收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

Si基纳米晶阵列的制备及特性研究

胡海龙  
【摘要】:纳米结构Si基半导体材料正日益受到人们的广泛的关注,这是由于其在硅集成光电子和纳米器件如单电子器件、太阳电池以及薄膜晶体管等方面具有广阔的应用前景。为获得具有良好光、电特性和能够用于器件制造的纳米结构Si基半导体材料,关键在于对纳米结构尺寸和分布的人工控制。 本工作以探索晶粒尺寸和分布可控的纳米结构Si基薄膜的制备方法为目标,以AAO模板作为衬底,用等离子体增强化学汽相沉积(PECVD)法制备出晶粒尺寸可控,等间距均匀分布的Si基纳米晶阵列,并对其特性进行了表征,主要展开了以下方面的工作: (1)优化酸性刻蚀液的浓度、氧化电压、时间以及温度,利用两次氧化法制备出不同参数(孔径、分布距离等)的优质多孔氧化铝(AAO)模板,作为制备Si基纳米阵列的衬底。 (2)选取合适的沉积条件,用PECVD法在AAO模板上沉积非晶硅(a-Si:H)薄膜,并对样品进行退火处理,制备出Si纳米晶阵列。 (3)利用X射线衍射仪(XRD)、红外吸收谱、拉曼光谱、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)等表征手段观察分析了Si纳米晶阵列的微结构及表面形貌。测量发现,样品经退火后由非晶转变为结晶相,H原子在退火过程中从样品内逸出。Si纳米晶阵列中,岛状晶粒尺寸均匀、以AAO模板孔分布方式等间距规则分布。受所用AAO模板孔径的限制,岛状晶粒的直径与AAO模板的孔径相当。因此,通过改变AAO模板的孔径大小可以对Si纳米晶阵列的晶粒尺寸进行调制。 (4)对Si纳米晶阵列进行室温发光和电导率性质进行研究,发现室温下样品有强的可见光发射,发光峰中心位于485nm—535nm之间。观察到样品的两种激活机制(即扩展态传导和带尾定域态传导)。场发射测量表明,样品具有稳定的场发射特性,开启电压为7V/μm。 (5)采用PECVD法在AAO衬底上制备出了具有不同Ge组分的Si_(1-x)Ge_x晶阵列。利用透射电子显微镜对样品形貌进行了观察,用能量色散谱(EDS)对


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 佘希林;宋国君;王士财;李建江;刘曦;周迪;;AAO模板法组装Ni亚微米阵列[J];稀有金属;2010年05期
2 郑青;周保学;白晶;蔡伟民;廖俊生;;TiO_2纳米管阵列及其应用[J];化学进展;2007年01期
3 闫晓娜;尹静;别利剑;;氧化锌纳米线阵列的制备方法[J];天津理工大学学报;2007年01期
4 刘曦;佘希林;宋国君;孙峋;王树龙;;图案化铜纳米线阵列的制备[J];电子元件与材料;2008年12期
5 王竹梅;李月明;夏光华;江向平;左建林;;TiO_2纳米管阵列的制备及其光催化性能研究[J];人工晶体学报;2009年06期
6 沈坚;周明;李琛;张伟;吴春霞;蔡兰;;联合体驱使生长法制备ZnO纳米棒及其表征[J];发光学报;2010年04期
7 佘希林;宋国君;彭智;李建江;韩萍;王树龙;;浸润AAO模板法制备EVA纳米管阵列[J];现代化工;2007年S1期
8 陈茂彬;彭智;宋国君;姜宁;邵增军;沈丽;;模板渗透法制备氧化锌纳米管阵列[J];功能材料;2008年04期
9 韩萍;宋国君;徐思亭;孙桂滨;袁芳;韩云海;;电化学模板法制备金属Ni纳米线阵列的研究[J];青岛大学学报(工程技术版);2008年02期
10 李宇;;阳极氧化铝中高度有序纳米孔阵列结构[J];稀有金属快报;2007年02期
11 李贺;姚素薇;张卫国;王宏智;贲宇恒;;二氧化钛纳米管阵列电极的光电化学性能研究[J];稀有金属材料与工程;2007年10期
12 王亚丽;郭敏;张梅;彭犇;王习东;;基底预处理对水热法制备SnO_2纳米阵列生长的影响[J];北京科技大学学报;2010年04期
13 杜海涛;曲宁松;李寒松;钱双庆;;电解转印法加工凹坑阵列结构试验研究[J];机械工程学报;2010年03期
14 罗银燕;朱贤方;;电阻热蒸发镀膜与电子束蒸发镀膜对纳米球刻蚀方法制备二维银纳米阵列结构的影响[J];物理学报;2011年08期
15 马海敏;洪亮;尹伊;许坚;叶辉;;超亲水性SiO_2-TiO_2纳米颗粒阵列结构的制备与性能研究[J];物理学报;2011年09期
16 伊福廷;李勇;刘改红;;利用LIGA技术研制微细电火花异形和阵列结构电极[J];电加工与模具;2011年05期
17 钟黎声;许云华;;ZnO纳米线/棒阵列结构制备原理及方法概述[J];化工新型材料;2010年05期
18 张瑜娟;朱贤方;;一种用于LSPR传感器的准正方型银纳米颗粒阵列制备[J];光谱实验室;2010年04期
19 顾超;屈绍波;裴志斌;徐卓;柏鹏;彭卫东;林宝勤;;基于磁谐振器加载的宽频带超材料吸波体的设计[J];物理学报;2011年08期
20 赵延亮;王志义;;HF酸电解液浓度对TiO_2纳米阵列结构的影响[J];材料导报;2011年16期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张松;徐运华;谢文青;方家熊;;一种基于开关门阵列结构的9级TDI读出电路[A];2004全国图像传感器技术学术交流会议论文集[C];2004年
2 慕德俊;戴冠中;;基于状态空间模型广义预测控制的迭代算法及并行实现[A];1994年中国控制会议论文集[C];1994年
3 周松;王意洁;;EXPyramid:一种灵活的基于阵列结构的高容错低修复成本编码方案[A];2010年第16届全国信息存储技术大会(IST2010)论文集[C];2010年
4 贾洪峰;;阵列结构对自适应阵稳态性能的影响分析[A];中国物理学会第九届静电学术年会论文集[C];2000年
5 吕剑刚;吕英华;张洪欣;代子为;韩春元;;天线阵列结构对室内MIMO信道容量的影响[A];第十五届全国电磁兼容学术会议论文集[C];2005年
6 张连红;阮成礼;刘广燕;;一种提高天线增益的有效方法[A];2009年全国天线年会论文集(下)[C];2009年
7 叶小舟;齐利民;;硫化锌纳米碗阵列的制备及其在传感方面的应用[A];中国化学会第28届学术年会第12分会场摘要集[C];2012年
8 徐柏龄;彭科;林志斌;;近进聚焦差分传声器阵列在手机中的应用研究[A];2006年声频工程学术交流会论文集[C];2006年
9 蔡金光;齐利民;;基于二氧化钛纳米棒阵列结构的自清洁宽波段全方向减反射涂层[A];中国化学会第十三届胶体与界面化学会议论文摘要集[C];2011年
10 赵丹丹;张瑾;徐彩玲;力虎林;;微模塑法构造TiO_2的二维微阵列结构[A];中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集(上册)[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 陈根华;分布式阵列米波雷达高精度测角问题研究[D];西安电子科技大学;2013年
2 陈艳伟;ZnO、ZnO:In一维纳米结构材料的制备及其光伏器件[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
3 许凌云;阵列多参数联合估计算法及应用的研究[D];南京航空航天大学;2012年
4 张晓洁;基于LCD空间光调制器全息显示的若干问题研究[D];浙江大学;2007年
5 刘洪盛;高分辨测向阵列几何结构研究[D];电子科技大学;2009年
6 李晓;胶体晶体辅助构筑功能结构[D];吉林大学;2010年
7 刘劲松;关于存储系统性能的测试、仿真与评价的研究[D];华中科技大学;2004年
8 胡旻;周期阵列结构与电子注互作用机理的研究[D];电子科技大学;2009年
9 闫中杰;阵列结构的磁性纳米材料研究[D];兰州大学;2007年
10 顾陈;高分辨阵列信号处理方法研究[D];南京理工大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 胡立翔;阵列结构轴压过程研究及其在地铁车辆中应用[D];中南大学;2012年
2 齐畅;麦克风阵列声源定位系统的阵列优化设计研究[D];辽宁工业大学;2014年
3 卢泳贤;微锥塔阵列结构表面的3D检测模式及加工精度评价[D];华南理工大学;2012年
4 敖金莲;基于麦克风阵列声源定位的算法研究[D];燕山大学;2010年
5 顾建峰;空间角度估计的阵列结构及其算法的研究[D];电子科技大学;2004年
6 林桐;分布式舰载地波OTHR阵列重构技术研究[D];哈尔滨工业大学;2013年
7 刘康;不规则阵列高精度测向技术[D];电子科技大学;2012年
8 王大元;阵列多参数联合估计[D];南京航空航天大学;2010年
9 贾佳;太赫兹波段微孔阵列透射现象理论及时域光谱分析[D];电子科技大学;2010年
10 田锋;微机械微腔阵列结构生物传感器的制备和表征[D];中国科学院上海冶金研究所;2001年
中国重要报纸全文数据库 前8条
1 陈翔;二层价格 四层性能[N];中国计算机报;2004年
2 王珍;液晶电视是怎样“炼成”的?[N];第一财经日报;2007年
3 ;路由与性能兼顾[N];计算机世界;2004年
4 ;2001年全球数码相机供货数量将增加71%[N];中国高新技术产业导报;2001年
5 张小明;日本大力开发新型存储器[N];中国知识产权报;2001年
6 莲玉;MEMS技术应用日趋广泛[N];中国电子报;2002年
7 上海汽车电子工程中心主任 夏冠群;中高档汽车市场拉动LED灯具需求[N];中国电子报;2004年
8 实习生 彭鑫;“人工皮肤”能够造就“铁臂阿童木”?[N];科技日报;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978