TFT-LCD制造工艺的研究

【摘要】： 本文以液晶显示的物理基础为出发点,在阐明了几种常见的液晶显示方式后,重点研究了薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)的构造和制造工艺。本研究对于我们了解整个液晶显示器的生产工艺,完善工艺流程,并且进一步提出更高效高质的生产工艺,提供了广泛的理论和实践基础。 本文主要研究内容如下: (1)介绍了液晶基本理论的发展史和国内外液晶显示器的发展过程,然后介绍了液晶的分类和各类液晶的主要特征。 (2)从液晶的基本物理性质出发,讨论了液晶的介电各向异性和有序参数的测量方法,介绍了液晶的两种基本理论-统计理论和连续体弹性形变理论; (3)对液晶的主要光学性质展开了讨论,这里只涉及液晶显示所用到的主要光学性质,即光在液晶中的折射、旋光、选择性反射。在液晶显示中的矩阵处理方法中,我们主要涉及到了琼斯矩阵法和Berreman矩阵法; (4)在介绍常见的液晶显示类型时,我们根据液晶的显示性质,介绍了几种重要的液晶显示方式和他们的显示原理。 (5)着重讨论了TFT-LCD的基本结构,TFT-LCD彩色液晶显示的驱动原理和彩色显示原理,以及评价他们的主要技术性能指标:像素间距、屏幕尺寸和长宽比、显示器的亮度和开口率、灰度级、颜色数、对比度、视角和响应时间等。 (6)研究了TFT-LCD的主要生产工艺流程及其主要工艺,把整个工艺流程分成了四部分介绍,即:TFT加工工艺、彩色滤色器组件玻璃基板加工工艺、单元装配工艺和模块装配工艺。