收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

电子与固体相互作用的Monte Carlo模拟

黄秀荪  
【摘要】:针对电子束曝光领域影响曝光分辨率的一个重要原因—电子在固体中的散射,从电子与固体物质的相互作用机理入手进行分析,分析相互作用的各种结果。选用经典能量连续损失物理模型,即Rutherford弹性散射和Bethe能量损失,分析电子在固体物质中的弹性散射和非弹性散射,电子的射程及能量损失规律。根据选定的物理模型,采用Monte Carlo方法对电子与固体物质的相互作用过程进行模拟。给定电子剂量,确定抗蚀剂吸收能量密度,选用抗蚀剂的能量阈值模型确定抗蚀剂受到电子辐照后能否被显影。 本文着重讨论了用计算机实现模型的问题,包括: (1)计算流程确定: (2)坐标转换; (3)随机数的产生、如何避免数据逸出、存储空间的合理利用、如何在计算机环境规定的矩阵容量内实现程序等细节问题的处理; (4)大量数据的存储和读取; (5)数据与空间坐标的一一对应; (6)画电子散射轨迹图、抗蚀剂能量吸收图、抗蚀剂显影图。 分析计算机模拟结果与实验结果,得出结论。


知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 任黎明,陈宝钦,谭震宇,顾文琪;一种新的散射电子空间输运坐标转换方法[J];光电工程;2002年03期
2 任黎明,陈宝钦;电子束曝光高斯分布束斑的Monte Carlo模拟[J];微细加工技术;2001年03期
3 杨清华,刘明,陈大鹏,叶甜春;高斯电子束曝光系统[J];电子工业专用设备;2005年02期
4 肖虹;;直接描画用的可变矩形电子束曝光装置[J];微纳电子技术;1982年05期
5 肖虹;;最小线宽为1μm的生产用电子束曝光装置[J];微纳电子技术;1985年05期
6 宋传杰,裘培勇;电子束曝光中能量沉积过程及沉积能分布规律[J];微细加工技术;1986年02期
7 宫内荣;须华生;;电子束曝光装置的研究现状[J];微纳电子技术;1976年09期
8 范正田;;用于超LSI技术的可变尺寸矩形电子束曝光装置[J];仪表技术与传感器;1978年01期
9 T.Sasaki ,郭先林;电子束曝光多束系统[J];微细加工技术;1983年01期
10 刘明,陈宝钦,张建宏,李友;电子束曝光中的邻近效应修正技术[J];微细加工技术;2000年01期
11 田丰,靳鹏云,彭开武,韩立,顾文琪;高能电子束曝光技术研究[J];微细加工技术;2004年04期
12 魏强,张玉林,宋会英;基于低能电子束的光刻技术[J];电子工业专用设备;2005年02期
13 常殿诚;;研制超大规模集成电路的电子束曝光[J];仪表技术与传感器;1979年04期
14 刘长发;吴贵儒;马菊仙;;电子束成象的研究[J];自动化学报;1983年03期
15 吴健昌 ,许春高 ,吴明华;国外电子束曝光、聚焦离子束曝光和X射线曝光最新文献索引[J];微细加工技术;1992年01期
16 王绍钧;二维场的一个校正函数[J];科学通报;1994年23期
17 王绍钧;一种平面区域的剖分[J];微细加工技术;1994年02期
18 胡咏梅,姚作宾,王绍钧;电磁场校正的子域变换和畸变速率补偿法[J];微细加工技术;1996年02期
19 赵玉清,唐天同,徐蛟;STM选择局部氧化硅表面构造纳米结构图形的研究[J];真空科学与技术学报;1999年01期
20 杜伟;许兴胜;韩伟华;王春霞;张杨;杨富华;陈弘达;;高质量二维光子晶体结构刻蚀掩膜版的制作方法[J];半导体学报;2006年09期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 ;Monte Carlo Methods in Scientific Computing[A];2006“与统计有关的凝聚态物理中一些数值计算问题”研讨会论文集[C];2006年
2 曹东升;梁逸曾;李洪东;;A New Strategy of Exploring Metabolomics Data Using Monte Carlo Tree[A];第十一届全国计算(机)化学学术会议论文摘要集[C];2011年
3 ;Monte Carlo Simulations of Reversible Melting on the Fold-end Surfaces of Polymer Lamellar Crystals[A];“国际化学年在中国”——中国化学会第三届全国热分析动力学与热动力学学术会议暨江苏省第三届热分析技术研讨会论文集[C];2011年
4 R.Ricardo;A.Magallanes;F.Candilio;;Monte Carlo Analysis of Nodes Deployment for Large-Scale Wireless Sensor Network Using range-free Location Methods[A];Proceedings 2010 IEEE 2nd Symposium on Web Society[C];2010年
5 惠群;;Reverse Monte Carlo modelling of cation distributions in crystal structures[A];2007“与统计有关的凝聚态物理中一些数值计算问题”研讨会论文集[C];2007年
6 吴兴举;张穗萌;薛新霞;周军;杨欢;;中高能电子散射全截面测量装置的设计[A];第十五届全国原子与分子物理学术会议论文摘要集[C];2009年
7 吴兴举;张穗萌;薛新霞;宋军;杨欢;;中高能电子散射全截面绝对测量装置[A];第十五届全国原子与分子物理学术会议论文摘要集[C];2009年
8 ;Quark Confinement and String Breaking from Lattice QCD[A];Physics of Glueballs and New Hadron States--Proceedings of CCAST (World Laboratory) Workshop[C];1999年
9 ;Antimicrobial PK/PD and Applications[A];第十二次全国临床药理学学术会议会议论文集[C];2010年
10 ;Markov Chain Monte Carlo (MCMC) and Sequential Monte Carlo (SMC)——Using The 2D-HP Example[A];2006“与统计有关的凝聚态物理中一些数值计算问题”研讨会论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 段辉高;10纳米以下图形电子束曝光的研究[D];兰州大学;2010年
2 徐顺;Monte Carlo模拟中的增强抽样理论与方法[D];华南理工大学;2012年
3 宋会英;电子束光刻的Monte Carlo模拟及邻近效应校正技术研究[D];山东大学;2006年
4 刘珠明;纳米级电子束曝光机聚焦偏转系统的研究[D];中国科学院研究生院(电工研究所);2005年
5 王慧元;类星体宽吸收线区的共振与电子散射偏振[D];中国科学技术大学;2006年
6 王秀丽;Gibbs系综Monte Carlo方法研究流体相平衡[D];天津大学;2004年
7 郝慧娟;电子束光刻的三维加工和邻近效应校正技术研究[D];山东大学;2007年
8 凌君;新型稀土催化剂催化开环聚合及Monte Carlo模拟研究[D];浙江大学;2002年
9 卢文娟;电子束重复增量扫描产生三维结构的关键技术研究[D];山东大学;2007年
10 施德恒;若干小分子基态与激发态的势能函数、分子常数及“电子—分子”散射总截面研究[D];四川大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 黄秀荪;电子与固体相互作用的Monte Carlo模拟[D];中国科学院研究生院(电工研究所);2004年
2 张阔;Monte Carlo方法模拟一元、二元流体的临界性质[D];河南工业大学;2012年
3 王卉;双亲分子膜的模拟研究与热力学标度Monte Carlo方法的开发[D];北京化工大学;2011年
4 樊艳;ZnS材料电子输运特性的Monte Carlo模拟[D];河北大学;2009年
5 向远涛;有效中心对称模型势的统计热力学与计算机模拟研究[D];中南大学;2011年
6 郑杏果;基于Monte Carlo模拟和VaR约束的银行资产组合优化模型研究[D];大连理工大学;2005年
7 王渭娜;表面单层组装多环芳烃荧光行为的Monte Carlo模拟[D];陕西师范大学;2003年
8 张雪锋;薄膜三维生长的Kinetic Monte Carlo模拟[D];华中科技大学;2004年
9 刘文平;几种期权的定价与Monte Carlo模拟[D];华中科技大学;2004年
10 杜汉桥;丙烯氨氧化催化剂表面反应的Monte Carlo模拟研究[D];浙江大学;2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 穆强 赵艳秋 编译;下一代光刻技术的烦恼[N];中国电子报;2002年
2 ;Intel扩充安腾2产品线, 06年批量交付Montecito[N];计算机世界;2004年
3 ;布尔率先将Monterey/64移植到8路Intel Itanium服务器[N];网络世界;2000年
4 邵澄江;手机知识上网学[N];电脑报;2002年
5 乔纳森·惠特利;梅洛战无不胜的营销法宝[N];国际金融报;2005年
6 ;10Gb/s众人拾柴火焰高[N];计算机世界;2003年
7 ;整机动态[N];中国计算机报;2000年
8 ;手机上的MSN[N];中国电脑教育报;2005年
9 闫书强;IDF2004:双内核CPU与无线技术唱主角[N];中国电脑教育报;2004年
10 赛迪翻译;英特尔2006年将出16内核处理器[N];中国计算机报;2003年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978