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反可见、中红外透10.6μm高能激光分色镜的研制

冯君刚  
【摘要】:本文介绍了C_O2机动激光武器系统实现跟瞄与发射共孔径的关键器件---反可见、中红外透射10.6μm 高能激光分色镜的研制过程,通过对光学系统和分色镜实际性能指标和制作难度的分析,确定了可行性方案为反射可见、中红外波段透射10.6μm 高能CO_2激光。根据所确定的分色镜实现方案分析、对比了现有的镀膜材料的光学、物理性质、激光损伤阈值情况,最后确定了分色镜的基底、高折射率材料、低折射率材料分别为ZnSe 、ZnSe、YbF3。 并且通过膜系设计软件TFCalc3.5 对所确定的分色镜进行膜系设计,通过优化前后几层膜的厚度来实现分色镜光谱的最佳特性,并介绍了分色镜的制作工艺和光谱测试、激光损伤阈值的测量。 所制得的分色镜光谱曲线、激光损伤阈值基本满足预期指标要求,取得了满意的成果,为以后的相关薄膜器件的研制打下坚实的基础。


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