收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

PLZT薄膜电学和光学性能及电光器件原理研究

梁鸿秋  
【摘要】: 利用光学相控阵实现光扫描技术具有重要的应用前景。其基本构成单元是光移相器。采用具有电光效应、响应速度快、热稳定性高、耐强激光的高性能铁电薄膜材料PLZT(锆钛酸铅镧)制作光移相器是达到该目的的重要技术途径。本文探讨了氩氧比、退火温度、保温时间对PLZT薄膜的微结构、电性能及光学性能的影响;初步探索了利用PLZT电光薄膜实现光学相控阵的原理及其可行性。 优化了工艺条件。在Pt/Ti/SiO2/Si上制备的PLZT(8/65/35)薄膜经过650oC并保温20min后处理的薄膜介电性能及铁电性能有明显提高,当电场为200kV/cm,PLZT薄膜的漏电流密度为8.6×10-8A/cm2。 沉积在ITO/石英玻璃衬底上的PLZT薄膜,在可见光范围内的透过率可达到80%左右,比优化工艺前的透过率提高约10%;可见光范围内消光系数k小于0.015;折射率n变化范围在2.1-2.6之间,波长λ为632.8时折射率n为2.2;禁带宽度Eg=3.78eV。 通过对PLZT电光薄膜实现光学相控阵的理论分析,优化器件结构从而提高了主瓣和旁瓣的光强比,得出相控单元数与旁瓣水平、偏转角度的关系。利用有限元方法模拟器件电场分布,获得了优化的结构参数。通过分析调制器的复振幅透过率函数进而得到具体的光强分布函数。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 张旭苹;陈国平;;射频磁控溅射电致变色氧化钨薄膜[J];光电子技术;1994年03期
2 孔金丞;孔令德;赵俊;张鹏举;李志;李雄军;王善力;姬荣斌;;非晶态碲镉汞薄膜的射频磁控溅射生长及其晶化过程研究[J];红外技术;2007年10期
3 张辉军;穆长生;;PN结型硅基TiO_2氧传感器的特性分析[J];传感器与微系统;2006年09期
4 孔金丞;李志;孔令德;赵俊;于晓辉;王善力;姬荣斌;;非晶态锑化铟薄膜的射频磁控溅射生长及其结构和光学特性研究[J];红外技术;2008年06期
5 张吉英;蒋大勇;鞠振刚;申德振;姚斌;范希武;;用于日盲波段的MgZnO薄膜材料和紫外探测器[J];中国光学与应用光学;2008年Z1期
6 刘技文,李娟,赵燕平,李延辉,李昌龄,许京军;SiC纳米晶薄膜的制备及发光性质研究[J];光电子.激光;2005年03期
7 孔春阳;王楠;朱仁江;秦国平;戴特力;南貌;阮海波;;P型ZnO薄膜的制备及特性研究[J];重庆师范大学学报(自然科学版);2007年02期
8 梁鸿秋;杨传仁;张继华;冷文建;宋秀娟;;电光材料在光学相控阵技术中的应用[J];电工材料;2007年02期
9 陈国平,张随新;射频磁控溅射制备SiO_2膜[J];真空科学与技术学报;1995年05期
10 薛成山;董志华;庄惠照;王书运;高海永;田德恒;吴玉新;;以磁控溅射+自组装反应方式制备GaN薄膜[J];稀有金属材料与工程;2006年03期
11 张龙;林立强;朱健;卓敏;;衬底同步加热溅射BST薄膜的研究[J];传感技术学报;2006年05期
12 庄惠照;高海永;薛成山;王书运;何建廷;董志华;;氮化ZnO/Ga_2O_3薄膜合成GaN纳米管[J];材料科学与工艺;2007年01期
13 文军;陈长乐;;RF溅射稀土掺杂ZnO薄膜的结构与发光特性[J];光电工程;2008年08期
14 赵春雨;张吉英;王晓华;申德振;姚斌;赵东旭;张振中;李炳辉;;MSM结构ZnO紫外探测器的制备与性质[J];发光学报;2008年06期
15 隋瑛锐;姚斌;杨景海;;B-N共掺p型ZnO薄膜的制备及性质研究[J];吉林师范大学学报(自然科学版);2010年01期
16 顾爱国,罗维根;射频磁控溅射原位制备高Tc钇钡铜氧超导薄膜[J];电子元件与材料;1991年03期
17 柳兆,王余姜,陈谋智,纪安妮,邓彩玲;溅射制备ZnS:Er~(3+)薄膜的光电子发射结构[J];半导体情报;1998年04期
18 唐逸;杨春生;张丛春;;氧分压对磁控溅射BST薄膜及其介电性能的影响[J];上海交通大学学报;2006年01期
19 张辉军;穆长生;王璐;;硅PN结基底TiO_2氧传感器的特性研究[J];仪器仪表学报;2006年S2期
20 刘伟;苏小平;张树玉;王宏斌;郝鹏;;硫化锌衬底上氧化铪保护膜制备及性能研究[J];激光与红外;2007年08期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 叶征宇;赵思思;王智勇;;应用于激光雷达的光学相控阵技术[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
2 童俊军;刘秋香;蒋艳萍;唐新桂;;气氛对射频磁控溅射NiFe_2O_4薄膜性能的影响[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第5分册)[C];2010年
3 董光焰;郑永超;张文平;王治中;吴登喜;赵明福;田勇;;相控阵激光雷达技术[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(C 激光技术与应用专题)[C];2006年
4 杨利;庄惠照;魏芹芹;孙振翠;郭兴龙;董志华;高海永;薛成山;;氨化磁控溅射Ga_2O_3膜在Si(111)衬底上制备GaN纳米棒[A];2002年材料科学与工程新进展(上)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
5 郑树凯;王天民;王聪;郝维昌;潘锋;;射频磁控溅射制备TiO_2薄膜的研究[A];2002年材料科学与工程新进展(上)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
6 任雪勇;谢泉;杨吟野;肖清泉;杨创华;曾武贤;梁艳;;溅射功率对Ca_2Si薄膜性质的影响[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(4)[C];2007年
7 亢原彬;吴景波;邓湘云;李德军;;工作气压对ZrB_2/W纳米多层薄膜结构和机械性能的影响[A];2008全国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2008年
8 王明霞;肖楠;李德军;;WTiN薄膜的合成及其结构和性能的研究[A];2008全国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2008年
9 莫尚军;张继华;;应用于DRAM的高性能钛酸锶钡薄膜的制备研究[A];2010’全国半导体器件技术研讨会论文集[C];2010年
10 张学华;曹猛;杨瑾;刘桐;王明霞;李德军;邓湘云;;Ar/N_2气体比例对TaN/NbN纳米多层膜机械性能的影响[A];中国真空学会2006年学术年会论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李家立;光波导光学相控阵技术研究[D];西安电子科技大学;2005年
2 王玉新;硼碳氮薄膜的制备及其光透过性质研究[D];长春理工大学;2005年
3 贾传磊;离子注入法与射频溅射法制备光波导的研究[D];山东大学;2006年
4 冯先进;高质量SnO_2薄膜的制备及特性研究[D];山东大学;2008年
5 刘立华;硼碳氮薄膜的制备及性质研究[D];吉林大学;2006年
6 樊攀峰;RF磁控溅射及LSMCD法制备铁电薄膜的研究[D];天津大学;2005年
7 张浴晖;射频磁控溅射法制备FC/ZnO有机—无机杂化材料及其结构与性能研究[D];东华大学;2008年
8 张锡健;MgZnO薄膜的制备及特性研究[D];山东大学;2006年
9 王志鹏;基于“Diels-Alder”可逆反应的高热稳定性交联型电光聚合物以及半导体纳米复合材料ZnS/PMMA的制备及其性质的研究[D];中国科学院研究生院(理化技术研究所);2007年
10 吴云翼;钛酸铋系铁电薄膜材料改性研究[D];华中科技大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 梁鸿秋;PLZT薄膜电学和光学性能及电光器件原理研究[D];电子科技大学;2007年
2 张珊珊;基于相位加权方法消除光学相控阵中的栅瓣[D];哈尔滨工业大学;2011年
3 董志华;硅基SiC中间层辅助法合成GaN薄膜和纳米线的研究[D];山东师范大学;2005年
4 林方婷;纳米Fe基软磁合金的制备及微结构研究[D];华东师范大学;2005年
5 祁俊路;射频反应磁控溅射法制备Al_2O_3薄膜结构与性能的研究[D];合肥工业大学;2006年
6 高海永;ZnO薄膜的制备及氨化Ga_2O_3/ZnO薄膜合成一维GaN纳米结构的研究[D];山东师范大学;2005年
7 唐鹏举;纳米硅薄膜太阳电池本征层的制备及性能研究[D];华中科技大学;2007年
8 刘思鹏;射频磁控溅射制备TiB_2/TiAlN纳米多层膜和BaTiO_3薄膜的研究[D];天津师范大学;2009年
9 李娇;氧化锌纳米结构与薄膜的制备及光学特性研究[D];大连理工大学;2008年
10 彭家根;PZT热释电薄膜材料的研究[D];电子科技大学;2005年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978