收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

转动竖直微镜的硅微机械光开关研究

杨艺榕  
【摘要】:本论文提出一种1×2扭转竖直微镜光开关,微镜采用(110)硅腐蚀制备而成,执行器采用变间隙的电容驱动器,光耦合采用球透镜进行,并制作1×2光开关器件。 直接光纤耦合的微机械光开关损耗较大,但光束准直后再耦合可以降低损耗。本文采用球透镜光纤进行光耦合,仔细分析了影响耦合效率的各种因素。高反射率薄膜是微镜的一个组成部分,对金属薄膜的反射特性进行了计算,金和铝是很好的反射膜镀层,饱和反射率达到97%,膜厚200nm。在入射角不大的情况下,偏振相关的反射率相差很小。 角度偏转是光操作的一种方式,在光开关和光衰减器有广泛的应用。针对固定间隙的电容,把固定电极做成曲线形状,有效低降低悬臂梁的吸合电压。对执行器的静电压响应和频率特性进行了模拟计算,在此基础上制作的执行器驱动竖直微镜对光信号进行偏转。在器件的光学耦合部分设计的固定弹簧有助于光纤的固定。 以(110)硅为衬底,用湿法腐蚀技术制作的表面平整光洁的竖直镜面,是光器件的关键之一,采用深反应离子刻蚀技术制作的执行器,对微镜进行小角度偏转从而控制光信号的切换,测得的执行器吸合电压为69V和73V,与模拟的结果较为吻合。 研制的光开关样品测出损耗为4~5dB,隔离度为45dB。测试结果表明,光开关器件能够实现光切换的功能。 本论文的工作作为“光通信用微光机电关键技术”的一部分成果获得了“2003年上海市科学技术进步二等奖”。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 ;光放大、控制及器件[J];中国光学与应用光学文摘;1996年04期
2 康春雨;;吊灯遥控调光开关[J];电子制作;2007年02期
3 秦志刚;;新旗云远光灯不亮[J];汽车维修技师;2010年04期
4 ;[断电记忆 淡入淡出 单向调光] 波创A8系列智能/调光开关[J];数字社区&智能家居;2010年03期
5 潘建忠!313000;雅培CELL-DYN1400分析仪故障维修2例[J];现代医学仪器与应用;1998年03期
6 刘德明,胡晓君,徐文超,黄德修;基于SOA的有源光开关技术的研究[J];华中理工大学学报;1999年10期
7 汪小军;;上海通用君威前照灯无近光[J];汽车维修技师;2007年03期
8 赵华君;袁代蓉;段利华;;基于MOEMS技术光开关的研究与进展[J];重庆文理学院学报(自然科学版);2007年06期
9 张发国;喻洪麟;;闪耀光栅原理及其应用[J];重庆文理学院学报(自然科学版);2008年01期
10 杨志;;桑塔纳2000GSi原厂前照灯电路图之我见[J];汽车维修与保养;2011年05期
11 徐洪耀,光善仪,余从煊,宋瑛林,李淳飞;尿烷取代聚二炔PDA薄膜制备及其光开关特性的研究[J];高技术通讯;1996年02期
12 刘健;超小型磁发电机光开关问世[J];有色设备;2003年03期
13 覃洪涛;;旧车大灯变暗的原因与排除方法[J];摩托车;2006年09期
14 贺新标;许自伟;;这辆北京BJ2020VJ型汽车近光灯为何时亮时不亮[J];汽车运用;2008年09期
15 李少晖;杨爱英;崔建民;孙雨南;;基于光子晶体光纤非线性环路镜光开关的研究[J];北京理工大学学报;2009年02期
16 徐枝新,王明华,江晓清,周强,杨爱龄;量子限制斯塔克效应及其在光开关中的应用[J];浙江科技学院学报;2004年04期
17 黄跃进;;用单片机控制的白炽灯多功能调光开关[J];电子制作;2001年07期
18 周建明,张永康;MOEMS在光通信网络中的应用[J];新技术新工艺;2003年07期
19 李舰艇,曹春燕,倪明,胡永明;光纤水听器时分复用系统串扰的理论分析与仿真研究[J];半导体光电;2005年03期
20 余洪斌;陈海清;刘彦;李俊;;磁驱动MEMS光开关的设计、分析和仿真[J];华中科技大学学报(自然科学版);2006年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 沈映欣;李刚毅;;1×4 LiNbO_3光开关[A];全国第十一次光纤通信暨第十二届集成光学学术会议(OFCIO’2003)论文集[C];2003年
2 黄珊;何治柯;;核酸分子“光开关”用于银离子的测定[A];湖北省化学化工学会第十一届分析化学专业年会论文集[C];2007年
3 王丹;彭小峰;;一种MEMS光开关的原理及设计[A];广西光学学会2002年学术年会论文集[C];2002年
4 王运;何治柯;;核酸分子“光开关”特性钌(Ⅱ)配合物研究进展[A];湖北省化学化工学会第十一届分析化学专业年会论文集[C];2007年
5 宋金声;;光开关的技术进展和应用[A];全国第十次光纤通信暨第十一届集成光学学术会议(OFCIO’2001)论文集[C];2001年
6 罗元;胡章芳;;MEMS光开关阵列扩展性的研究[A];第九届全国青年通信学术会议论文集[C];2004年
7 肖立峰;刘迎;;集成光学声光光开关隔离度的研究[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
8 李美菊;陈向东;陈芳;何治柯;沈萍;;利用核酸分子“光开关”Ru(phen)_2(dppz)~(2+)检测细菌释放DNA[A];首届中国青年学者微生物遗传学学术研讨会论文摘要集[C];2002年
9 尹桂;徐正;苏国玮;;超分子自组装双卟啉光开关性质的研究[A];大环化学和超分子化学研究进展——中国化学会全国第十二届大环第四届超分子化学学术讨论会论文集[C];2004年
10 王涛;黄德修;;有源光开关中的方向耦合器研究[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 董玮;体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究[D];吉林大学;2004年
2 王浙辉;硅基微机械光开关研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
3 陈芳;核酸分子“光开关”及核酸光谱分析新方法研究[D];武汉大学;2004年
4 卢山鹰;干涉型铌酸锂基集成光开关研究[D];浙江大学;2004年
5 罗元;光通信MEMS光开关关键技术的研究[D];重庆大学;2003年
6 曹钟慧;应用于光通信的非硅基底光开关与光衰减器的研究[D];浙江大学;2005年
7 鲍俊峰;基于微加工技术的光开关及光互连结构研究[D];浙江大学;2006年
8 梁静秋;微光机电器件及其关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
9 李海军;基于光通信应用的MOEMS光学无源器件技术研究[D];吉林大学;2007年
10 吕丁成;单轴晶体材料构成的光纤光栅特性研究[D];兰州大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 韩晓星;用于热光光开关的聚合物薄膜波导制作[D];华中科技大学;2004年
2 占恒正;光注入全内反射型光开关的研究[D];浙江大学;2003年
3 赵波;面向OXC的MEMS光开关设计与分析技术[D];东南大学;2004年
4 冯志芳;几种光子器件的原理及应用的研究[D];北京工业大学;2003年
5 纪平;微机械光开关微反射镜的制作和驱动结构的有限元分析[D];吉林大学;2004年
6 杨艺榕;转动竖直微镜的硅微机械光开关研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
7 葛峻;MEMS光开关的研究[D];东南大学;2004年
8 潘建旋;基于(100)硅片的MOEMS光开关的研制[D];吉林大学;2005年
9 高晴;载流子注入型MMI光开关设计[D];浙江大学;2006年
10 张冰娜;数字型集成热光光开关阵列波导研究[D];华中科技大学;2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 吴莉;新型磁光光开关[N];经济参考报;2003年
2 ;山东新型磁光光开关通过鉴定[N];今日信息报;2003年
3 胡慧平;引言-----半导体光开关[N];中国电子报;2002年
4 记者吴仲国;日本开发出新型光开关[N];科技日报;2002年
5 吴映红;半导体光开关——光网络核心元件[N];中国电子报;2000年
6 冯卫东;科学家制造出世界最小光开关[N];科技日报;2008年
7 孙喜庭 实习生 侯颖 本报记者 李兵;德国老专家情系中国企业[N];锦州日报;2006年
8 叶建平;自驾游前应做到“三先”[N];人民公安报·交通安全周刊;2008年
9 记者 尹一平;彰显魅力 成果丰硕[N];锦州日报;2006年
10 烽火通信科技股份有限公司副总裁 李广成;光交换/光路由铸就全光网络[N];网络世界;2000年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978