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TiNi合金室温变形、组织结构及薄膜的制备

支金花  
【摘要】:本文研究了Ti-50. 7at%Ni合金在室温时的超弹性及压缩变形形变诱发马氏 体,揭示了室温压缩变形形变诱发马氏体演变过程,对比了磁控溅射和离子束溅 射方法制备薄膜的显微组织性能,明确了薄膜的制备及品化处理工艺,并观察了 TiNi薄膜在温度作用下的马氏体组织。得出以下结论: (1) Ti-50. 7at%Ni合金在拉伸变形应变量约4%、压缩变形名义变形量为30% 时产生超弹性。 (2) 压缩变形可以产生形变诱发马氏体。随着压缩变形量的增加,板条数量 逐渐增多并沿压缩变形的方向趋于一致,马氏体变体发生畸变、粗化、 甚至交叉,马氏体板条内也引入了位错。 (3) 离子束溅射制备的TiNi薄膜表面十分致密,薄膜非晶度很高,主要是非 晶态团状组织结构;磁控溅射法制备的TiNi薄膜表面均匀致密有气孔, 由于基片自然温升,薄膜有一定程度的晶化,并有析出相产生。 (4) 在本实验条件下优选出来的制膜方法为磁控溅射法,工艺参数为溅射电 流0. 6 A,真空度0. 6Pa,氩气流量25SCCM。溅射制备的TiNi薄膜经600 西安理工大学硕士学位论文 ℃Xlh真空退火可充分晶化,而且薄膜表面光滑致密,气孔基本消失,并 有叭ZNi、肠Ni3、肠尹几析出相产生。 (5)深冷可以使薄膜发生马氏体转变,相变顺序与合金的形变诱发马氏体相 变相同,均为:BZ一R一M。 关键词:超弹性形变诱发马氏体磁控溅射组织性能马氏体转变


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