收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

STO薄膜非线性介电性质研究

陆清芳  
【摘要】:SrTiO3(简称STO)在低温下具有较强的非线性介电性质,与HTSC集成可研制成各种高品质、低温下工作的压控微波器。为此,必须首先系统研究STO薄膜的介电性质与生长工艺、微观结构的关系。 本论文采用脉冲激光沉积技术(PLD)制备STO薄膜,系统研究了沉积温度、氧分压、激光能量密度和脉冲频率等工艺参数对STO薄膜微观结构的影响,优化了STO薄膜的生长工艺,制备了高质量的单晶STO薄膜。在77K,10KHz下,薄膜的介电损耗tgδ仅为5‰;在1000KV/cm电场作用下,介电常数的相对变化达76.94%,达到了压控微波器件研制对材料性能的要求。 在工艺参数优化的基础上,本论文还系统研究了STO薄膜介电性质与微观结构的关系,重点讨论了界面平整度、氧空位、退火和应力对STO薄膜电性能的影响。实验表明:STO薄膜与电极薄膜间的界面越平整,介质薄膜的可调率和耐压性越高;提高沉积过程的氧分压可以填补STO薄膜的氧空位,进而降低漏电流;退火可以显著改善薄膜的结晶取向,并提高STO薄膜的压控性能;压应力作用下,STO薄膜的介电常数将增大,在张应力作用下STO薄膜的介电常数将减小;当STO薄膜晶格发生四方畸变时,若外加电场方向与晶格参数伸长的方向一致时,有利于提高其介电常数的相对变化率。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 石清丽;喻旭东;;食用油的介电特性研究[J];科技信息;2010年24期
2 张勇,桂治轮,李龙土;PMZNT弛豫铁电陶瓷在不同外电场下的介电特性[J];硅酸盐学报;1999年01期
3 丁士文,翟永青,李颖,王志强,李金龙;Ba_(1-x)Sr_xM_yTi_(1-y)O_3(M=Zr,Sn)纳米材料的软化学合成、结构与介电特性[J];中国科学B辑;2000年04期
4 翟永青,丁士文,李颖,王志强,李金龙;Ba_(1-x)Sr_xTi_(1-y)M_yO_3固溶体的湿化学法合成与介电特性[J];无机化学学报;2000年04期
5 谢秉川;金属颗粒复合体的介电特性和光谱特性[J];安徽师范大学学报(自然科学版);2001年02期
6 徐曼,曹晓珑,俞秉莉;纳米SiO_2/环氧树脂复合体系性能研究——(Ⅱ)复合材料的介电特性和力学特性[J];高分子材料科学与工程;2005年01期
7 鲍一丹;朱哲燕;;基于电特性的大豆含水率测量研究[J];中国食品学报;2006年02期
8 吴雪;刘斌;;食品介电特性参数试验机理分析[J];农产品加工(学刊);2007年02期
9 刘文超;廖宇兰;崔万春;苏相霞;蔡坤海;;基于介电特性的水果无损检测技术的应用分析[J];食品研究与开发;2011年06期
10 于幼玲;袁战恒;;高压铝阳极氧化膜形成技术[J];电子元器件应用;2000年07期
11 王茂祥;孙平;;(Pb_(1-x)Sr_x)TiO_3系铁电陶瓷介电特性的测试分析[J];材料工程;2007年04期
12 胡长征;朱文凤;吴伯麟;张桂玲;;新铌酸盐Ba_3Nd_2Ti_2Nb_2O_(15)的结构与微波介电特性[J];武汉理工大学学报;2008年01期
13 宋桂林;杨海刚;王昕;杜丽军;王晶晶;王天兴;常方高;;Sm~(3+)和Co~(3+)共掺杂对BiFeO_3多晶陶瓷介电特性的影响[J];硅酸盐学报;2010年12期
14 尹丽妍;吴文福;张亚秋;;介电特性在粮食水分检测中的应用[J];中国粮油学报;2010年11期
15 彭志华;龚学余;彭延峰;贾鹏;刘桂华;郭燕春;;碳纳米管中氢等离子体的介电特性及微波吸收机理研究[J];南华大学学报(自然科学版);2010年04期
16 陈小兵,高维山,毛翔宇;Y_2O_3掺杂BaTiO_3陶瓷的介电特性[J];功能材料;1997年01期
17 叶锡生,沙健,陈斌,焦正宽,张立德;纳米γ-Fe_2O_3的介电特性[J];科学通报;1998年08期
18 丁士文,马广成,郭香会,王志强,李金龙,陈静,李颖;Ba_(1-1.5y)La_yZr_xTi_(1-x)O_3固溶体的合成、结构与介电特性[J];无机化学学报;1998年04期
19 方亮,张辉,吴伯麟,袁润章;铌酸盐Ba_3NaBiNb_(10)O_(30)的结构与介电特性[J];物理化学学报;2001年05期
20 卓蓉晖,方亮,张辉,鄢俊兵,杨卫明;钽酸盐Ba_5YTi_3Ta_7O_(30)的X射线衍射分析及其介电特性[J];分析测试学报;2003年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张勋高;刘英;秦金贵;;氮杂碳包Fe、Co、Ni材料的合成及介电特性[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
2 张兆镗;;微波频率下水的介电特性的探讨[A];第十二届全国微波能应用学术会议论文集[C];2005年
3 张俐;马小愚;雷得天;杨方;;基于食用植物油介电特性的试验研究[A];2007年中国农业工程学会学术年会论文摘要集[C];2007年
4 尚作源;冯启宁;韩丛道;;20~300MH_z频带岩石介电特性的研究[A];1996年中国地球物理学会第十二届学术年会论文集[C];1996年
5 丁士文;翟永清;王志强;李金龙;李颖;陈静;;BaSn_(0.1)Ti_(0.9)O_3·yLa_2O_3纳米粉的合成、烧结与介电特性[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
6 李晓明;冯启宁;;低频段内沉积岩的介电特性[A];1995年中国地球物理学会第十一届学术年会论文集[C];1995年
7 何学影;张红波;马青;;失重性肌萎缩骨骼肌细胞的介电特性研究[A];浙江省生理科学会2006年学术年会论文汇编[C];2006年
8 唐新桂;刘秋香;王杰;陈王丽华;;锆钛酸钡陶瓷的电场诱导相变特性研究[A];第八届全国内耗与力学谱会议论文集[C];2006年
9 刘向洋;李英;;带状线法测试高频聚合物薄膜微波介电特性[A];2003'全国微波毫米波会议论文集[C];2003年
10 肖毅;冯启宁;尚作源;;含水岩石低频介电研究的新方法[A];1996年中国地球物理学会第十二届学术年会论文集[C];1996年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 邵海燕;大气中非线性亚临界不稳定的研究[D];南京气象学院;2004年
2 吴旭敏;材料不平衡凝聚非线性行为研究及数值模拟[D];武汉理工大学;2003年
3 林甄;微波加工浆果介电特性研究[D];东北农业大学;2013年
4 王选章;磁性多层膜的线性和非线性静磁波与磁极化子[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
5 席新明;基于介电特性的流体组分检测方法与技术研究[D];西北农林科技大学;2012年
6 曹树谦;高维复杂转子系统非线性动力学的若干现代问题研究[D];天津大学;2003年
7 梁克维;非线性方程求解的理论和方法及其在边界层问题中的应用[D];浙江大学;2001年
8 李永乐;风—车—桥系统非线性空间耦合振动研究[D];西南交通大学;2003年
9 高兴宝;两类典型非线性问题的计算方法研究[D];西安电子科技大学;2000年
10 马永峰;微生物连续培养过程中非线性行为的分析与模拟[D];大连理工大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陆清芳;STO薄膜非线性介电性质研究[D];电子科技大学;2004年
2 王毅;细胞非线性网络模型定态解映射的拓扑熵[D];浙江师范大学;2003年
3 张红;民营高科技企业和政府非线性互动关系研究[D];湖南大学;2003年
4 杨建民;植物消浪护岸动力机制理论分析与模型实验研究[D];天津大学;2004年
5 张忠元;混合非线性共轭梯度算法研究[D];大连理工大学;2005年
6 郑赟;非线性偏微分方程求解的变换方法[D];大连理工大学;2000年
7 李剑;两类非线性自适应控制方法的研究及应用[D];华北电力大学(河北);2003年
8 朱彤;基于ANSYS的滚珠联轴器的设计与分析[D];南京航空航天大学;2004年
9 霍颖;基于等残留高度法的五轴NC加工刀位轨迹规划[D];西北工业大学;2005年
10 孔霞;非线性与模糊控制方法在飞控系统中的应用[D];西北工业大学;2002年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 ;非线式作战术[N];战士报;2001年
2 商报记者 刘亚力 商报实习记者 程铭劼;非诚勿扰Ⅱ成就北京非线路游[N];北京商报;2010年
3 本报记者 张同俊;非线性科学,混沌渐开的感觉[N];青岛日报;2005年
4 湖北省谷城县谷伯中学 郭大春;也谈板书效果的实现[N];中国电脑教育报;2005年
5 《金周刊》记者 史邦臣;中国零售业可能遭遇“非线型打击”[N];中国经营报;2002年
6 洪耀斌 陈家光;不妨多一些非线性思维[N];战士报;2005年
7 石纯民;“三非”作战:美军未来作战的“根”[N];中国国防报;2003年
8 王保存;“三非作战”解析[N];中国国防报;2004年
9 记者 秦菲菲 实习生 潘高颖;北京力推“旅游非线路” 多家上市公司或受益[N];上海证券报;2010年
10 郑有水;在市场中找寻自己的位置[N];中国国门时报;2008年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978