高温超导限幅器的研制

【摘要】： 本论文是来自总装备部的项目“高温超导材料在高灵敏度接收机中的应 用”。与常规材料相比，高温超导薄膜（即HTSC）的表面电阻极低，在微波频 段下，其微波表面电阻要比常规材料小两个数量级以上，并能实现高达10~6～ 10~7A/cm~2的电流密度。已经制造出许多用高温超导薄膜做成的微波器件与电路， 它们具有前所未有的高性能。 本项目选用10×15×0.44mm~3双抛LaAIO_3衬底上外延生长的钇系高温超 导薄膜的Yba_2Cu_3O_7（YBCO），设计并制作了高温超导微波限幅器，其工作温度在 90K以下，77K时设计指标为：f：9.4～9.6GHz，插入损耗L≤0.4dB，门槛电平： 10dBm，驻波比≤1.5。同时总结出一些关于高温超导薄膜光刻，以及实用化、 小型化真空密封技术的工艺条件，采用全密封外壳，输入、输出采用SMA密封接 头，仅需液氮制冷即可进入工作状态。