收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

BST薄膜漏电流与软击穿特性研究

何小祥  
【摘要】: BST薄膜具有高介电系数、低漏电流密度、居里温度可调以及优异的热释电性能等优点,可被广泛应用于非制冷红外探测器、动态随机存储器、高介电常数电容器、介质移相器等电子信息领域。在应用中,BST薄膜的漏电流是要重点考虑的电性能参数之一,因此对BST薄膜漏电特性的研究尤为重要。本论文采用射频溅射制备BST薄膜,系统研究了BST薄膜的漏电流特性、软击穿过程,揭示了限流机制和软击穿机理。 首先,研究在正反偏压下BST薄膜漏电流的J—V和J—T特性。反偏压时,上电极Pt和BST薄膜形成肖特基接触,漏电流遵循肖特基发射机制。正偏压时,BST薄膜和下电极Pt界面存在大量的界面态,使得漏电流遵循空间电荷限制电流(SCLC)机制,漏电流密度随偏压的增加而急剧增加,随测试温度的增加而减小产生了PTCR效应。 其次,研究了BST薄膜的软击穿特性。软击穿过程是氧空位俘获电子、降低势垒的过程。具体表现为软击穿之前漏电流机制为Pt/BST界面肖特基势垒限流,发生软击穿之后、硬击穿之前晶粒间双肖特基限流,此后,随着氧空位俘获电子进一步增加,薄膜两极之间形成永久通道发生硬击穿。软击穿发生后一定时间内,BST薄膜可以恢复,但是软击穿发生后持续时间越长,恢复的情况越差,薄膜损坏越严重。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 刘嘉聪;王新建;董显平;吴建生;;钛掺入对Cu/Si(100)及Cu/SiO_2薄膜体系热稳定性的影响[J];理化检验(物理分册);2008年08期
2 罗春燕;郝永亮;韩霞;高瑛;刘洪来;;SEOS/h-PEO共混物薄膜的微观分相结构[J];功能高分子学报;2009年02期
3 尚宝月;杨绍斌;;TiO_2自组装膜的制备及抗菌性能研究[J];化工新型材料;2010年08期
4 张茂国,陈华;磁控溅射法制备硅钼薄膜及其性能表征[J];稀有金属材料与工程;2005年07期
5 呼爱妮;高原;刘惠涛;;二氧化钛纳米晶薄膜低温制备方法研究进展[J];材料导报;2007年07期
6 张华;周永宁;吴晓京;傅正文;;脉冲激光沉积CuF_2薄膜的电化学性能[J];物理化学学报;2008年07期
7 赵雷康;朱杰;雷琼;周静;;厚度对CMN/CT薄膜结构与性能的影响研究[J];武汉理工大学学报;2009年12期
8 贺剑雄;武莉莉;夏庚培;郑家贵;冯良桓;雷智;李卫;张静全;黎兵;;AlSb多晶薄膜的制备及性质[J];功能材料与器件学报;2010年01期
9 潘德芳;苑进社;秦国平;刘颖丹;;PECVD法制备类金刚石薄膜结构和表面形貌分析[J];电子元件与材料;2010年07期
10 兰允祥;刘小珍;何杰;;Fe~(3+)掺杂TiO_2薄膜材料的制备与光催化性能研究[J];广东化工;2010年05期
11 周灵平;陈道瑞;彭坤;朱家俊;汪明朴;;陶瓷表面金属化Cu薄膜应力调控[J];湖南大学学报(自然科学版);2010年11期
12 姚雪元;严小梅;周漪琴;;强化聚酯薄膜的研究[J];绝缘材料;1983年04期
13 谭辉;陶明德;韩英;;CoMnNi氧化物薄膜的电阻温度特性[J];功能材料;1989年05期
14 刘瑞霞,杨庆山;薄膜结构风致振动研究进展[J];中国安全科学学报;2003年09期
15 夏冬林;杨晟;赵修建;;铝诱导晶化P型非晶硅薄膜实验研究[J];纳米科技;2005年05期
16 杜玉军;杨陈;惠迎雪;;过渡层ZrO_2对不同沉积厚度TiO_2薄膜结构的影响[J];材料导报;2007年08期
17 陈明安;杨汐;张新明;李慧中;路学斌;刘超仁;;Mg-Gd-Y-Zr合金表面含硫硅烷薄膜的结构与耐蚀性能[J];中国有色金属学报;2008年01期
18 石永敬;龙思远;王杰;潘复生;;直流磁控溅射研究进展[J];材料导报;2008年01期
19 徐彦;关富玲;;可展开薄膜结构折叠方式和展开过程研究[J];工程力学;2008年05期
20 治明;;薄膜减薄又不失膜质”的解决方案[J];国外塑料;2011年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 刘锦华;姚冰;郝万立;;温度条件对锆钒薄膜结构的影响[A];第十届中国核靶技术学术交流会摘要集[C];2009年
2 孙晓颖;沈世钊;;薄膜结构考虑滑移问题的分析[A];第十届空间结构学术会议论文集[C];2002年
3 徐艳姬;徐明霞;谢少桥;徐廷献;;TiO_2薄膜结构及氧敏性研究[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
4 张鹰;严康宁;曲喜新;;溅射工艺参数对复合压电薄膜结构的影响[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
5 王晓姹;李志青;吴萍;姜恩永;白海力;;退火对于碳氮薄膜结构的影响[A];TFC'05全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2005年
6 张华;单建;;薄膜结构随机风场的ARMA模型仿真[A];第五届全国现代结构工程学术研讨会论文集[C];2005年
7 魏玉卿;尚仰宏;;空间薄膜结构张拉系统优化设计[A];中国电子学会电子机械工程分会2009年机械电子学学术会议论文集[C];2009年
8 王友善;王长国;杜星文;;薄膜充气梁的皱曲行为分析[A];第十五届全国复合材料学术会议论文集(下册)[C];2008年
9 邸利锋;;退火条件对铌镁酸铅薄膜结构的影响[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
10 王基盛;武岳;张亮泉;杨庆山;;薄膜结构的附加质量及声致阻尼[A];第十届空间结构学术会议论文集[C];2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 乔磊;大尺度复杂张拉薄膜结构整体分析理论及其软件化[D];北京交通大学;2011年
2 马瑞;基于稳定理论的剪切薄膜褶皱发展过程及其动力特性研究[D];北京交通大学;2013年
3 程昱川;几类层状超薄膜结构的分子光谱研究[D];吉林大学;2006年
4 王吉民;薄膜结构的风振响应分析和风洞试验研究[D];浙江大学;2001年
5 谭锋;张拉薄膜结构的褶皱和动力分析[D];北京交通大学;2007年
6 万红霞;索和膜结构形状确定理论研究[D];武汉理工大学;2004年
7 兰伟;p型透明导电氧化物CuAlO_2薄膜的制备与性能研究[D];兰州大学;2007年
8 孙晓颖;薄膜结构风振响应中的流固耦合效应研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
9 方泽波;Tb掺杂ZnO薄膜和高K栅介质Er_2O_3薄膜的制备及特性研究[D];兰州大学;2006年
10 王彬;流固耦合作用的弱耦合算法及风与薄膜结构的耦合分析[D];北京交通大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 马瑞强;充气展开薄膜管气固耦合特性研究[D];哈尔滨工业大学;2013年
2 张增院;氧化银薄膜的制备和相关性质研究[D];郑州大学;2011年
3 张宏超;薄膜结构的找形方法和力学特性研究[D];西南交通大学;2003年
4 代鹏超;钛酸锶钡和氧化铈薄膜的制备及物理性能表征[D];河北大学;2011年
5 张丹明;GaN基上制备TiO_2薄膜及其性能研究[D];湖北工业大学;2013年
6 耿欢欢;薄膜杨氏弹性模量及泊松比的测试理论研究[D];重庆大学;2011年
7 刘家喜;薄膜结构形态分析与整体力学特性的研究[D];西南交通大学;2004年
8 陈丽;薄膜抛物面反射器的圆柱式折叠研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
9 张昕;层状双金属氢氧化物薄膜的制备及其对铜表面的缓蚀性能[D];青岛科技大学;2011年
10 李云;纳米TiO_2薄膜结构与光电特性研究[D];西北工业大学;2005年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 记者 陈炳欣;强调环保议题 3M发布新款增亮膜[N];电子资讯时报;2006年
2 建材工业技术情报研究所所长 胡幼奕;悉尼奥运场馆建设及建材使用的启示(下)[N];中国建材报;2003年
3 ;培养皿中的数据存储[N];网络世界;2007年
4 素贞;悉尼奥运场馆建筑装饰材料的使用[N];中华建筑报;2003年
5 艳平;意大利的吹塑膜技术有独到之处[N];中国包装报;2007年
6 向畅;杨庆山:让“鸟巢”“水立方”抗百年大风[N];光明日报;2007年
7 闫晗郭力方;北京奥运场馆创世界“绿色”之最[N];人民日报海外版;2007年
8 刘垠;新技术示范迈向产业化[N];大众科技报;2008年
9 ;美国柔印一路领先 日本西欧紧步其后[N];中国包装报;2005年
10 ;非PVC医用输液袋共挤薄膜的生产[N];中国包装报;2005年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978