收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

高声速衬底压电薄膜的制备及声表面波器件的研制探索

刘彦松  
【摘要】:随着现代电子设备信息处理量的扩大,通信载波频率必须向更高频 的频率区移动,例如正在开发的(9000M/1.8GHz)GMS系统。声表面波(SAW) 滤波器是现代无线移动通信系统的关键部件之一,其工作频率f是由材 料的声表面波传播速度V和叉指电极的周期L决定的,即f=V/L;由于 所采用的材料及加工工艺的限制,目前的声表面波器件,其工作频率很 难达到 GHz。金刚石和 SiC具有非常高的声表面波传播速度,以它们为 衬底在现有的工艺条件下很容易制作出GHz 的薄膜型SAW滤波器,因 此利用金刚石和SiC研制GHz SAW器件已成为当前国际上的一个研 究热点。本论文围绕 GHz SAW 器件的研制,开展了用脉冲激光淀积 法(PLD)在高声速衬底(金刚石,SiC)上制备 ZnO薄膜,以及利用 ZnO缓 冲层制备AlN 薄膜等方面的研究,另外还对 SAW滤波器的研制进行了 探索,取得的主要结果如下: 首先,采用PLD法,在Si(100)、金刚石和6H-SiC 等衬底上制备了 ZnO 薄膜。实验结果表明,只要条件选择适当,在这些衬底上都能得到 完全c轴取向的ZnO薄膜;ZnO薄膜是通过结核面生长的,在一定的范 围内,衬底的表面越粗糙,ZnO 薄膜生长时的成核密度就越大,其表面 的 RMS 也就越小;在高真空淀积气氛中淀积的 ZnO薄膜,其结晶性能 更好,但薄膜中的O明显不足,而在O_2分压淀积气氛中淀积的ZnO薄 膜,其薄膜的结晶性较差,但薄膜中的O:Zn 之比非常接近于理想ZnO 晶体的O:Zn之比(1:1);Li~+离子掺杂对ZnO薄膜的电阻率影响很小,但 淀积气氛和纯氧中长时间高温退火对ZnO薄膜的电阻率影响很大,通过 引入O_2分压淀积气氛或进行纯氧中长时间高温退火,可使ZnO薄膜的 电阻率提高到10~7Ω.cm。 其次,采用PLD法,利用ZnO缓冲层在Si(100)衬底上成功地制备 了AlN 薄膜。实验结果表明,该AlN薄膜是c轴取向的,AlN/ZnO/Si(100) 多层结构清晰可辨,层与层之间的界面非常平整,采用ZnO 薄膜作为缓 冲层,可有效地改善AlN薄膜的表面粗糙度;要获得接近理想化学配比 的AlN薄膜,需要高真空淀积气氛或合适的N_2气氛。 最后,对薄膜SAW滤波器的研制进行了探索。研究结果表明,在薄 膜SAW 滤波器的制作过程中,压电薄膜极易受到损伤而直接影响到器 件的性能,因此不能把利用压电单晶制作SAW器件的工艺直接应用于 薄膜SAW滤波器的制作。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 杨璇;苏明旭;蔡小舒;吴健;;超声波多次回波反射法测量乙醇溶液密度研究[J];传感技术学报;2011年07期
2 俞宽新;刘韬;王勇;;铌酸锂表面波器件基底最佳切割方向[J];北京工业大学学报;2011年08期
3 邢哲;宛新林;宛传虎;贾伟凤;;超声波透射法在基桩检测中PSD评定的应用研究[J];工程与建设;2011年04期
4 安玉磊;;基于AT89S52的超声波测距系统设计[J];电脑知识与技术;2011年26期
5 吴向前;;基于ATmega16单片机的超声波液位仪的研制[J];声学与电子工程;2011年02期
6 范寒柏;赵建锐;谢汉华;;基于C++Builder的串口数据实时曲线绘制的实现[J];微型机与应用;2011年14期
7 程维东;;基于P89LPC932超声波测距仪[J];现代电子技术;2011年13期
8 梁朝湘;;用ISPH模拟不可压缩流体[J];软件导刊;2011年07期
9 何兴道;刘娟;史久林;刘建安;方伟;;基于F-P的布里渊散射探测空中目标系统设计[J];航空兵器;2011年04期
10 ;[J];;年期
11 ;[J];;年期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张治泰;;超声脉冲波在混凝土中的传播途径试验[A];第八届全国建设工程无损检测技术学术会议论文集[C];2004年
2 卢博;李赶先;黄韶健;;在轴向应力应变下海底沉积物声速及其响应[A];2004年全国水声学学术会议论文集[C];2004年
3 李艳华;郭常升;;海底表层沉积物声参数原位测量技术[A];2009年浙苏黑鲁津四省一市声学学术会议论文集[C];2009年
4 何松伟;陈鹏万;;损伤PBXN-5的声学特性研究[A];中国工程物理研究院化工材料研究所2005年青年学术年会论文集[C];2005年
5 卢博;李赶先;黄韶健;;在轴向应力应变下海底沉积物声速及其响应[A];第七届全国水动力学学术会议暨第十九届全国水动力学研讨会文集(上册)[C];2005年
6 刘东红;叶兴乾;吴昭同;;超声波对糖溶液物化特性的研究[A];中国食品科学技术学会第五届年会暨第四届东西方食品业高层论坛论文摘要集[C];2007年
7 尹昌;刘晓宙;龚秀芬;章东;;猪肾和猪脂肪中的超声参数与温度的研究[A];2006’和谐开发中国西部声学学术交流会论文集[C];2006年
8 卢博;李赶先;黄韶健;;在轴向应力应变下海底沉积物声速及其响应[A];中国海洋学会2005年学术年会论文汇编[C];2005年
9 康勇;;超声速低温气液分离器物性变化分析[A];制冷空调新技术进展——第四届全国制冷空调新技术研讨会论文集[C];2006年
10 李瑾;;气体超声波流量计远程诊断介绍[A];山东省石油学会油田电力、通信及自动化技术研讨会优秀工程技术论文集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 杨雪峰;复杂等离子体晶格中的低频模[D];大连理工大学;2009年
2 朱明;混合气体浓度检测的弛豫声学方法研究[D];华中科技大学;2008年
3 吕连港;东海PN断面黑潮区域的声层析研究[D];中国科学院研究生院(海洋研究所);2002年
4 余聪;流体及磁流体力学在天体物理中的应用[D];中国科学院研究生院(云南天文台);2005年
5 潘国富;南海北部海底浅部沉积物声学特性研究[D];同济大学;2003年
6 孙选;牛奶质量超声检测基础理论及实验研究[D];天津大学;2007年
7 李芳菲;含氢分子体系的高温高压物性研究[D];吉林大学;2008年
8 何林;高温高压下(Mg,Fe)SiO_3和Al_2O_3的物性研究[D];西南交通大学;2008年
9 周强;激光加热原位高温高压拉曼、布里渊散射研究[D];吉林大学;2006年
10 兰凯;钻孔桩砼灌面超声波测量的关键技术及其实现[D];中国地质大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘彦松;高声速衬底压电薄膜的制备及声表面波器件的研制探索[D];中国科学院上海冶金研究所;2000年
2 张立;脉冲激光淀积法制备介电存储薄膜的研究[D];北京工业大学;2001年
3 代民果;琉球群岛附近海域声场分析[D];浙江大学;2004年
4 杨美霞;疏松铁冲击卸载声速与铁的高压熔化线研究[D];西南交通大学;2005年
5 杜聚有;氢气的光声光谱检测技术研究[D];大连理工大学;2006年
6 谷明峰;海底底质声学性质及原位测量技术研究[D];中国科学院研究生院(海洋研究所);2008年
7 王成会;气液混合体内的声传播及超声空化[D];陕西师范大学;2005年
8 姚文苇;气—液两相介质内声传播的研究[D];陕西师范大学;2006年
9 王兵;冷轧乳化液浓度在线检测技术研究[D];华中科技大学;2005年
10 叶占春;铝质高压绝缘子超声无损表征实验研究[D];大连理工大学;2009年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 张晋平;美国X-43A验证机试飞成功[N];中国航空报;2004年
2 黎时;三倍声速的SR-71“黑鸟”侦察机[N];中国航空报;2003年
3 高洁;一种节能降耗的酒店新设备[N];中国旅游报;2004年
4 黄志澄;挑战飞行极速[N];中国航天报;2004年
5 通讯员 刘军;深山创业展宏图[N];工人日报;2000年
6 肖岱;新疆电信用惊喜串起2006年[N];人民邮电;2006年
7 王万隆;上海宽带主题公园活动拉开序幕[N];人民邮电;2006年
8 ;宽带增值服务进入整合营销时代[N];人民邮电;2006年
9 原 清;飞机为什么能飞[N];大众科技报;2003年
10 本报记者 柴克俭 任冠英;朴英圆了蓝天梦[N];中国民族报;2003年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978