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基于锁相放大器的噪声测试系统与测试技术研究

赵玉国  
【摘要】: 电子器件的电噪声,特别是低频噪声是制约器件灵敏度和精度的关键指标,同时也是表征器件质量和可靠性的敏感参数。电子器件的可靠性与其低频噪声特性密切相关,使用噪声测试方法能够对器件可靠性做出评价。而噪声的研究受限于噪声测试技术的敏感性。目前有关此方面的研究仍是一个非常活跃的领域,尚待解决的问题仍然很多,比如超低阻器件低频噪声的检测与分析技术、具备复杂电路模块器件低频噪声的检测与分析技术等等。 本文在电噪声测量技术基础理论详细研究与分析的基础上,结合我实验室具体情况,实现了基于锁相放大器的交流电桥噪声测试系统,并对此测试系统进行了验证和应用。使用本锁相放大器测试系统获取了厚膜样品和铝互连电迁移样品的电噪声参数数据,并对本系统测试结果与实验室原有系统测试结果进行了分析对比,取得了以下研究成果: 1、系统的分析了电子元器件电噪声测试方法。 2、在实验实践和理论研究基础上总结了噪声测试中应该注意的具体实验技术。 3、提出了一种基于锁相放大器的抑制背景噪声的方法。 4、组建了一套基于锁相放大器的测试系统,极大的提高了电噪声测试的精度,使可测试样品的范围从大于100欧姆扩大到10欧姆甚至是几欧姆,对检测低阻低噪声样品有重要意义。


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