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基于压电陶瓷的可调标准光隙装置设计

肖亚涵  
【摘要】:光隙法在长度计量中应用广泛,尤其在计量器具的平面度、直线度检定中具有重要作用,标准光隙的产生是此类方法测量准确度的重要保证。国家计量检定规程中描述标准光隙可由平晶、量块和刀口尺组成,该方法操作繁琐且光隙大小不能连续调节。 本论文详细分析了光隙法的基本原理和微定位技术,在此基础上提出了基于压电陶瓷的可调标准光隙装置设计方案,对PID闭环控制压电陶瓷微位移机构等关键技术进行了研究,开发了相应硬件与软件,对不确定度进行分析,并编制了相应的校准规范。 研究结果表明,本装置设计方案合理,基本达到了预期的目的,对提高工作效率,改进光隙法的可操作性和快速性有一定的工程实际意义。


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