收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

曲面基底衍射光学元件加工工艺研究

康福增  
【摘要】: 本文根据衍射元件在光学系统中的特殊应用,利用本实验室的实验条件,进行了平凸型折衍混合透镜的制作研究。在制作过程中分析和研究了几何成像和利用衍射进行对准的两类方法。最后采用几何成像的方法,实现了偏心误差小于10um的对准,完成了16台阶的平凸型衍射器件的加工工作。本文同时分析了衍射器件轴外点成像时候衍射效率随着入射角变化的变化情况。分析的过程中我们采用了相对简单的标量衍射的方法,得出了如何改进衍射效率的方法。 第一部分文章主要是通过总结衍射光学器件制作工艺的发展,得出了衍射器件的发展的方向。我们发现衍射器件向亚微米发展是一种必然的趋势,而发展的进程很大程度上取决于光机电的联合发展状况。 第二部分文章在介绍菲涅耳透镜设计原理和衍射效率计算的基础上,重点分析了存在各种加工误差时候的衍射效率的计算情况。通过模拟分析得出了存在刻蚀深度误差、对准误差以及工作波长误差的时候衍射效率的变化情况和相关的计算方法。同时,文章采用了标量衍射方法,通过两种不同的途径,计算了衍射器件的轴外点衍射效率。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 ;《衍射光学元件的计算机设计方法》[J];红外与激光工程;2009年03期
2 ;《衍射光学元件的计算机设计方法》[J];红外与激光工程;2011年03期
3 晴天;;衍射光学元件综述[J];激光与光电子学进展;1989年09期
4 杨国桢,顾本源,董碧珍;衍射光学元件的设计方法[J];量子电子学;1995年01期
5 ;衍射光学元件改善产品的设计[J];激光与光电子学进展;1996年06期
6 程习敏;白瑜;谢伟民;邢廷文;林妩媚;;衍射光学元件的加工工艺及其在各种光谱镜头中的应用[J];光电技术应用;2014年02期
7 白剑;马韬;沈亦兵;侯西云;;多层衍射光学元件的特性分析[J];红外与激光工程;2006年S2期
8 ;《衍射光学元件的计算机设计方法》[J];红外与激光工程;2009年02期
9 蒋文波;胡松;赵立新;严伟;杨勇;周绍林;陈旺富;;位相型衍射光学元件设计的混合算法[J];光电工程;2009年05期
10 ;新书介绍[J];红外与激光工程;2010年01期
11 温昌礼;季家镕;窦文华;宋艳生;;改进的自适应加法算法及其在衍射光学元件设计中的应用[J];光学学报;2010年09期
12 殷可为;黄智强;林妩媚;邢廷文;;角谱理论用于衍射光学元件数字仿真[J];光电工程;2012年04期
13 时招军;高益庆;;自适应粒子群算法设计纯相位衍射光学元件[J];南昌航空大学学报(自然科学版);2012年02期
14 马天一;;用于红外系统的衍射光学元件[J];红外与激光技术;1993年06期
15 樊仲维;精确设计衍射光学元件[J];光机电世界;1994年09期
16 杨国桢,董碧诊,顾本源;衍射光学元件的设计新方法[J];激光与光电子学进展;1995年04期
17 ;从实验室进入商品的衍射光学元件[J];激光与光电子学进展;1998年05期
18 封余军,周进,谈苏庆,高文琦;位相型衍射光学元件单元结构衍射因子的研究[J];激光杂志;1999年03期
19 丁立;黄坤;康学亮;李永平;;利用级联衍射光学元件对多波长混合光实现聚焦、整形和分光谱[J];量子电子学报;2014年01期
20 俞建杰;马晶;谭立英;韩琦琦;;基于相位混合算法的衍射光学元件优化设计方法[J];红外与激光工程;2013年09期
中国重要会议论文全文数据库 前9条
1 杨国桢;顾本源;董碧珍;;衍射光学元件的设计方法[A];第二届光学前沿问题学术讨论会论文摘要集[C];1994年
2 白剑;马韬;沈亦兵;侯西云;;多层衍射光学元件的特性分析[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(B 光学系统设计与制造技术专题)[C];2006年
3 董碧珍;刘嵘;;产生单色或多色点/环衍射图形的光学元件设计[A];第三届全国光学前沿问题讨论会论文摘要集[C];1997年
4 张静娟;司徒国海;;衍射光学元件用于光学图像加密[A];第六届全国光学前沿问题研讨会论文摘要集[C];2003年
5 王天及;杨世宁;李耀棠;;在液晶空间光调制器上的可编程费涅耳透镜[A];第二届光学前沿问题学术讨论会论文摘要集[C];1994年
6 邱传凯;杜春雷;邓启凌;潘丽;;衍射光学元件在红外像传感器中的应用研究[A];2004全国图像传感器技术学术交流会议论文集[C];2004年
7 杨春林;柴立群;杨李茗;许乔;;大口径衍射光学元件技术[A];中国工程物理研究院科技年报(2001)[C];2001年
8 刘娟;王尚奇;;激光腔内旋转对称衍射光学元件的设计[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年
9 李卫森;;衍射光学元件在激光雷达光学系统中的应用[A];第十七届十三省(市)光学学术年会暨“五省一市光学联合年会”论文集[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 马韬;多层衍射光学元件设计理论及其在混合光学系统中的应用[D];浙江大学;2006年
2 刘涛;衍射光学元件的冷反射特性研究[D];长春理工大学;2013年
3 张巍;“神光”装置大尺寸衍射光学元件设计及其应用研究[D];中国科学技术大学;2007年
4 邬融;衍射光学元件的高效计算与设计方法[D];中国科学技术大学;2008年
5 李珂;用于光束整形与超分辨成像的衍射光学元件的设计和实验[D];中国科学技术大学;2011年
6 杨亮亮;多层衍射光学元件衍射效率的研究[D];长春理工大学;2013年
7 姜瞳;基于飞秒激光直写微光学元件的制备及性能表征[D];吉林大学;2014年
8 王泰升;修正折/衍混合系统像质分析模型的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
9 李红军;衍射光学元件制作及其在CCD相机光学系统中的应用[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2001年
10 曹国威;用于ICF束匀滑与远场荧光显微镜的衍射光学元件的设计和实验[D];中国科学技术大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 巩燕龙;衍射光学元件模压制造技术研究[D];西安工业大学;2013年
2 董辉;多层衍射光学元件应用的研究[D];长春理工大学;2008年
3 张殿文;亚波长衍射光学元件增透特性的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2002年
4 樊本杰;衍射光学元件作为激光器谐振腔反射镜的研究[D];长春理工大学;2013年
5 高峰;衍射光学波面整形元件及衍射型轴锥镜设计研究[D];四川大学;2002年
6 张康伟;多层衍射光学元件衍射效率特性的研究[D];长春理工大学;2010年
7 张栋;折衍射混合望远系统的研究[D];长春理工大学;2010年
8 韩宏颖;体积衍射光学元件的标量衍射数组分析[D];辽宁师范大学;2010年
9 喻霞;衍射光学元件设计和超晶格中光输运性质研究[D];湖南大学;2009年
10 赵亚辉;宽光谱大视场角多层衍射光学元件的研究[D];浙江师范大学;2013年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978