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红外系统光束平行性检测方法的研究

雷震  
【摘要】:本文研究了国内外不同种类的光束平行性检测方法,在降低成本,提高分辨力的前提下,对光学系统大口径器件的检测中,利用五棱镜使出射光严格垂直于入射光这一光学特性,进行扫描检测。为了测量红外系统光束的平行性,本课题中设计了一种以CCD为探测器件的红外准直仪。完成了光路结构的设计,实验表明设计的红外准直仪精度可以达到2"。检测系统采用一面型较好的五棱镜与直线度高的导轨,对波长1064nm口径Φ500mm的大口径平行光管进行光束平行性检测。五棱镜将被测光束划分为有限个子孔径并用红外准直仪与CCD探测器件采集得到各子孔径的光斑,计算出各子孔径光斑的质心,根据质心偏移量就可以计算出偏移的微小角度,对实验数据处理与分析,来评定大口径红外光束的平行性。


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