反射式金属光栅盘研制

【摘要】： 反射式金属光栅是指在金属基板上制作出的高反射率线条(作为光栅亮条纹)和低反射率线条(作为光栅暗条纹)，金属基板相对于玻璃基板来说存在许多优点，如：金属抗冲击能力强、抗辐射能力强；但同时也存在一些缺点，如：金属基板加工困难、金属光栅膜系较复杂、金属光栅复制较困难等。 本文对反射式金属光栅工艺流程进行了较深入的研究，并从关键单元工艺技术研究着手进行了反射式金属光栅工艺参数探索试验，得出了一整套复制反射式金属光栅盘的工艺参数，根据这些工艺参数，我们复制出了一套10800线对、中径φ130mm、全中误差(RMS)为0.6″的反射式金属光栅盘，应用此光栅盘我们研制了一台精度为±2.8″的高精度反射式金属光栅编码器。