氮化物双异质结材料优化生长及其载流子输运性质研究

【摘要】：近些年来，为了解决常规的单异质结构载流子限域性差、漏压较高时关断特性差、漏电严重的问题，发展了带有背势垒的氮化物HEMT。本文重点围绕氮化物双异质结构的性能提升，深入研究了氮化物双异质结材料的生长、结构优化和输运特性。科研成果分为以下四个部分： 1、通过理论计算求解薛定谔/泊松方程，得到了六种双异质结构材料的能带结构和载流子分布，并分析了这六种结构的机理及其优缺点。 2、针对AlGaN/GaN/AlGaN/GaN，重点分析研究了GaN沟道层厚度对材料电子输运、表面形貌的影响规律，在国际上首次发现了在不同温度下使二维电子气迁移率达到最大存在一个最佳的GaN沟道层厚度，并给出了合理的物理解释。 3、将AlGaN沟道的高击穿场强与双异质结构的优势结合，优化生长出AlGaN沟道的Al0.4Ga0.6N/Al0.1Ga0.9N/Al0.18Ga0.82N/GaN材料，并与GaN沟道Al0.4Ga0.6N/GaN/Al0.18Ga0.82N/GaN材料进行对比研究。 4、成功设计并生长了InAlN/GaN/AlGaN/GaN材料，该材料具有优异的高温载流子输运特性。

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17	刘旭东;;发射波长为1.55μm的沟道衬底隐埋异质结构InGaAsP/InP激光器[J];微纳电子技术;1981年02期
18	R.Plastow;黄以明;;1.3μm多填充层隐埋异质结构GaInAsP激光器的低阈值电流连续波工作[J];微纳电子技术;1983年02期
19	H.Ishikawa;潘成亨;;V型槽衬底隐埋异质结构InGaAsP/InP激光器[J];微纳电子技术;1983年02期
20	梁希侠,范素芹;三元混晶异质结构介面光学声子模(英文)[J];内蒙古大学学报(自然科学版);1998年05期

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1	温慧娟;氮化物双异质结材料优化生长及其载流子输运性质研究[D];西安电子科技大学;2014年
2	陈天鸥;BaTiO_3-SiC异质结构的第一性原理研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
3	魏彦平;分子束外延Fe/Si异质结构的热稳定性[D];兰州大学;2014年
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6	臧源;p-Si/n-SiC异质结及其光电特性[D];西安理工大学;2010年
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8	马明;钯掺杂非晶碳膜/二氧化硅/硅异质结的制备及其光电特性的研究[D];中国石油大学;2011年
9	段秀全;氮掺杂TiO_2异质结构的制备及其光催化性能研究[D];山东轻工业学院;2011年
10	张丛;新型多孔magadiite基异质结构的合成、表征及应用研究[D];北京化工大学;2012年

中国重要报纸全文数据库

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1	李禾;吕惠宾：让分子无处遁形[N];科技日报;2004年
2	记者路平;“有阳光的地方就有能源”有望实现[N];广东科技报;2008年
3	海波;三频功率放大器问世[N];通信产业报;2000年
4	吴映红;氮化镓材料器件研制进展[N];中国电子报;2000年
5	;硅材料国家重点实验室[N];中国化工报;2002年
6	鲁克;山东加大对基础研究的支持力度[N];中国高新技术产业导报;2009年
7	本报记者陈磊;半导体照明：基础研究不能“慢半拍”[N];科技日报;2010年

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