收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

Ni-AlN太阳能选择性吸收涂层中频磁控溅射技术研究

周家斌  
【摘要】: 太阳能选择性吸收涂层制备技术是太阳能热利用的关键技术之一,目前存在高温稳定性差、工艺稳定差、制备工艺复杂等问题。将Ni-AlN材料体系和中频反应磁控溅射技术结合起来有可能开发出光学性能和高温性能优异的选择性吸收涂层的低成本工业化生产技术。 本论文对中频反应磁控溅射工艺参数对TiN薄膜结构及性能的影响进行了研究,结果表明氮气流量和靶功率对薄膜结构及性能的影响较大。 对中频反应磁控溅射工艺参数对Al靶放电特性和制备的AlN薄膜显微结构的影响进行了研究,结果表明:氮气流量、氩气流量、靶功率和靶面磁场对Al靶的放电特性有显著影响;Al靶电压随着氮气流量的增加而减小,当氮气流量超过临界值后,Al靶电压随着氮气流量增加而下降的速度加快;减小氩气流量和增加靶电流使Al靶开始发生严重靶中毒所对应的临界氮气流量有所增加。随着氮气流量的增大,沉积的AlN薄膜含氮量不断增加,其相组成由以单质铝相为主逐渐转变为以AlN相为主,薄膜的致密性有明显改善;增大氩气流量或减小靶电流使制备完全符合理想化学计量比的AlN薄膜的氮气流量范围变小,AlN薄膜的相结构由纳米晶向非晶转变;增大氩气流量和靶电流有利于薄膜表面粗糙度和致密性的改善。 对Ni-AlN复合薄膜的共溅射沉积工艺和显微结构的研究表明:当同时开启Ni靶和Al靶时,Al靶表面开始发生严重靶中毒所对应的临界氮气流量有所增加; Ni-AlN复合薄膜表面的颗粒尺寸明显小于相同条件下沉积的AlN薄膜;制备的Ni-AlN复合薄膜由非晶态的AlN和纳米晶的Ni组成,N/Al比低于理想化学计量比,Ni含量明显高于Al含量。 对梯度Ni-AlN选择性吸收涂层结构对其性能的影响进行了研究,并与制备的梯度Al-AlN选择性吸收涂层进行了比较,结果表明:随着Ni-AlN复合材料吸收亚层层数的增加,制备的选择性吸收涂层的可见光反射率有所下降,在制备AlN减反射膜后,选择性吸收涂层的可见光反射率明显降低;随着梯度Ni-AlN选择性吸收涂层的浓度梯度减缓,选择性吸收涂层的可见光反射率不断减小;当单层Ni-AlN复合材料吸收亚层的沉积时间为10min时制备的梯度Ni-AlN选择性吸收涂层在可见光范围内的反射率小于15%,且具有明显的光谱选择性。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 情报;;太阳能与农田灌溉[J];地理科学进展;1988年01期
2 ;能源湖[J];科技导报;1990年06期
3 ;中国太阳能学会1990'光化学学术讨论会在我举行[J];山东大学学报(理学版);1990年04期
4 阎育华;赵自胜;张玉山;;半拱式新型太阳能暖房的人工小气候分析[J];河南科技;1992年02期
5 蔡爱富;探索太阳能储存高技术的新路子[J];百科知识;1997年08期
6 张焕芬;下世纪的太阳能系统[J];广东科技;2000年07期
7 席炜;新世纪新能源——太阳能[J];现代物理知识;2002年05期
8 孟宪茹,冯伟;太阳能收益与热力学定律[J];西藏科技;2003年06期
9 王丽娜;新能源产业:深圳往何处加油?[J];深圳特区科技;2005年Z2期
10 本刊编辑部;未来新能源词典[J];中国青年科技;2005年08期
11 陈剑锋;;寒地乡村太阳能沼气开发利用研究[J];黑龙江科技信息;2007年08期
12 ;太阳能沼气成为清洁燃料引领者[J];中国民营科技与经济;2008年08期
13 ;国内科技期刊亮点[J];科技导报;2009年13期
14 闻立时;;我国太阳能光伏产业发展的新阶段[J];青年科学;2010年02期
15 ;科学技术支撑青海新能源经济发展[J];青海科技;2010年06期
16 齐吉祥;;阳燧取火[J];太阳能;1980年01期
17 劳华清;;利用磷光体吸收、贮藏和再生太阳能[J];今日科技;1983年02期
18 ;美国内华达州新纳克斯太阳能技术发展公司总裁比尔德偕夫人应邀来能源所讲学[J];山东科学;1990年03期
19 倪申宽,林险峰;能源与化学(Ⅰ)[J];吉林师范大学学报(自然科学版);1992年02期
20 郑锡荣;红海边上的太阳能海水淡化厂[J];太阳能;1996年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 于喜哲;李德英;高岩;;北京市某农村居民住宅太阳能地板辐射供暖系统的实验分析[A];全国暖通空调制冷2010年学术年会论文集[C];2010年
2 宋力昕;章俞之;;太阳能利用及太阳能新材料发展状况[A];21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集[C];2003年
3 郑峰;吴正可;;温州市太阳能资源初步评估[A];首届长三角气象科技论坛论文集[C];2004年
4 崔容强;胡宏勋;秦玉茂;殷石健;黄燕;孙铁囤;车孝轩;;新千年中国太阳能光伏的曙光[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
5 崔群;姚虎卿;陶刚;;太阳能固体除湿制冷吸附剂的特性研究[A];江苏省制冷学会第四届年会论文集[C];2000年
6 康树人;;对黑龙江省太阳能开发利用的思考与建议[A];中国太阳能学会2001年学术会议论文摘要集[C];2001年
7 李忠;郑瑞澄;何涛;;太阳能在建筑物供暖空调系统中的应用[A];21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集[C];2003年
8 陈永郑;张磊;鹿红伟;吴民安;陈坚波;周国勇;王世阳;李良;;太阳能在便携式小家电产品中的一种应用[A];中国制冷学会2009年学术年会论文集[C];2009年
9 苑金芳;李红;;太阳能+热泵热水工程节能分析[A];土木建筑学术文库(第13卷)[C];2010年
10 赵耀;葛天舒;代彦军;;太阳能再生式连续除湿换热器的试验研究[A];走中国创造之路——2011中国制冷学会学术年会论文集[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 周家斌;Ni-AlN太阳能选择性吸收涂层中频磁控溅射技术研究[D];中国地质大学(北京);2007年
2 黄群武;耐候性太阳选择性吸收涂层的研究[D];天津大学;2007年
3 张博;喷射器与太阳能喷射式制冷系统研究[D];大连理工大学;2002年
4 王艳;小型高效太阳能吸收式制冷系统涡旋发生器特性研究[D];北京工业大学;2009年
5 张军合;太阳能光合生物制氢系统及其光谱耦合特性研究[D];河南农业大学;2006年
6 李刚;太阳能光合细菌连续制氢试验系统研究[D];河南农业大学;2008年
7 王芳;太阳能土壤蓄热供暖(冷)系统埋地换热器性能研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
8 赵为;太阳能光伏并网发电系统的研究[D];合肥工业大学;2003年
9 李郁武;直膨式太阳能热泵热水装置的优化分析与变容量运行研究[D];上海交通大学;2007年
10 敖先权;熔盐体系中甲烷还原氧化锌制取合成气和金属锌的基础研究[D];昆明理工大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 黄润华;同乐太阳能企业的现存问题与发展对策[D];厦门大学;2001年
2 张运真;太阳能吸附式制冷装置系统研究[D];河南农业大学;2005年
3 李征;光伏并网发电系统及其控制策略的研究[D];天津大学;2008年
4 陈传宝;振荡流热管的研究及其在太阳能集热器中的应用[D];华北电力大学(北京);2009年
5 彭路明;新型太阳能路灯控制器设计与实现[D];新疆大学;2004年
6 刘逸;太阳能地源热泵式空调系统研究[D];大庆石油学院;2006年
7 王晓冬;太阳能烟囱数值模拟与自然通风的非线性研究[D];中南大学;2007年
8 王宇;风光互补发电控制系统的研究与开发[D];天津大学;2004年
9 孙茵茵;自适应复精度太阳跟踪平台[D];华中科技大学;2005年
10 李建霞;太阳能驱动的固体吸附式转轮制冷机的理论研究[D];长安大学;2005年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 韩萱 吴忠祥;邗江太阳能领军中国“绿能”[N];扬州日报;2010年
2 周春玲;皇明跨品牌领养太阳能“孤儿”[N];经济参考报;2005年
3 周青松姜玉涛;中国太阳能秋交会将现身今年经洽会[N];常州日报;2008年
4 陈曙辉 编译;德国面临太阳能组件短缺[N];中国贸易报;2009年
5 本报记者 霍霞;探访北京首座太阳能大厦[N];北京科技报;2004年
6 袁炎长;太阳能与墨西哥农业[N];经济日报农村版;2004年
7 本报评论员;全市倾力打造的系统工程[N];保定日报;2007年
8 马津;“五星太阳能”现代营销理念见成效[N];中国工商报;2006年
9 本报记者 杨自力 刘衍华 通讯员 主明春;“绿色环保”太阳能的推广者[N];中国经济导报;2007年
10 高海燕;铸就节能阳光伟业[N];国际商报;2006年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978