收藏本站
收藏 | 论文排版

PZT热释电薄膜材料的研究

彭家根  
【摘要】:近年来,铁电薄膜材料的制备、结构、性能和应用已经成为国际上新型材料研究的一个热点。由于铁电薄膜材料具有良好的压电、热释电、铁电、电光及非线性光学性能,可广泛应用于微电子机械系统、铁电存储器和热释电红外探测器等方面,因而受到广泛的关注。PZT 薄膜材料是目前研究较多的一类材料,它具有较高的自发极化、相对低的介电常数和损耗,是制备热释电薄膜非制冷红外探测器首选材料之一。本论文从实验上对PbZr0.3Ti0.7O3[PZT(30/70)]和PZFNT [Pb(Zr0.58Fe0.2Nb0.2Ti0.02)O3]薄膜的制备工艺、微结构以及性能进行了系统的研究。 采用射频磁控溅射法在5 英寸的Pt/Ti/SiO2/Si 基片上制备了PZT 薄膜,并对薄膜进行快速退火处理。通过AFM 和XRD 的分析以及性能测试,结果表明:所制备的薄膜具有良好的介电、铁电和热释电性能,在优化条件下其热释电系数、介电常数、损耗、剩余极化以及探测优值分别为2.09×10-8C/cm2K、630、1.4%、26μC/cm2 和2.81×10-9Ccm/J,基本满足热释电器件对薄膜材料性能的要求。同时还得到了薄膜制备工艺参数对薄膜微结构和性能影响的一些规律。 此外, 还采用RF 磁控溅射法在5 英寸的Pt/Ti/SiO2/Si 和PZT/Pt/Ti/SiO2/Si 基片上制备了PZFNT 薄膜,后处理采用快速退火工艺。对两种薄膜进行了分析,实验结果表明,采用PZT 缓冲层可明显降低PZFNT 薄膜的结晶温度,并对PZFNT 薄膜的性能有显著的影响,使其介电和铁电性能得到提高。在优化工艺条件下,可获得热释电系数为6.4×10-9C/cm2K,介电常数和损耗分别为1328 和3.1%,剩余极化为29.8μC/cm2 的铁电薄膜,该薄膜可望在铁电存储器和热释电红外探测器中得到应用。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 傅强;不干胶薄膜材料的烫金及质量保证[J];今日印刷;2000年01期
2 傅强;;用柔印机印刷和加工不干胶[J];印刷技术;2002年24期
3 夏德宏,吴永红,李树柯;薄膜材料的热辐射穿透深度研究[J];热科学与技术;2003年03期
4 孙志平,沈保罗;Pd基光学氢敏感薄膜材料的研究进展[J];稀有金属材料与工程;2004年08期
5 于志伟;谈国强;;溶胶-凝胶法制备薄膜[J];陶瓷;2006年10期
6 付迁;;用微米衡量的进步[J];中国发明与专利;2009年03期
7 刘剑;苗鸿雁;谈国强;贺中亮;;钛酸锶薄膜的液相自组装制备与表征[J];材料科学与工程学报;2009年02期
8 江润霞;梁海霞;;锂微电池正极薄膜材料研究进展[J];广州化工;2010年11期
9 董全峰;宋杰;郑明森;Susanne Jacke;Wolfram Jaegermann;;微型锂离子电池及关键材料的研究[J];化学进展;2011年Z1期
10 ;《软包装薄膜材料及应用》[J];中国印刷与包装研究;2011年03期
11 ;2011中国(北京)国际新材料产业博览会[J];陶瓷;2011年08期
12 李学丹;倪逸民;邱爱叶;;薄膜材料[J];材料科学与工程学报;1985年02期
13 邓乃绥;章兼源;徐景端;;薄膜卷绕理论分析[J];绝缘材料;1986年05期
14 金雪文;镍酸镧导电金属氧化物薄膜材料的制备方法[J];红外;2002年09期
15 周学东,谢毅,何鑫,刘保顺;TiO_2薄膜超亲水性的研究进展[J];工业安全与环保;2005年09期
16 李言荣;;多元氧化物电子薄膜的单胞生长模式与界面应力诱导效应[J];功能材料信息;2007年05期
17 陈雷英;陈贵锋;赵勇明;白云娜;马晓薇;李养贤;;GaN薄膜材料TEM样品的制备[J];半导体技术;2008年S1期
18 冯树铭;;可热封聚酯薄膜(热封型PET)在香烟包装上的应用探讨[J];中国包装工业;2009年Z1期
19 ;可成型薄膜的模内装饰技术[J];国外塑料;2010年02期
20 周洪英;;柔性透明聚酰亚胺薄膜材料获专利授权[J];功能材料信息;2010年Z1期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 吴大维;;超硬涂层技术的最新进展[A];TFC'05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2005年
2 刘维民;翁立军;薛群基;;空间润滑薄膜材料与技术[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
3 刘兴隆;秦福文;陈伟绩;张东;周志峰;于博;支安博;姜辛;;不同铟组分的In_xGa_(1-x)N(0.1<x<0.56)薄膜材料的生长与研究[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
4 黄元龙;;溶胶-凝胶法浸渍薄膜的微开裂问题[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
5 徐晓东;张飞飞;张淑仪;刘天柱;水修基;;薄膜材料中表面声波的光外差法检测[A];中国声学学会2001年青年学术会议[CYCA'01]论文集[C];2001年
6 刘吉延;马世宁;;超磁致伸缩薄膜低场性能及应用研究[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
7 刘吉延;马世宁;;超磁致伸缩薄膜低场性能及应用研究[A];第六届全国表面工程学术会议论文集[C];2006年
8 丁立平;刘渊;房喻;;具有亲水性微环境荧光薄膜的设计与制备[A];中国化学会第27届学术年会第13分会场摘要集[C];2010年
9 吕反修;;超硬薄膜材料研究现状与发展趋势[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
10 孙卓;倪晟;;真空等离子体装备技术及应用[A];上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 苏峻峰;环境友好大豆分离蛋白共混薄膜材料研究[D];天津大学;2010年
2 王子菡;薄膜材料鼓包装置的研制及力学性能表征[D];湘潭大学;2012年
3 韩美杰;铜铁矿薄膜材料的制备和性能研究[D];华东师范大学;2013年
4 韩景宾;层状结构无机—有机复合薄膜材料的组装及性能研究[D];北京化工大学;2011年
5 蔡岸;薄膜材料热物性及其测试新装置的研究[D];上海交通大学;2012年
6 孙现众;几种薄膜材料的湿化学法制备及其性能的研究[D];清华大学;2011年
7 孙智勇;层状无机超分子材料取向薄膜的组装及性能研究[D];北京化工大学;2012年
8 杨昌虎;掺杂改性纳米TiO_2和ZnO薄膜材料性能的研究[D];上海大学;2011年
9 刘利新;HfO_2基稀土掺杂纳米材料和石墨烯薄膜材料的制备及性能研究[D];兰州大学;2012年
10 贾法龙;基于电化学技术的温差电材料和微型温差发电器制备及相关机理研究[D];天津大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 戴林杉;铁电薄膜电畴及其性能的扫描力显微镜研究[D];电子科技大学;2005年
2 赵永林;Bi掺杂PST薄膜的制备及介电可调性能研究[D];浙江大学;2006年
3 张佳寅;硅锗/硅多量子阱红外敏感薄膜材料实验测试系统[D];南京理工大学;2014年
4 包洪涛;PECVD制备硅基SiO_2光波导薄膜材料研究[D];电子科技大学;2006年
5 陈玉莲;热蒸发法制备氧化锡薄膜的工艺研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
6 李鹏冲;硒化铅薄膜和量子点的制备与表征[D];华中科技大学;2008年
7 朱夏;铋系钙钛矿结构薄膜材料的制备及性能研究[D];华东师范大学;2013年
8 张自升;功能TiO_2薄膜材料的制备及其性能研究[D];南京航空航天大学;2011年
9 李轶;太阳电池用CuInS_2和CdS薄膜材料的制备与表征[D];中南大学;2010年
10 牟睿敏;表面仿生结构与薄膜材料工艺力学及力学性能[D];大连理工大学;2011年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 特约通讯员 丁姗;探寻薄膜材料中的乾坤[N];江苏科技报;2009年
2 记者 王秀兰;美国专用薄膜材料市场将快增[N];中国化工报;2009年
3 柯沿;我国科学家在纳米技术上又有新突破[N];中国乡镇企业报;2000年
4 深讯;亚太薄膜行业盛会将于深圳强势亮相[N];中国包装报;2008年
5 记者 刘其丕;光致变色薄膜材料研制获专利[N];中国有色金属报;2003年
6 李辉 记者 郭明;光学领域三个标准化技术委员会在合肥成立[N];中国质量报;2008年
7 张峰;如何根据市场选择标签印刷设备[N];中国包装报;2008年
8 任爱青;豪威:打造“镀膜专家”[N];中国电子报;2008年
9 日石;日本库拉莱公司推出高遮光阻气性包装新材料[N];中国包装报;2005年
10 孙彦新徐壮志;出舱为何是取固体润滑材料?[N];新华每日电讯;2008年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978