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基于MEMS技术的微型电场传感器设计及实验研究

裴强  
【摘要】: 电场与人类的生产生活活动息息相关。为了测量各种电场参数,人们进行了深入的研究,发明了多种电场传感器。但是用于静电场测量的微型电场传感器至今未见报道。本文提出了一种新颖的电场传感器设计方案,其优点是体积小、易批量加工,可以应用于空间、大气、地面等多种环境下的静电场或低频电场的测量。 本传感器基于微机电系统(MEMS)技术和传感技术,利用半导体加工工艺在硅基底上制作。作者通过运用电动力学的相关理论进行分析计算,并运用ANSYS6.0软件进行计算机模拟仿真,结果表明此方案是可行的。作者完成了传感器结构设计和工艺设计,进行了工艺试验,研制出雏形样品。


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