄膜制作工艺相比,避免了后期的退火或诱导晶化等工序,简化了工艺流程;同时其较低的沉积温度使得纳米硅薄膜能在各种玻璃、塑料、有机柔性衬底上沉积,更适合薄膜电池的发展及利用。


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1 ;福建钧石:完善薄膜太阳电池产业链[N];中国电子报;2011年
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4 戴松元(中科院等离子体物理研究所研究员);染料电池 未来的“家用电站”[N];文汇报;2006年
5 记者 周益臻;铜铟硫薄膜太阳电池研制成功[N];广东科技报;2005年
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