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Co/BaTiO_3纳米复合薄膜及Fe-Al金属间化合物薄膜的PLD法制备及其结构研究

何英杰  
【摘要】:随着现代科学技术的发展,功能薄膜材料的开发和研制逐渐成为人们研究的热点。近几十年来成功研制出了许多种功能薄膜材料,其中Co/BaTiO_3纳米复合薄膜和Fe-Al金属间化合物薄膜是这些新型功能材料中的两种。Co/BaTiO_3纳米复合薄膜是一种独特的复合体系,其具有独特的光学性质和磁性质,在电子器件和光学材料方面有着广泛的应用前景。Fe-Al金属间化合物薄膜是惯性约束聚变(ICF)实验研究用靶的主要靶型,又由于其好的抗氧化性及磁光特性,在集成电路、磁存储材料方面有着很好的应用前景。但是对上述两种薄膜材料中的Co/BaTiO_3纳米复合薄膜来说,如何控制纳米颗粒的粒径分布及其基质的晶体结构,制备理想结构的薄膜,最大程度地发挥铁电体和金属纳米颗粒复合薄膜的功能,是目前制备技术所遇到的难题。同时,Fe-Al金属间化合物薄膜也遇到同样的问题,由于Fe-Al金属间化合物薄膜的特性对于其应用有着重要的影响,如何制备高质量的Fe-Al金属间化合物薄膜是亟待解决的重要问题。 本工作针对上述Co/BaTiO_3纳米复合薄膜和Fe-Al金属间化合物薄膜目前遇到的技术问题,展开其制备实验研究。由于脉冲激光气相沉积(PLD)薄膜制备技术独特的生长机制,使其在薄膜的制备中显示了其独特的优越性。在本实验中,采用PLD技术展开实验研究。对于Co/BaTiO_3纳米复合薄膜我们利用双块复合靶,采用分层生长方式,研究不同Co含量和不同周期结构的Co/BaTiO_3纳米复合薄膜的结构特性。Fe-Al金属间化合物薄膜也采用双块复合靶,通过靶


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